功能
多彩な機能
検査性能を次のステージへ
従来の観察方法では見つけにくかった欠陥も、高度な光学・イメージング技術で検出できます。MX63/MX63Lは、これまで工業用顕微鏡で用いられていた観察法を備えています。さらに、新開発の照明手法やPRECiVを使用することで、従来は不可能とされていた検査・評価を可能にします。
見えなかったものが見える:MIX観察
MX63/MX63LのMIX観察は、明視野や簡易偏光や蛍光などと暗視野の照明方法を組み合わせることで、従来にはない見えを実現します。また、暗視野照明は任意の4方向から照射でき、検査サンプル内の対象物をより効果的に強調できます。
ウエハーサンプル上の回路パターン
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回路パターンの形状が不鮮明 | 回路パターンの色が分からない | 回路パターンの形状が鮮明で色の識別も可能 |
ウエハーサンプル上のフォトレジストの残渣
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対象物の位置が特定できない | 対象物が不鮮明 | 対象物が鮮明でサンプル内の位置も容易に特定できる |
コンデンサー
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リング照明がサンプル上に写りこんでいる | 部分的に点灯したリング照明をさまざまなアングルからサンプルに照射 | 各記録画像の良好な箇所をPRECiVで合成。照明の写りこみを効果的に除去 |
手動ステージで簡単にパノラマ撮影： インスタントMIA（画像貼合せ）
電動ステージがなくても、手動ステージのXYハンドルを動かすだけ画像貼合せが行えます。自動パターンマッチング方式を採用し、PRECiVでは驚くほどの速さで、顕微鏡の視野範囲を超えた広範囲の画像を作成できます。
硬貨のインスタントMIA（Multiple Image Alignment）画像
手動フォーカスハンドルで簡単に深度合成：インスタントEFI（拡張焦点）
PRECiVを使うと、段差のある複雑な表面形状のサンプルも全面にフォーカスが合った画像を簡単に作成できます。上から下へ（または下から上へ）フォーカスハンドルを手で回すだけで、シャープな全焦点画像がリアルタイムでモニター上に作成され、保存できます。
ICチップ上のバンプ
明部も暗部も同時に見やすく：HDR（High Dynamic Range）
独自の画像処理アルゴリズムにより、 露出時間を変えた複数枚の画像を自動的に取得し合成します。 ハレーションを抑えたりコントラストを強調したりできるため、ウエハーや液晶サンプル上の微細構造、プリント基板の観察などで威力を発揮します。
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一部ハレーションを起こし見えづらい | HDRで暗部と明部の両方をクリアに観察できる | カラーフィルターの明るさで、TFTアレイ部分が見えない | HDRでTFTアレイ部分がクリアに浮かび上がっている |
基本計測から高度な画像解析まで
計測は検査や品質管理では欠かせない機能です。PRECiVは計測機能をフルに装備、計測結果はすべて画像ファイルに保存されます。
さらに、オプションとして粒子解析などの特定用途向けの解析機能を用意しています。ガイダンス画面に従って操作するだけで、複雑な画像解析でも迷うことなく、素早く作業を実行できます。繰り返し作業も効率化でき、本来の検査作業に集中できます。
基本計測 (PCB上のパターン) |
スローイングパワー計測(プリント基板上のスルーホールの切断面) |
自動計測 (ウエハー上のパターン) |
効率的なレポート作成
レポート作成には、画像取得や計測よりも多くの時間を費やしてしまうことがよくあります。PRECiVは、マウスを数回クリックするだけで洗練されたレポートを短時間で作成できます。レポートはMicrosoft WordやExcel、PowerPointへ直接出力が可能で、作成後も簡単に編集できます。さらに、取得した画像のデジタルズームや印刷倍率を指定できます。また、作成したレポートのファイルサイズは自動的に圧縮され、Eメール添付でデータ交換時もファイルサイズの心配がありません。
クリーンルームでの検査を簡単、快適、安全に
MX63/MX63LはSEMI S2/S8、CE、ULなどの国際規格・基準に準拠しているだけでなく、耐摩耗性に優れた素材とシールドされた構造の採用によってコンタミの発生を抑えます。さらに、効率化に貢献する豊富な機能で簡単、快適、安全に検査することができます。
作業効率が格段に向上する、 安全でスピーディーな半導体ウエハーのステージ搬送
MX63/MX63LにウエハーローダーAL120を取り付けることにより、半導体ウエハーをピンセットを使わずに安全にウエハーカセットから顕微鏡ステージへ搬送できます。表面・裏面マクロ検査と顕微鏡を用いたミクロ検査をスピーディーに行えます。
MX63+AL120（ 200mm 仕様）
クリーンな環境でよりスピーディーな検査を実現
MX63/MX63Lは顕微鏡本体、鏡筒、ブレスシールドなどに帯電防止処理を施し、半導体ウエハーへの塵埃付着を防ぎます。ウエハー上での操作が不要な電動レボルバを標準装備しているのでクリーンでかつスピーディーな検査を実現します。倍率の切り替えも、本体のフロントパネルか画像解析ソフトウェア PRECiVで快適に行えます。
ブレスシールド（帯電防止タイプ） |
電動レボルバー |
常に快適な姿勢で、大きなサンプルでも観察位置に素早く移動
MX63/MX63Lのステージはクラッチメカニズムを内蔵の粗動用ステージグリップと微動用XYハンドルを搭載しているので大きなサンプルでも素早く的確に観察位置へ移動できます。
鏡筒は幅広い可動域をもつティルティング機構と、対物レンズからアイポイントまでの距離を長く保つ設計を採用。大きなステージでも検査する人の体格や姿勢に関係なく快適に観察できます。
クラッチ内蔵のステージグリップ |
ティルティング鏡筒 |
各種サンプルサイズに対応したさまざまなホルダーを用意
ウエハーホルダー、 ガラスプレート | サンプルサイズに応じて最大300mmまで対応したウエハーホルダーや、ガラスプレートなどを各種用意。 幅広い検査対象に柔軟に対応できます。 |
