IR(红外线)观察

IR観察は、シリコン、フィルムなど赤外線（IR）を透過する材料を用いた電子デバイスの内部観察する場合に有効です。特に最近では半導体シリコン基板側からのCSP研究開発用途に最適です。また、IR観察ではありませんが、近赤外用ラマン分光器用にIR 対物レンズが使われたり、YAGレーザ（1064nm）によるレーザリペア用にIR顕微鏡が利用されたりします。

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