反射微分干涉观察

サンプルの微小段差を立体的に可視化する観察方法です。対物レンズ上方に設置したDICプリズムを用い、照明光を横方向 にずらした2つの光線に分離してサンプルを照明します。サンプルにより直接反射した2つの光線の差を取ると明暗のコントラストが発生し微小段差を立体的に 観察する事ができます。また、鋭敏色板を利用する事により光路差が色の変化となり、微小段差観察がさらに感度良く観察できます。

→ウエハ研磨面、ハードディスク表面、磁気ヘッド研磨面、金属組織など。

ハードディスク表面

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