知识
反射荧光观察
水銀ランプなどを励起光に用い、サンプルの自家蛍光発光を観察します。
有機物の蛍光検出に有効です。
→ウエハ上のゴミ検出、成分分析、レジストの残さ、蛍光探傷法による微小クラック検出など。
黒雲母花崗岩
テンセル
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水銀ランプなどを励起光に用い、サンプルの自家蛍光発光を観察します。
→ウエハ上のゴミ検出、成分分析、レジストの残さ、蛍光探傷法による微小クラック検出など。
黒雲母花崗岩
テンセル