使用激光显微镜测量微米级形状的目标
存储卡
(1)应用
存储卡的大小各异,并被广泛地用作数码相机、手机、记录仪等设备的存储介质。在使用这些存储卡时,要将卡插入到这些设备的插槽中,因此存储卡表面的粗糙度会影响是否可以顺利完成插卡操作。由于存储卡平滑的表面有助于提升其商业价值,因此在质量控制过程中,测量存储卡表面的粗糙度是一个重要的环节。使用常规粗糙度检测仪进行质量控制会在测量过程中受到某些限制,因为这些检测仪需要与被测表面进行接触,而且一般只能沿着单一运动轨迹测量卡表面上凸起的高度(粗糙度)。
(2)解决方案
奥林巴斯的LEXT OLS5000 3D激光扫描显微镜,可以在无需接触被测表面的情况下,完成高分辨率和高精度的3D剖面测量。这款显微镜通过使用共聚焦光学系统,可使用户获得清晰的高分辨率图像。共聚焦光学系统采用符合ISO 25178标准的三维粗糙度参数,对表面区域进行非接触式评估。与沿着单一轨迹进行测量的常规粗糙度检测仪相比,这种大面积表面评估功能更适合检测看似随机的不规则目标,而且还可以提供更多的测量信息。OLS5000显微镜提供标准的自动载物台功能,通过记录测量坐标并使用成像拼接功能,可以顺利地完成多点数据采集操作。
图像
(1)样品A(目镜:20X; 有效视场:640 µm) | ||
测量点1 | 测量点2 | 测量点3 |
参数 | Sq [µm] | Sa [µm] | Sz [µm] | Sku [µm] |
点1 | 3.5 | 2.897 | 26.501 | 2.518 |
点2 | 3.766 | 3.033 | 30.446 | 2.966 |
点3 | 3.626 | 2.955 | 25.5 | 2.741 |
平均值 | 3.631 | 2.962 | 27.482 | 2.742 |
标准偏差 | 0.133 | 0.068 | 2.615 | 0.224 |
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测量点1 | 测量点2 | 测量点3 |
参数 | Sq [µm] | Sa [µm] | Sz [µm] | Sku [µm] |
点1 | 1.608 | 1.259 | 17.946 | 3.833 |
点2 | 1.579 | 1.241 | 18.158 | 3.86 |
点3 | 1.646 | 1.296 | 22.166 | 3.936 |
平均值 | 1.611 | 1.265 | 19.423 | 3.876 |
标准偏差 | 0.034 | 0.028 | 2.378 | 0.053 |