概述

可按照个人需求进行测量的显微镜无论样品大小、简单还是复杂，或执行测量的人员经验如何，奥林巴斯STM7系列可提供符合您需求的测量显微镜。体验STM7

可按照个人需求进行测量的
显微镜

无论样品大小、简单还是复杂，或执行测量的人员经验如何，奥林巴斯STM7系列可提供符合您需求的测量显微镜。

体验STM7

STM7

优异的光学性能 STM7系列采用了当前先进光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此，观察到的图像具有高分辨率和高对比度，像差也被完全消除，以确保实现对微小细节的高精度测量。

优异的光学性能

STM7系列采用了当前先进光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。
因此，观察到的图像具有高分辨率和高对比度，像差也被完全消除，以确保实现对微小细节的高精度测量。

^{STM7-LF FEM分析}	花岗岩精制而成的载物台基座增强了测量的可靠性为了进一步保证测量精度，STM7系列采用了一个配备花岗岩基座的高度耐用和防振动的镜架。由于花岗岩的高稳定性，使测量可到达亚微米水平，并大大降低误差。

STM7-LF FEM分析

^{STM7-LF FEM分析}

花岗岩精制而成的载物台基座增强了测量的可靠性

为了进一步保证测量精度，STM7系列采用了一个配备花岗岩基座的高度耐用和防振动的镜架。由于花岗岩的高稳定性，使测量可到达亚微米水平，并大大降低误差。

简单易用的高精度3轴测量随着现代制造技术日益小型化和精密化，高精度测量也日趋重要 — 不仅是XY轴平面的测量，Z轴方向的高精度测量也成为必须。为此，奥林巴斯开发了采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统。

简单易用的高精度3轴测量

随着现代制造技术日益小型化和精密化，高精度测量也日趋重要 — 不仅是XY轴平面的测量，Z轴方向的高精度测量也成为必须。为此，奥林巴斯开发了采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统。

_{由Olympus Corporation测试与分析中心颁发并由ILAC-MRA校准认证机构（JCSS、JAB）认证的校准证书。} _{可追溯系统因不同时期和国家/地区而异。STM7校准中使用的样品已在各个国家/地区进行了校准。详情请咨询奥林巴斯。}	严格的可追溯系统确保品质可靠奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜的精度，此外，在安装系统时，奥林巴斯还提供可追溯的校准服务。

STM7校准

_{由Olympus Corporation测试与分析中心颁发并由ILAC-MRA校准认证机构（JCSS、JAB）认证的校准证书。}
_{可追溯系统因不同时期和国家/地区而异。STM7校准中使用的样品已在各个国家/地区进行了校准。详情请咨询奥林巴斯。}

严格的可追溯系统确保品质可靠

奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜的精度，此外，在安装系统时，奥林巴斯还提供可追溯的校准服务。

建议型号

可靠的模块化系统

五种配置让您可以灵活选择所需功能。

手动型号			电动型号

STM7-SF	STM7-MF	STM7-LF	STM7-MFA	STM7-LFA

STM7-CS100 ^{载物台：100 mm x 100 mm}	STM7-CS200 ^{载物台：200 mm x 200 mm}	STM7-CS300 ^{载物台：300 mm x 300 mm}	STM7-CS200 ^{载物台：200 mm x 200 mm}	STM7-CS300 ^{载物台：300 mm x 300 mm}

见规格表

	STM7-SF	STM7-MF	STM7-LF	STM7-MFA	STM7-LFA
Z轴聚焦	手动		手动	电动
标准	明场或明场/暗场		明场或明场/暗场	明场或明场/暗场
选配	微分干涉对比度/偏振光		微分干涉对比度/偏振光	微分干涉对比度/偏振光
_测量物镜明场
_{聚焦导航器} STM7-FN
_{自动对焦单元} STM7-AF	－		－
_{测量支持软件} STM7-BSW
_{测量支持软件} ^{（多图像拼接/MIA和景深扩展图像/EFI）} STM7-ASW-ME

观察方法

BF：明场
DF：暗场
DIC：微分干涉对比度
POL：偏振光

：选件

易用性

适合您的样品的载物台

常见问题

短测量行程无法满足较大样品的测量需求{• 由于X轴测量区域短于Y轴测量区域，因此必须旋转样品
由于可测量的范围窄，无法将数量较多的样品排列在载物台上，以实现一次性同时测量

STM7解决方案

STM7提供300 mm x 300 mm载物台，能够测量较大的样品，包括300 mm晶圆和印刷电路板。
X轴和Y轴测量区域长度相等，因此无需旋转样品
较长的X轴和Y轴测量区域允许在载物台上排列多个样品，实现更高效的测量

最大测量行程300 mm x 300 mm

提供三款具有不同测量行程的载物台供选择：100 mm x 100 mm、200 mm x 200 mm和300 mm x 300 mm。不管是大的样品还是小的样品，总有一款载物台适合您的应用。

STM7-CS100

_STM7-CS100
^{100 mm x 100 mm}

STM7-CS200

_STM7-CS200
^{200 mm x 200 mm}

STM7-CS300

_STM7-CS300
^{300 mm x 300 mm}

测量物镜由于测量物镜具有非常长的工作距离，因此在对表面起伏较大的样品进行聚焦时，无需担心物镜与样品之间发生接触。此外，借助测量物镜的低倍率能力，可以一次观察到较大的区域。

^明场图像	^暗场图像	金相物镜金相物镜可实现与光学显微镜相媲美的高倍率、高分辨率观察。更重要的是，这些物镜还可用于明场、暗场和微分干涉对比度（DIC）观察。单击此处了解UIS2物镜的详细信息

突破性的控制单元改进了可用性

常见问题

增加功能时需要添置额外的操作单元。操作员可能无法快速找到相应的操作单元，这显著降低了测量效率
操作单元过多及其分布在主机周围的电源会占用宝贵的工作空间

STM7解决方案

几乎所有测量显微镜操作都可以在最近的操作单元上高效完成
无论添加多少功能，系统只需要使用单一操作单元和电源，从而释放了工作空间

控制器对于STM7系列，只需借助单一的控制器，就可以执行几乎所有的测量显微镜操作，包括读数重置、照明控制、调焦和自动聚焦等功能。为了提高效率和便利性，您可以将该装置放在任何想要放置的位置，并可以单手轻松操作。	^{用于手动Z轴调焦机型：STM7-HS手控开关}	^{用于电动Z轴调焦机型：STM7-MCZ聚焦控制器}

控制器

对于STM7系列，只需借助单一的控制器，就可以执行几乎所有的测量显微镜操作，包括读数重置、照明控制、调焦和自动聚焦等功能。为了提高效率和便利性，您可以将该装置放在任何想要放置的位置，并可以单手轻松操作。

用于手动Z轴调焦机型：STM7-HS手控开关

^{用于手动Z轴调焦机型：STM7-HS手控开关}

用于电动Z轴调焦机型：STM7-MCZ聚焦控制器

^{用于电动Z轴调焦机型：STM7-MCZ聚焦控制器}

控制箱

各个单元的电源和通信都集成在单一控制箱中。即使是添加一些可选功能（如聚焦导航器等）也不需要增加额外的电源装置，这样的设计可以大大减少了对工作空间的占用。

手动和电动调焦选项

提供手动和电动调焦控制选项。您可以根据样品和测量内容选择符合您需求的机型，而不需要考虑载物台的尺寸 — 所有的镜架均内置Z轴线性标尺，可进行3轴测量。

手动Z轴调焦机型

手动机型性价比优越，对于需要测量各种高度样品的用户而言，只需通过熟悉的手柄操作即可实现快速垂直移动。

电动Z轴调焦机型

电动装置可以大幅提高操作性，并减少因重复调焦和高度测量而导致的操作疲劳。用于粗调和微调的同轴旋钮设计使用户可以习惯的类似手动的方式进行操作，且该机型还可以配备自动对焦单元。

自动光强调节
提高效率

常见问题

传统测量显微镜使用的模拟量调节无法实现光强的定量评估，这可能导致测量值随光强的变化而变化
使用传统测量显微镜时，每次切换物镜后可能都需要调节光强，从而导致工作流程效率低下

STM7解决方案

由于显微镜提供光强值的定量显示，因此始终能在相同的条件下进行观察和测量
将光强度管理器与编码物镜转换器搭配使用时，切换物镜后，照明方法和光强会自动调节为预设值

通过定量数字显示精确掌控光强值

STM7系列通过对光强的定量数字显示，保证了能在始终一致的照明条件下实施观察。

通过定量数字显示精确掌控光强值

^5倍强度50	^{20倍强度70}	^{100倍强度120}	无需进行手动调节光强度管理器可与编码物镜转换器配置组合使用。当您切换物镜时，编码物镜转换器会自动识别当前使用的物镜。因此，可为每个物镜记录照明方法和光强，并在测量期间于物镜切换后自动进行调节。像以前每次切换倍率后手动调节光强的操作，现在就可以省略了。

5倍强度50

^5倍强度50

20倍强度70

^{20倍强度70}

100倍强度120

^{100倍强度120}

无需进行手动调节

光强度管理器可与编码物镜转换器配置组合使用。当您切换物镜时，编码物镜转换器会自动识别当前使用的物镜。因此，可为每个物镜记录照明方法和光强，并在测量期间于物镜切换后自动进行调节。像以前每次切换倍率后手动调节光强的操作，现在就可以省略了。

使用可拆卸数显表快速检查测量结果和设备状态

常见问题

因需要检查设备运行状况（如照明）或查看不同单元上的测量值，这使得整体操作非常繁琐

STM7解决方案

STM7系列通过单独的指示器显示区显示显微镜状态（如照明）和测量值，有助于用户轻松完成所有检查

快速、直观地查看状态指示器将显示设备状态和设置。X、Y和Z轴的最小单位可在0.1 μm和1 μm之间切换，还可以在毫米、微米、英寸和密耳之间切换显示单位。	^{安装在镜架上的数显表}

快速、直观地查看状态

指示器将显示设备状态和设置。X、Y和Z轴的最小单位可在0.1 μm和1 μm之间切换，还可以在毫米、微米、英寸和密耳之间切换显示单位。

安装在镜架上的数显表

^{安装在镜架上的数显表}

^{放置在工作台的数显表}	可满足个性化需求自由放置的可拆卸数显表无论是安装到镜架上还是放置在工作台上，可拆卸数显表的放置取决于用户个人。用户站着进行测量时，可以将数显表安装在与观察位置大致相同高度的镜架一侧，以便于查看。当用户通过数码相机在显示器上进行观察和测量，或使用电动Z轴调焦机型时，只需将数显表和手动控制器放在工作台上，即可轻松地坐在椅子上进行作业。

放置在工作台的数显表

^{放置在工作台的数显表}

可满足个性化需求自由放置的可拆卸数显表

无论是安装到镜架上还是放置在工作台上，可拆卸数显表的放置取决于用户个人。用户站着进行测量时，可以将数显表安装在与观察位置大致相同高度的镜架一侧，以便于查看。当用户通过数码相机在显示器上进行观察和测量，或使用电动Z轴调焦机型时，只需将数显表和手动控制器放在工作台上，即可轻松地坐在椅子上进行作业。

高度测量

实现更快、更简单、更精确的高度测量

常见问题

进行目视测量时，不同操作员会测得不同的高度测量值。此外，这种测量方法非常耗时，效率低下。

STM7解决方案

STM7聚焦导航系统减少了操作员的主观性对高度测量的影响。它还可以缩短执行高度测量所需的时间，以实现更高的效率

简单、精确且具有卓越可重复性的聚焦系统奥林巴斯的聚焦导航系统通过将图案投影在视场范围内，并由操作员确认上下图案的重合情况，可为高度测量操作带来高重现性。在常规目视观察下进行高度测量时，即使是看上去非常清晰的已经完全合焦的图像，也会出现微小误差。但使用聚焦导航系统时，只需匹配标记便可进行测量，因此减少了操作员的主观性对测量结果造成的影响。

简单、精确且具有卓越可重复性的聚焦系统

奥林巴斯的聚焦导航系统通过将图案投影在视场范围内，并由操作员确认上下图案的重合情况，可为高度测量操作带来高重现性。在常规目视观察下进行高度测量时，即使是看上去非常清晰的已经完全合焦的图像，也会出现微小误差。但使用聚焦导航系统时，只需匹配标记便可进行测量，因此减少了操作员的主观性对测量结果造成的影响。

自动聚焦的优势成就快速、高精度的高度测量

常见问题

进行目视测量时，不同操作员得出的高度测量结果也会不一样
手动执行高度测量时，需要操作员反复移动载物台并使用手柄调焦，这使测量既耗时又低效
很难对微小的物体聚焦，比如引线

STM7解决方案

配备自动对焦单元，确保测量值始终高度精确，不受操作员的影响
在“跟踪”模式下，图像自动持续对焦，从而在极短时间内实现高效的高度测量。同一模式的XY测量不需要手动对焦，因此提高了效率
使用100倍物镜时，激光光斑直径可以小到1 μm，因此可以局部使用自动聚焦，即使是极微小的物体也适用

专用自动对焦单元：
出色的可重现性和聚焦速度

无论操作员的经验如何，使用STM7自动对焦单元均可以在很短的时间内实现高度精确的高度测量。即使是粗糙或倾斜的样品表面，利用主动反射、共聚焦方法都可以实现稳定对焦，而小直径的激光也能保证对微小物体，比如引线的自动聚焦。

单次对焦模式

执行自动聚焦后，可瞬间完成从粗略聚焦状态转为视场中心的清晰聚焦。

跟踪模式

启用跟踪模式后，会随样品表面的高低起伏自动聚焦，即使在移动载物台的情况下，也可以始终保持合焦状态。这使得操作员在手不需要离开X和Y手柄的情况下也能实施观察，从而极大地提高了Z轴的测量效率。

测量支持系统

准确、快速、简单地测量形状复杂的物体

测量支持系统能否清晰、轻松地看到测量显微镜的输出显示内容至关重要。奥林巴斯测量软件可以更高精度实现复杂测量。该软件还支持使用数码相机。了解有关测量支持软件的更多信息

测量支持系统

能否清晰、轻松地看到测量显微镜的输出显示内容至关重要。奥林巴斯测量软件可以更高精度实现复杂测量。该软件还支持使用数码相机。

了解有关测量支持软件的更多信息

可扩大观察和测量范围的配件

编码物镜转换器将编码物镜转换器与数码相机配套使用时，可在观察期间于屏幕上显示物镜放大倍率，以便您记录该倍率。这一方便的功能允许在记录样品的同时，记录有关样品和物镜放大倍率的信息。

编码物镜转换器

将编码物镜转换器与数码相机配套使用时，可在观察期间于屏幕上显示物镜放大倍率，以便您记录该倍率。这一方便的功能允许在记录样品的同时，记录有关样品和物镜放大倍率的信息。

	STM7-FS/脚踏开关无需用手即可进行数据传输，使操作员可以在手不离开X和Y手柄的情况下完成测量。

STM7-FS/脚踏开关

无需用手即可进行数据传输，使操作员可以在手不离开X和Y手柄的情况下完成测量。

SZ-LW61/白光LED照明装置采用小巧轻便的设计，具有使用寿命长和功耗低等特点。此外，这款高性价比的LED照明装置不会出现闪烁和亮度波动。

SZ-LW61/白光LED照明装置

采用小巧轻便的设计，具有使用寿命长和功耗低等特点。此外，这款高性价比的LED照明装置不会出现闪烁和亮度波动。

	SZX2-ILR66+SZX-RHS/LED环形照明灯+手动控制装置 SZX-RHS手动控制装置可实现SZX2-ILR66反射LED环形照明灯的四段独立照明，从而提供具有高色温的清晰图像。可以从13种模式中选择优化照明。

SZX2-ILR66+SZX-RHS/LED环形照明灯+手动控制装置

SZX-RHS手动控制装置可实现SZX2-ILR66反射LED环形照明灯的四段独立照明，从而提供具有高色温的清晰图像。可以从13种模式中选择优化照明。

可旋转载物台轻松实现样品的平行对齐。	_STM7-RS100 ^{（用于STM7-CS100） 100 mm x 100 mm载物台}	_STM7-RS200 ^{（用于STM7-CS200） 200 mm x 200 mm载物台}	_STM7-RS300 ^{（用于STM7-CS300） 300 mm x 300 mm载物台}

可旋转载物台

轻松实现样品的平行对齐。

STM7-RS100（用于STM7-CS100）

_STM7-RS100
^{（用于STM7-CS100）

100 mm x 100 mm载物台}

STM7-RS200（用于STM7-CS200）

_STM7-RS200
^{（用于STM7-CS200）

200 mm x 200 mm载物台}

STM7-RS300（用于STM7-CS300）

_STM7-RS300
^{（用于STM7-CS300）

300 mm x 300 mm载物台}

技术规格

STM7规格（手动型号）

			手动型号
			小型载物台	中型载物台	大型载物台
显微镜主体			STM7-SF	STM7-MF	STM7-LF
	聚焦	垂直移动范围	175 mm		145 mm
		最大测量高度	120 mm（使用测量物镜） 175 mm（使用金相物镜）		90 mm（使用测量物镜） 145 mm（使用金相物镜）^*1
		Z轴测量分辨率	0.1 um
		Z轴驱动方法	手动同轴微调焦/粗调焦旋钮
	照明	LED 照明	白色：用于反射光照明，绿色：用于透射光照明
观察镜筒			MM6-ETR正像三目镜筒（100:0/0:100）
目镜（F.N.22）			MM6-OCC10X（带十字线）、MM6-OC10X
物镜	BF（明场）		MM6C-KMAS 照明
			U-5RES-ESD 物镜转换器
			MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X 金相物镜
	BF（明场）/DF（暗场）		MM6C-RLAS 照明
			U-D5BDRES-ESD 物镜转换器
			LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD 金相物镜
LED 装置	白色（反射）		MM6-ILW
	绿色（透射）		MM6-ILG
载物台			STM7-CS100	STM7-CS200	STM7-CS300
	测量范围		X轴100 mm，Y轴100 mm	X轴200 mm，Y轴200 mm	X轴300 mm，Y轴300 mm
	测量精度（L：测量长度）		(3+2L/100) μm	(3+4L/200) μm	(3+6L/300) μm
	精度保证重量		6 kg	10 kg	15 kg
计数器			STM7-DI
	轴数		三轴
	单位		毫米/微米/英寸/密耳
	最低分辨率		0.1 um
	控制箱		STM7-CB
	手控开关		STM7-HS
	聚焦控制器		－
	接口线缆		－
防振基座			－	STM7-VI
电源线缆			UYCP
尺寸（宽x深x高）mm			466 x 583 x 651	606 x 762 x 651	804 x 1024 x 686
重量（kg）			84 kg	152 kg	277 kg
功耗			100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A	100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A	100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A

_{*1 使用大型镜架STM7-LF/STM7-LFA时，可将高度为100 mm或以下的样品放置在光轴后方180 mm或以上距离的地方。}

物镜工作距离

物镜			1X	3X	5X	10X	20X	50X	100X
测量物镜	MM6-OB系列		59.6	76.8	65.4	50.5	－	－	－
金相物镜	MPLFLN系列	明场	－	－	20.0	11.0	3.1	1.0	1.0
	LMPLFLN系列	长工作距离	－	－	22.5	21.0	12.0	10.6	3.4
	MPLFLN-BD系列	明场/暗场	－	－	12.0	6.5	3.0	1.0	1.0
	LMPLFLN-BD系列	明场/暗场，长工作距离	－	－	15.0	10.0	12.0	10.6	3.3

STM7-BSW系统要求

项目
CPU	对于STM7-CU相机，需要Intel Core i3处理器3 GHz或更高；对于DP23/DP28相机，需要Intel Core i5或同等或更高级别处理器
内存	对于STM7-CU相机，为4 GB或更高；对于DP23/DP28相机，至少需要8 GB，建议16 GB
硬盘可用空间	安装需要100 GB或更大硬盘空间，建议使用SSD硬盘以实现高速图像采集
显卡	支持分辨率1980 x 1080和32位色的显卡
驱动器	DVD驱动器
PC输入设备	2键鼠标（建议使用带滚轮的3键鼠标）、键盘
操作系统	Microsoft Windows 10 Pro/Pro for Workstations（64位）
网络浏览器	Internet Explorer 11

_{* 还支持32位和64位Microsoft Office 2013/2016/2019/2021/365 (SAC)。}

STM7规格（电动型号）

			电动型号
			中型载物台	大型载物台
显微镜主体			STM7-MFA	STM7-LFA
	聚焦	垂直移动范围	175 mm	145 mm
		最大测量高度	120 mm（使用测量物镜） 175 mm（使用金相物镜）	90 mm（使用测量物镜） 145 mm（使用金相物镜）^*1
		Z轴测量分辨率	0.1 um
		Z轴驱动方法	电动聚焦按钮：粗调移动速度8 mm/s（最大值）微调焦/粗调焦旋钮：微调焦速度有4档可供选择（800 μm、400 μm、100 μm、50 μm）
	照明	LED 照明	白色：用于反射光照明，绿色：用于透射光照明
观察镜筒			MM6-ETR正像三目镜筒（100:0/0:100）
目镜（F.N.22）			MM6-OCC10X（带十字线）、MM6-OC10X
物镜	BF（明场）		MM6C-KMAS 照明
			U-5RES-ESD 物镜转换器
			MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X 金相物镜
	BF（明场）/DF（暗场）		MM6C-RLAS 照明
			U-D5BDRES-ESD 物镜转换器
			LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD 金相物镜
LED 装置	白色（反射）		MM6-ILW
	绿色（透射）		MM6-ILG
载物台			STM7-CS200	STM7-CS300
	测量范围		X轴200 mm，Y轴200 mm	X轴300 mm，Y轴300 mm
	测量精度（L：测量长度）		(3+4L/200) μm	(3+6L/300) μm
	精度保证重量		10 kg	15 kg
计数器			STM7-DI
	轴数		三轴
	单位		毫米/微米/英寸/密耳
	最低分辨率		0.1 um
	控制箱		STM7-CBA
	手控开关		－
	聚焦控制器		STM7-MCZ
	接口线缆		U-IFCBL200	U-IFCBL200
防振基座			STM7-VI
电源线缆			UYCP
尺寸（宽x深x高）mm			606 x 762 x 811	804 x 1024 x 844
重量（kg）			159 kg	284 kg
功耗			00-120/220-240V 50/60Hz 0.6A/0.35A	100-120/220-240V 50/60Hz 0.6A/0.35A

_{*1 使用大型镜架STM7-LF/STM7-LFA时，可将高度为100 mm或以下的样品放置在光轴后方180 mm或以上距离的地方。}

选件

物镜	测量物镜	MM6-OB系列（1X /3X /5X /10X）
聚焦导航器	聚焦导航器装置	STM7-FN
聚焦导航器	绿光LED装置	MM6-ILG
自动聚焦	自动对焦单元	STM7-AF
微分干涉对比度	用于反射光的U-DICR DIC插槽	U-DICR
软件/相机^*1	测量支持软件	STM7-BSW
相机	低端数码相机	STM7-CU
	中端数码相机	DP23-CU
	高端数码相机	DP28-CU
TV适配器	带0.5倍镜头的C型相机接口观察筒	U-TV0.5XC-3
TV适配器	带0.35倍镜头的C型相机接口观察筒	U-TV0/35XC-2
可旋转载物台	行程100 x 100 mm	STM7-RS100
	行程200 x 200 mm	STM7-RS200
	行程300 x 300 mm	STM7-RS300
ND滤镜	ND滤镜（透射率6%）	U-25ND6
ND滤镜	ND滤镜（透射率25%）	U-25ND25
微分干涉对比度	微分干涉对比度/偏振镜	U-PO3
微分干涉对比度	微分干涉对比度/检偏镜	U-AN360-3
软件	MIA、EFI（可选软件）	STM7-ASW-ME
脚踏开关		STM7-FS
电源装置		MM6-ILPS-2
载物台测微计		OB-M/OB-MM