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Inspeção do padrão de circuito em amostras de Wafer


Amostra de Wafer
Amostra de Wafer

Aplicação

Quando a observação microscópica do padrão de circuitos e da cor de uma amostra de wafer é necessária, o método convencional requer uma iluminação de campo escuro para o primeiro e uma iluminação de campo claro para o último, com alternação repetida entre as duas técnicas. Esse método de observação é demorado, pois é necessário adquirir uma imagem para cada técnica ao criar um relatório.

A solução da Olympus

Os microscópios industriais MX63/MX63L para inspeção de FPD/semicondutor oferecem uma alternativa eficiente para os métodos de observação convencionais: a função de iluminação MIX. Com a iluminação MIX é possível observar padrões de circuitos e informações sobre a cor de wafers simultaneamente. A nitidez e a clareza da imagem MIX ajudam a melhorar a eficiência do trabalho e a elaboração de relatórios.

Características dos produtos

  • Fluxo de trabalho simplificado
    Os microscópios MX63/MX63L estão equipados com funções que facilitam o fluxo de trabalho de inspeção do início até o fim, e com um nível de desempenho igualmente eficiente em ambientes de sala limpa.
  • Fácil de usar
    As configurações dos microscópios MX63/MX63L são fáceis de ajustar devido às funcionalidades de assistência de foco, intensidade de luz e controle de abertura. A operação simplificada dos microscópios MX63/MX63L permite que até os operadores menos experientes realizem inspeções em condições adequadas de observação.
  • Tecnologia de formação de imagem avançada
    Desenvolvidos com base em décadas de experiência em óptica, os microscópios MX63/MX63L fornecem imagens claras e nítidas para ajudar a garantir resultados de medição confiáveis.
  • Modularidade
    O design modular dos microscópios MX63/MX63L permite que os usuários escolham componentes ópticos de uma vasta gama para adequá-los às suas necessidades específicas da aplicação. É possível criar o sistema desejado sem custos de investimento exorbitantes.

DFMIX_BF

Iluminação de campo claro:
a cor do wafer está visível, mas o padrão de circuito não está claro.

DFMIX_BF+DF

Iluminação de campo escuro:
o padrão de circuito está claro, mas a cor do wafer não está visível.

DFMIX_DF

Iluminação MIX (iluminação de campo claro e de campo escuro):
os padrões de circuito e informações sobre a cor do wafer podem ser observados simultaneamente com nitidez e clareza.

Olympus IMS

应用所使用的产品
Os sistemas de microscópio MX63 e MX63L proporcionam observações de qualidade para wafers de até 300 mm, painéis de display planos, placas de circuito e outras amostras grandes, oferecendo funções versáteis e designs ergonômicos fáceis de usar. O design modular flexível oferece sistemas de observação ideais para diversas finalidades de inspeção. Através da combinação com o software de análise de imagens PRECiV, o seu procedimento de inspeção pode ser simplificado e otimizado, da observação à criação de relatórios.
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