Protetor do quadro condutor
Inspeção da rugosidade do protetor do quadro condutor
Durante a fabricação de semicondutores, um chip de circuito integrado (CI) cortado é montado no protetor de um quadro condutor. Antes do chip de CI ser finalmente montado, um adesivo (pasta adesiva do die) é aplicado ao protetor do die. Dependendo da aplicação da montagem, será usada uma pasta adesiva do die condutora ou não condutora. A pasta não condutora consiste em epóxi, poliamida ou outros materiais de resina. Quando o protetor do quadro condutor estiver suficientemente rugoso, a adesividade da pasta de resina não condutora aumenta. Portanto, conhecer a rugosidade do protetor do quadro condutor é fundamental para a gestão da qualidade.
Há diversos tipos de instrumentos que medem a rugosidade da superfície de uma substância, mas nem todos são adequados para a medição da rugosidade de um quadro condutor.
- Um medidor de rugosidade com contato pode danificar a superfície devido à sua sonda de medição. Além disso, o diâmetro da ponta destas sondas é geralmente de 2 µm, no mínimo. Isto faz com que ela seja inadequada para a medição da rugosidade a uma escala de mícrons em um objeto com um tamanho menor.
- Interferômetros de luz branca possuem resolução bidimensional baixa e a sua medição da rugosidade na aquisição de dados tridimensionais XYZ pode ter uma precisão questionável.
Solução Olympus: medição da rugosidade usando o microscópio OLS5000
A medição da rugosidade usando o microscópio de varredura a laser 3D Olympus LEXT OLS5000 é mais precisa do que somente os dados lineares de rugosidade.
Benefícios da medição da rugosidade do protetor de um quadro condutor
Para as medições da rugosidade do protetor de um quadro condutor, o microscópio LEXT OLS5000 oferece as vantagens a seguir:
- A medição da rugosidade planar por varredura a laser permite adquirir dados mais precisos do que os dados de medição de rugosidade lineares fornecidos por um medidor de rugosidade com contato. Além disso, através da união de dados é possível adquirir diversos tipos de dados unidos horizontalmente, permitindo a medição de uma área ampla do protetor de um quadro condutor.
- Não há perigo de danificar o protetor do die pois não há contato entre o microscópio e a superfície do protetor. Não é preciso se preocupar com a redução da precisão da medição devido a danos.
- É possível adquirir dados de alta precisão em uma medição de rugosidade 3D com uma resolução horizontal de 0,12 µm.
- A rugosidade não é adquirida somente como dados numéricos, ela também é adquirida e exibida como três tipos diferentes de dados de imagem (cor, laser e altura), permitindo verificar a textura analisando os dados numéricos como imagens.
- O microscópio LEXT OLS5000 especifica a área de medição e mede a rugosidade.
Após a medição, a área é maior do que a superfície plana pois a área da rugosidade é adicionada à área de medição. Ao comparar a área de medição com a área maior pós-medição, é possível adquirir informações 3D da superfície, além das informações sobre a altura.
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Imagem da medição exibindo dados de rugosidade planar