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Destrinchando o fluxo de trabalho da limpeza técnica — Parte 3: Classificação do tamanho de partículas e extrapolação e normalização da contagem de partículas

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Classes de tamanho de partículas (diferenciais e cumulativas) e contagem de partículas

Na terceira publicação desta série de seis partes do blog, analisaremos a classificação do tamanho de partículas e a extrapolação e normalização da contagem de partículas. A classificação, a extrapolação e a normalização se encaixam no processo geral de inspeção de limpeza técnica da seguinte maneira:

  • Preparação
    • Extração
    • Filtragem
    • Secagem e pesagem
  • Inspeção
    • Aquisição de imagens
    • Detecção de partículas
    • Medição do tamanho das partículas e classificação
    • Extrapolação e normalização da contagem de partículas
    • Cálculo do nível de contaminação
    • Definição do código de limpeza
    • Verificação do limite máximo de aprovação
    • Separação de partículas reflexivas e não reflexivas
    • Identificação da fibra
    • Revisão dos resultados
    • Elaboração dos relatórios

Classificação do tamanho de partículas

O resultado da detecção de partículas que analisamos na parte 2 desta série é um documento com os resultados de cada partícula detectada. Nele estão listados os tamanhos (normalmente o diâmetro máximo de Feret) de cada partícula. Todas as partículas são agrupadas em diferentes classes de tamanho. Isso reduz o tamanho do relatório e permite uma melhor comparação das medições.

É possível definir as classes de tamanho. Os parâmetros de classificação e a forma como as classes devem ser divididas estão definidos em várias normas internacionais. Existem dois grupos principais de classes de tamanho:

Classes diferenciais: As classes de tamanho são definidas pelo tamanho máximo e mínimo das partículas. Cada partícula é considerada em apenas uma classe.

Classes cumulativas: As classes de tamanho são definidas por um tamanho mínimo da partícula. Em consequência disso, é possível que as partículas sejam consideradas em mais de uma classe.

Classificação do tamanho de partículas

Uma área definida no filtro é rastreada e verificada em relação às partículas. As diferentes áreas do filtro (Fig. 1) estão definidas abaixo.

Uma membrana do filtro dividida em frames
Figura 1: Áreas do filtro usadas na extrapolação da contagem de partículas.

Tamanho do filtro: um filtro de tamanho padrão tem um diâmetro de 47 mm, resultando em uma área de filtro total de 1.735 mm2.

Área de passagem: o filtro não está totalmente coberto por partículas. As partículas apenas podem estar na área onde o enxágue da lavagem passou pelo filtro durante o processo de filtragem. Essa área de passagem pode ser definida pelo operador e deve ser uma área circular central com um diâmetro inferior a 42 mm.

Área máxima de rastreamento: a área máxima de rastreamento tem um diâmetro de 42 mm, resultando em uma área máxima de rastreamento total de 1.385 mm2.

Área de inspeção: a área real de rastreamento pode ser definida pelo usuário. Normalmente, a maior área possível é usada para o rastreamento, mas a área de inspeção também pode ser menor. Uma área de inspeção menor origina menos imagens, acelerando dessa forma o tempo necessário para inspecionar o filtro.

Todas as partículas são detectadas quando a área de passagem está completamente dentro da área de inspeção. Se a área de inspeção for menor do que a área de passagem, o sistema precisará extrapolar o número de partículas detectadas. A área de passagem deve ser definida no software de inspeção e será utilizada para a normalização da contagem de partículas.

Normalização da contagem de partículas

A contagem de partículas absoluta ou extrapolada deve ser normalizada para um valor de referência.

Dependendo do padrão usado e do filtro testado, o número de partículas medido é normalizado para um valor de comparação. Isso permite que você compare várias medições, ainda que as amostras analisadas não sejam do mesmo tamanho.

Dependendo do método, é usado um valor diferente para a normalização:

Área lavada: a normalização em uma área de superfície lavada será usada quando as partículas detectadas de uma área de uma superfície da amostra tiverem sido lavadas. A contagem de partículas resultante é normalizada para uma área de 1.000 cm2.

Volume lavado: a normalização em um volume de amostra lavado será usada quando as partículas detectadas de uma amostra estruturada maior tiverem sido lavadas. A contagem de partículas resultante é normalizada para uma área de 100 cm3.

Partes lavadas: a normalização em partes de amostras lavadas será usada quando as partículas detectadas de várias amostras semelhantes tiverem sido lavadas. A contagem de partículas resultante é normalizada em uma única parte da amostra.

Fluido filtrado: Se o fluido filtrado for analisado e as partículas detectadas de uma amostra não forem lavadas, a normalização tem de ser feita na quantidade de fluido filtrado. A contagem de partículas resultante é normalizada para um fluido filtrado de 1 ml ou 100 ml.

Observe que a unidade “cm3” é usada para o volume lavado e a unidade “ml” é usada para o fluido filtrado. As diferentes unidades são usadas para evitar a confusão entre o valor do volume da amostra lavada e o valor do fluido filtrado.

Após a classificação do tamanho de partículas e a extrapolação e normalização da contagem das partículas, são verificados os níveis de contaminação para cada uma das classes de tamanho de partículas. Consulte a publicação “Cálculo do nível de contaminação”, a quarta das seis partes da série “Destrinchando o fluxo de trabalho da limpeza técnica” do nosso blog.

Conteúdo relacionado

Destrinchando o fluxo de trabalho da limpeza técnica — Parte 1: Preparação

Destrinchando o fluxo de trabalho da limpeza técnica — Parte 2: Aquisição de imagem e medição de partículas

O valor de um sistema de inspeção de limpeza técnica integral

Product Applications Manager, Olympus Corporation of the Americas, Scientific Solutions Group

A member of the Olympus team since 2016, Hamish provides product and application support for Olympus industrial microscope systems throughout the Americas. He is an expert in inspection applications, image analysis, measurement, and reporting, as well as custom optical solutions, with an emphasis on technical cleanliness and semiconductor equipment.

三月 1, 2018
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