A fabricação de semicondutores é um processo intrincado e de várias facetas que abrange várias etapas, em que a precisão é fundamental e a inovação é a força propulsora. A corrosão se destaca como uma fase fundamental do processo durante a produção, pois é crucial para definir os padrões e as estruturas essenciais para dispositivos eletrônicos modernos.
Aqui, vamos explorar detalhadamente o processo de corrosão, destacando uma maneira fácil de controlar a espessura do revestimento das câmaras de corrosão.
Como funciona a corrosão na fabricação de semicondutores
A corrosão é um método usado na fabricação de semicondutores para remover seletivamente as camadas de material de um substrato, como um wafer de silício, para criar padrões e estruturas. Esse processo ocorre nas câmaras de corrosão, ambientes controlados em que os wafers semicondutores são expostos a corrosivos, produtos químicos e plasmas que removem seletivamente material da superfície do wafer. As câmaras de corrosão são projetadas para manter temperatura, pressão e concentrações químicas precisas para ajudar a garantir uma corrosão uniforme e precisa em todo o wafer.
Revestimentos especiais são necessários durante o processo de corrosão para proteger os componentes da câmara contra os produtos corrosivos e para melhorar o desempenho do processo. O ítrio é adequado a essas aplicações, devido à sua resistência química, estabilidade térmica e compatibilidade excepcionais com materiais semicondutores. Essas propriedades ajudam a garantir a longevidade das câmaras de corrosão e contribuem para a fabricação de dispositivos semicondutores consistentes e confiáveis.
O controle da espessura do ítrio surge como um desafio central, que demanda muita atenção e soluções avançadas.
Quatro motivos para monitorar a espessura do ítrio na fabricação de semicondutores
No processo de corrosão da fabricação de semicondutores, monitorar a espessura do ítrio é importante por vários motivos, incluindo:
1. Controle de processo
A espessura do revestimento de ítrio afeta diretamente o desempenho da câmara de corrosão. Com o monitoramento da espessura, os engenheiros podem confirmar que a câmara opera dentro dos parâmetros especificados, otimizando os processos de corrosão e mantendo uma qualidade consistente do produto.
2. Uniformidade
É crucial confirmar a espessura uniforme do ítrio em toda a câmara de corrosão para obter resultados de corrosão uniformes.
3. Prevenção da degradação do revestimento
Com o passar do tempo, os revestimentos de ítrio podem se degradar devido a fatores como o ataque químico e ciclagem térmica. O monitoramento da espessura permite detectar o afilamento ou a degradação no seu início, o que possibilita fazer a manutenção antes que o revestimento seja comprometido. Isso ajuda a aumentar a vida útil da câmara de corrosão e minimizar o tempo de inatividade.
4. Custo-benefício
O monitoramento regular da espessura do ítrio possibilita reformas e manutenção proativa, em vez de reparos reativos ou substituições. Isso reduz os custos, evitando tempo de inatividade não planejado e aumento da vida útil dos componentes da câmara de corrosão.
Tecnologia de fluorescência de raios X portátil para monitoramento preciso da espessura do revestimento de ítrio
Uma maneira fácil de monitorar a espessura do revestimento de ítrio das câmaras de corrosão é o uso da tecnologia de fluorescência de raios X (XRF).
Analisadores portáteis por XRF usam raios X para oferecer análise de materiais no local, sem danificar a amostra. Esse método de teste não destrutivo é bastante adequado ao controle de qualidade na produção de semicondutores, pois o analisador mede a espessura do revestimento de ítrio sem comprometer a integridade da câmara de corrosão ou da amostra do semicondutor.
Além disso, o processo é simples. O analisador emite raios X, que atingem o objeto de teste, causando sua fluorescência. O analisador detecta o retorno dos raios X e usa os dados para calcular a espessura do revestimento de ítrio (Y). Assim, você tem resultados de espessura em segundos. Leia mais sobre o funcionamento das medições de Revestimento na nossa postagem no blog, De finos a espessos: XRF para medição de espessura de revestimento.
Um técnico mede a espessura do revestimento de ítrio com um analisador por XRF manual Vanta™.
Resultados da espessura do revestimento de ítrio (Y) na tela do analisador portátil por fluorescência de raios X Vanta.
Com algoritmos avançados e procedimentos de calibração, os analisadores portáteis por XRF oferecem medições precisas da espessura do revestimento de ítrio em apenas alguns segundos.
Os resultados de espessura do revestimento de ítrio do analisador portátil por fluorescência de raios X Vanta são muito próximos das medições em laboratório.
Os analisadores portáteis por XRF são dispositivos versáteis. Eles podem medir a espessura do ítrio em vários tipos de materiais e revestimentos. O design compacto e fácil de usar faz com que eles sejam ideais para medições no local, o que permite que os técnicos realizem checagens de controle de qualidade com facilidade e eficiência.
Para mais informações sobre o uso do XRF portátil para medições de espessura de revestimento, entre em contato com nossa equipe para tratar das suas dúvidas e marcar uma demonstração.
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