功能
Ferramentas de observação e análise
Ferramentas de análise inovadoras
As capacidades de observação versáteis da série MX63 proporcionam imagens claras e nítidas para que os usuários possam detectar defeitos nas suas amostras de forma confiável. As novas técnicas de iluminação e opções de aquisição de imagem no software de análise de imagens PRECiV oferecem aos usuários mais opções para avaliar suas amostras e documentar seus achados.
O invisível se torna visível: observação e aquisição MIX
A tecnologia de observação MIX produz imagens de observação únicas combinando campo escuro com outro método de observação, como campo claro, fluorescência ou polarização. A observação MIX permite que os usuários visualizem defeitos que são difíceis de ver com microscópios convencionais. O iluminador de LED circular usado para a observação de campo escuro possui uma função de campo escuro direcional na qual apenas um quadrante é iluminado em um determinado momento. Isso reduz o halo de uma amostra e é útil para visualizar a textura da superfície de uma amostra.
Estrutura em wafer semicondutor
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O padrão do circuito integrado não está claro. | A cor do wafer é invisível. | A cor do wafer e o padrão do circuito integrado estão claramente representados. |
Resíduo fotorresistente em um wafer semicondutor
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A própria amostra é invisível. | O resíduo não está claro. | O padrão do circuito integrado está claramente representado. |
Condensador
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A superfície é refletida. | Diversas imagens com campo escuro direcional de diferentes ângulos. | Ao unir imagens claras sem halo, é criada uma única imagem nítida da amostra. |
Crie facilmente imagens panorâmicas: MIA instantâneo
Com o alinhamento de múltiplas imagens (MIA), os usuários podem unir imagens rápida e facilmente movendo os botões KY na platina manual – não é necessária uma platina motorizada. O software PRECiV utiliza recursos de reconhecimento de padrão para gerar uma imagem panorâmica, fornecendo aos usuários um campo de visão mais amplo.
Imagem com MIA instantâneo de uma moeda
Criar imagens focalizadas: EFI
A função de imagem focal estendida (Extended Focus Imaging, EFI) no PRECiV captura imagens de amostras com alturas que ultrapassam a profundidade de foco da objetiva e as empilha para criar uma imagem com todos os focos incluídos. É possível executar a EFI utilizando tanto um eixo Z manual ou motorizado, criando um mapa de altura para uma visualização fácil de estruturas. Além disso, também é possível criar uma imagem EFI no PRECiV Desktop em modo offline.
Batente “stud” em um chip de CI
Capture áreas claras e escuras usando HDR
Ao usar o processamento de imagem avançado, a alta variação dinâmica (HDR) se ajusta às diferenças na claridade de uma imagem para reduzir o brilho. A HDR aprimora a qualidade visual das imagens digitais, o que ajuda a gerar relatórios com um aspecto profissional.
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Algumas áreas brilham. | As áreas claras e escuras estão claramente expostas pela HDR. | O arranjo TFT está escurecido devido ao brilho do filtro de cores. | O arranjo TFT está exposto pela HDR. |
De medições básicas a análises avançadas
A medição é essencial para o controle e inspeção de qualidade e de processos. Com isso em mente, até o pacote de nível básico do software PRECiV inclui um menu completo de funções de medição interativas, com todos os resultados de medição salvos com arquivos de imagem para documentação adicional. Além disso, a solução para materiais do PRECiV oferece uma interface intuitiva e orientada para o processo de trabalho para análises de imagem complexas. As tarefas de análise de imagens podem ser executadas rápida e precisamente com apenas um clique. Com uma redução significativa no tempo de processamento para tarefas repetidas, os operadores podem se concentrar na inspeção em questão
Medição básica (padrão em uma placa de circuito impresso) |
Solução de força de lançamento (seção transversal de um orifício na placa de circuito impresso) |
Solução para medições automáticas (estrutura do wafer) |
> Saiba mais sobre o software PRECiV
Criação eficiente de relatórios
Criar um relatório muitas vezes pode demorar mais do que capturar a imagem e realizar as medições. O software PRECiV proporciona a criação intuitiva de relatórios para produzir repetidamente relatórios inteligentes e sofisticados com base em modelos predefinidos. A edição é simples e os relatórios podem ser exportados para o software Microsoft Word ou PowerPoint. Além disso, a função de geração de relatórios do software PRECiV permite o zoom e a ampliação digitais nas imagens adquiridas. Os arquivos de relatórios têm um tamanho razoável para facilitar a troca de dados por e-mail.
> Saiba mais sobre o software PRECiV
Design avançado para apoiar a conformidade da sala limpa
A série MX63 foi concebida para funcionar em uma sala limpa e possui recursos que ajudam a minimizar o risco de contaminar ou danificar as amostras. O sistema tem um design ergonômico que ajuda a manter os usuários confortáveis, mesmo durante o uso prolongado. A série MX63 está em conformidade com as especificações e normas internacionais, incluindo SEMI S2/S8, CE e UL.
Integração opcional do carregador de wafer – Sistema AL120*
Um carregador de wafers opcional pode ser acoplado à série MX63 para transferir de maneira segura wafers semicondutores compostos e de silício desde um cassete para a platina do microscópio sem usar pinças ou garras. O desempenho e a credibilidade renomados permitem inspeções macro frontais e traseiras, enquanto o carregador ajuda a melhorar a produtividade no laboratório.
MX63 com o carregador de wafers AL120 (versão de 200 mm)
*O AL120 não está disponível na região EMEA (Europa, Oriente Médio e África).
Inspeções rápidas e limpas
A série MX63 oferece inspeções de wafers sem contaminação. Todos os componentes motorizados estão alojados em uma estrutura blindada, e o processamento antiestático é aplicado à estativa do microscópio, tubos de observação, proteção respiratória e outras peças. A velocidade de rotação dos porta-objetivas motorizados é maior e mais segura que dos porta-objetivas manuais, o que diminui o tempo entre inspeções e mantém as mãos do operador abaixo do wafer, reduzindo o potencial de contaminação.
Proteção respiratória antiestática |
Porta-objetivas motorizado |
Sistema projetado para realizar observações eficientes
A platina XY é capaz de realizar movimentos grossos e finos da platina graças à combinação de uma embreagem incorporada e os botões XY. A platina ajuda a realizar observações eficientes, mesmo para amostras grandes, como wafers de 300 mm.
O longo alcance do tubo de observação inclinável permite que os operadores se sentem diante do microscópio em uma postura confortável.
Pega da platina com embreagem incorporada |
O tubo de observação inclinável permite uma postura confortável |
Aceita todos os tamanhos de wafer
Porta-wafers e placas de vidro | O sistema funciona com diversos tipos de porta-wafers de 150–200 mm e 200–300 mm e placas de vidro. Se o tamanho dos wafers mudar na linha de produção, a estativa do microscópio poderá ser modificada com custo mínimo. Com a série MX63, é possível usar diferentes platinas para acomodar wafers de 75 mm, 100 mm, 125 mm e 150 mm na linha de inspeção. |
