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显微镜解决方案

模块化

Completamente personalizável

A série MX63 foi projetada para permitir que o cliente escolha uma variedade de componentes ópticos para atender às necessidades de inspeção e aplicação individuais. O sistema pode usar todos os métodos de observação. Os usuários também podem escolher entre uma variedade de pacotes de análise de imagens PRECiV para atender às necessidades individuais de aquisição e análise de imagens.


Dois sistemas acomodam diversos tamanhos de amostra

O sistema MX63 pode acomodar wafers de até 200 mm, enquanto o sistema MX63L pode lidar com wafers de até 300 mm com a mesma área reduzida que o sistema MX63. O design modular facilita a personalização do microscópio para seus requisitos específicos

MX63

MX63

MX63L

MX63L


Compatibilidade com IV

A observação de infravermelho pode ser realizada com as lentes objetivas de infravermelho, o que permite que os operadores inspecionem de forma não destrutiva a parte interna dos chips de CI embalados e montados em uma placa de circuito impresso usando as características do silício que transmite a luz infravermelha. As objetivas de IV 5X a 100X estão disponíveis com correção de aberração cromática de comprimentos de onda de luz visível através do infravermelho próximo.Especialmente com uma lente objetiva de 20X ou mais, a aberração causada pela camada de silicone que cobre o objeto de observação pode ser corrigida pelo colar de correção para obter uma imagem mais clara.

Compatibilidade com IV 01

Lentes objetivas de infravermelho

Compatibilidade com IV 02

Sem correção de aberração

Compatibilidade com IV 03

Com correção de aberração

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