模块化

Completamente personalizável

A série MX63 foi projetada para permitir que o cliente escolha uma variedade de componentes ópticos para atender às necessidades de inspeção e aplicação individuais. O sistema pode usar todos os métodos de observação. Os usuários também podem escolher entre uma variedade de pacotes de análise de imagens PRECiV para atender às necessidades individuais de aquisição e análise de imagens.

Dois sistemas acomodam diversos tamanhos de amostra

O sistema MX63 pode acomodar wafers de até 200 mm, enquanto o sistema MX63L pode lidar com wafers de até 300 mm com a mesma área reduzida que o sistema MX63. O design modular facilita a personalização do microscópio para seus requisitos específicos

Compatibilidade com IV

A observação de infravermelho pode ser realizada com as lentes objetivas de infravermelho, o que permite que os operadores inspecionem de forma não destrutiva a parte interna dos chips de CI embalados e montados em uma placa de circuito impresso usando as características do silício que transmite a luz infravermelha. As objetivas de IV 5X a 100X estão disponíveis com correção de aberração cromática de comprimentos de onda de luz visível através do infravermelho próximo.Especialmente com uma lente objetiva de 20X ou mais, a aberração causada pela camada de silicone que cobre o objeto de observação pode ser corrigida pelo colar de correção para obter uma imagem mais clara.