Evident LogoOlympus Logo
资源库
应用说明
返回到资源库

Анализ рельефа схемы на образцах полупроводниковых пластин


Образец полупроводниковой пластины
Образец полупроводниковой пластины

Область применения

Когда требуется микроскопический анализ рельефа схемы и цвета образца полупроводниковой пластины, традиционный метод предполагает применение режима темпнопольного освещения для первого и светлопольного освещения для второго с необходимостью постоянного переключения между этими двумя режимами. Такая процедура анализа отнимает много времени, поскольку для создания отчета необходимо выполнить получение изображения в каждом из режимов.

Решение Olympus

Промышленные микроскопы MX63/MX63L для контроля полупроводников/плоских детекторов предлагают оптимальную альтернативу традиционным методам наблюдения: режим смешанного освещения. В режиме смешанного освещения можно одновременно выполнять анализ рельефа схемы и цвета полупроводниковой пластины. Высокое качество и четкость изображения, полученного в смешанном режиме, помогают повысить производительность и ускорить формирование отчета.

Отличительные характеристики данных микроскопов

  • Оптимизированный рабочий процесс
    Микроскопы MX63/MX63L оснащены функциями, которые помогают упростить процесс проверки на всех этапах, обеспечивая уровень производительности, столь же эффективный и в условиях чистой комнаты.
  • Понятное управление
    Благодаря функциям, помогающим подобрать параметры фокусировки, интенсивности освещения и контроля апертуры, вы сможете легко настроить микроскопы MX63/MX63L для анализа конкретного образца. Упрощенная организация функций в микроскопах MX63/MX63L позволяет даже неопытным операторам выполнять необходимые проверки при правильных настройках наблюдения.
  • Усовершенствованная технология визуализации
    Спроектированные с учетом многолетнего опыта разработки оптических систем, микроскопы MX63/MX63L обеспечивают захват четких изображений с высоким разрешением, способствуя получению достоверных результатов измерений.
  • Модульное исполнение
    Модульная конструкция микроскопов MX63/MX63L предоставляет пользователям возможность выбирать из широкого ассортимента компонентов оптической системы те, которые наилучшим образом подходят для использования в конкретной области применения. Индивидуальная система может быть собрана без лишних финансовых вложений.

DFMIX_BF

Светлопольное освещение
Цвет полупроводниковой пластины виден, но рельеф схемы нечеткий.

DFMIX_BF+DF

Темнопольное освещение
Рельеф схемы четко просматривается, но цвет полупроводниковой пластины не виден.

DFMIX_DF

Смешанное освещение (светлопольное + темнопольное)
Рельеф схемы полупроводниковой пластины и ее цвет можно наблюдать одновременно на изображении с высокой четкостью и резкостью.

Olympus IMS

应用所使用的产品
Микроскопы MX 63 и MX63L обеспечивают качественное наблюдение пластин диаметром 300 мм, плоских дисплеев, печатных плат и других крупных образцов, — все это благодаря универсальным функциям и эргономичному дизайну. Гибкая модульная конструкция обеспечивает оптимизированные системы наблюдения для различных целей контроля. В комбинации с программным обеспечением PRECiV процедура проверки от наблюдения до создания отчета может быть упрощена и оптимизирована.
Sorry, this page is not available in your country
Let us know what you're looking for by filling out the form below.
Sorry, this page is not available in your country