Анализ рельефа схемы на образцах полупроводниковых пластин

Образец полупроводниковой пластины

Область применения

Когда требуется микроскопический анализ рельефа схемы и цвета образца полупроводниковой пластины, традиционный метод предполагает применение режима темпнопольного освещения для первого и светлопольного освещения для второго с необходимостью постоянного переключения между этими двумя режимами. Такая процедура анализа отнимает много времени, поскольку для создания отчета необходимо выполнить получение изображения в каждом из режимов.

Решение Olympus

Промышленные микроскопы MX63/MX63L для контроля полупроводников/плоских детекторов предлагают оптимальную альтернативу традиционным методам наблюдения: режим смешанного освещения. В режиме смешанного освещения можно одновременно выполнять анализ рельефа схемы и цвета полупроводниковой пластины. Высокое качество и четкость изображения, полученного в смешанном режиме, помогают повысить производительность и ускорить формирование отчета.

Отличительные характеристики данных микроскопов

• Оптимизированный рабочий процесс
  Микроскопы MX63/MX63L оснащены функциями, которые помогают упростить процесс проверки на всех этапах, обеспечивая уровень производительности, столь же эффективный и в условиях чистой комнаты.
• Понятное управление
  Благодаря функциям, помогающим подобрать параметры фокусировки, интенсивности освещения и контроля апертуры, вы сможете легко настроить микроскопы MX63/MX63L для анализа конкретного образца. Упрощенная организация функций в микроскопах MX63/MX63L позволяет даже неопытным операторам выполнять необходимые проверки при правильных настройках наблюдения.
• Усовершенствованная технология визуализации
  Спроектированные с учетом многолетнего опыта разработки оптических систем, микроскопы MX63/MX63L обеспечивают захват четких изображений с высоким разрешением, способствуя получению достоверных результатов измерений.
• Модульное исполнение
  Модульная конструкция микроскопов MX63/MX63L предоставляет пользователям возможность выбирать из широкого ассортимента компонентов оптической системы те, которые наилучшим образом подходят для использования в конкретной области применения. Индивидуальная система может быть собрана без лишних финансовых вложений.

Смешанное освещение (светлопольное + темнопольное)
Рельеф схемы полупроводниковой пластины и ее цвет можно наблюдать одновременно на изображении с высокой четкостью и резкостью.