Контактная площадка выводной рамки
Контроль шероховатости контактной площадки выводной рамки
В процессе производства полупроводников разделенная на кристаллы пластина интегральной схемы (ИС) монтируется на контактной площадке выводной рамки. Перед окончательным монтажом ИС на контактную площадку наносится адгезивный материал (соединительная паста). В зависимости от функционального назначения, наносится проводящая или непроводящая соединительная паста. Непроводящая паста состоит из эпоксидной смолы, полимида или других полимерных материалов. Когда контактная площадка выводной рамки имеет достаточную шероховатость, адгезивные свойства непроводящей полимерной пасты усиливаются. В связи с этим, для надлежащего контроля качества обязательно точно знать степень шероховатости поверхности контактной площадки.
Существует несколько инструментов для измерения шероховатости поверхности материала, но лишь немногие из них пригодны для измерения шероховатости выводной рамки.
- Контактный профилометр может повредить поверхность ввиду конструкции его измерительного датчика. Кроме того, диаметр конца датчиков профилометра обычно составляет как минимум 2 мкм, из-за чего становится невозможным измерение шероховатости на микронном уровне для образцов меньшего размера.
- Интерферометры белого света имеют низкое двухмерное разрешение, поэтому не способны обеспечить достоверную точность данных при выполнении трехмерных измерений шероховатости.
Решение Olympus: измерение шероховатости с помощью микроскопа OLS5000
Измерения шероховатости с помощью 3D лазерного сканирующего микроскопа LEXT OLS5000 компании Olympus более точные в сравнении с линейными данными о шероховатости.
Преимущества при измерении шероховатости контактной площадки выводной рамки
Микроскоп LEXT OLS5000 имеет следующие преимущества при измерении шероховатости контактной площадки выводной рамки:
- Измерение шероховатости методом лазерного сканирования в двухмерной проекции позволяет получать более точные данные, чем при линейном измерении шероховатости, выполняемом с помощью контактных измерительных приборов. Кроме того, функция сшивания данных позволяет получать наборы данных, сшитых в горизонтальной плоскости, тем самым обеспечивая возможность измерения большей площади площадки выводной рамки.
- За счет отсутствия контакта между микроскопом и поверхностью контактной площадки нет риска повреждения площадки. Соответственно, вы можете не беспокоиться о снижении точности измерений, вызванном повреждениями.
- При 3D измерении шероховатости с разрешением в горизонтальной плоскости 0,12 мкм возможно получение высокоточных данных.
- Данные о шероховатости не только получаются в виде числовых данных, но и отображаются в формате трех типов данных изображений (цвет, лазер, высота), что позволяет выполнять анализ структуры, просматривая числовые данные в виде изображений.
- Микроскоп LEXT OLS5000 очерчивает область измерений и выполняет измерение шероховатости.
По завершении измерений анализируемая область оказывается больше фактической площади поверхности, поскольку к области измерений добавляется область шероховатости. Путем сопоставления области измерений с большей областью, получаемой после измерений, можно получить объемные данные о поверхности, а также данные о высоте.
Изображение
Изображение измерения шероховатости в двухмерной проекции
