Разработка метрологических приборов, поддерживающих высокопроизводительные испытания (т.е. количество проверок, которые можно выполнить за требуемое время), является распространенной проблемой в производстве полупроводников, плоских дисплеев (FPD) и органических светодиодов (OLED).
Являясь ведущим поставщиком OEM-оптических компонентов, компания Olympus поставляет высококачественные микроскопы производителям оптического оборудования для контроля, производства и исследований. В рамках контроля качества в обрабатывающей промышленности эти устройства могут существенно повысить производительность (т.е. процент исправных изделий от всех произведенных) благодаря продуманной конструкции.
Например, микроскопы, интегрированные в высокопроизводительные контрольно-измерительные системы, часто нуждаются в интуитивном дистанционном управлении, чтобы пользователи всех уровней квалификации могли легко и точно выполнить контроль. С помощью простых элементов управления вы можете настроить фокус, место наблюдения за образцом, методы наблюдения и увеличение для быстрого получения нужного изображения. Мы предлагаем различные устройства с моторизованным управлением, такие как моторизованный микроскоп с Z-образным приводом, моторизованный осветитель, моторизованный анализатор, блок управления и ручной переключатель.
Мы также предлагаем моторизованную револьверную насадку с функцией вакуума (U-D5BDREMC-VA), которая может улучшить чистоту, обеспечивая при этом скорость и долговечность. Для тех, кто не знаком, револьверная головка (или револьверная турель) содержит несколько объективов с разным увеличением. Поворачивая револьверную головку, пользователи могут рассматривать образец с различным увеличением по мере необходимости.
Моторизованная револьверная головка
Контроль загрязнения в производстве полупроводников, ППД и органических светоизлучающих диодов (OLED)
Чистота является главной заботой инспекторов при производстве полупроводников, ППД и OLED для получения продуктов, функционирующих должным образом. В результате, оборудование контроля используется в экологически контролируемых средах (чистых помещениях). Попадание пыли с револьверной головки объектива на образец, например на полупроводниковую пластину, не допускается. Даже крошечная пылинка может загрязнить пластину, нарушить ее функциональность и повлиять на выход продукта.
Моторизованная револьверная головка с вакуумной функцией (U-D5BDREMC-VA) использует всасывание низкого давления для уменьшения количества мелких частиц, попадающих при вращении револьверной головки, а также улавливания газа или пыли, создаваемых смазочным материалом. Эта функция вакуума делает револьверную головку идеальной для контролируемых сред и чистых помещений. Револьверная головка может использоваться как встроенный модуль микроскопа для оборудования контроля полупроводников и ППД.
Револьверная головка с вакуумной функцией для контроля загрязнения
Различные револьверные головки для контроля полупроводниковых пластин и не только
Мы предлагаем широкий ассортимент револьверных головок, интегрируемых в системы контроля, производства и исследований. Наш ассортимент включает как ручные, так и моторизованные варианты.
- Револьверная головка с ручным управлением: Наш ассортимент поддерживает такие методы наблюдения, как светлое поле, темное поле и дифференциально-интерференционный контраст (ДИК); способен удерживать 4-7 объективов, и соответствует спецификациям электростатического разряда и т.д.
- Револьверная головка с функцией кодирования: Данный тип ручной револьверной головки позволяет определять положение крепежного отверстия револьверной головки объектива. Используя программное обеспечение, вы можете сопоставлять информацию об увеличении объектива с его положением на револьверной головке; это позволяет быстрее добавлять информацию об увеличении к полученному изображению, снижая при этом риск ошибки при ручном вводе данных.
- Моторизованная револьверная головка: Этот тип револьверной головки электрически перемещает пять или шесть объективов. Также доступна моторизованная револьверная головка с функцией вакуума.
- Револьверная обойма с функцией центрирования: Данный тип револьверной головки позволяет центрировать оптическую ось объектива вручную или электрически. Это изменяет положение отверстия револьверной головки в соответствии со смещением каждой линзы объектива. В итоге, все установленные объективы можно выровнять. С помощью этой регулировки вы можете наблюдать точно такое же положение центра до и после замены объектива.
- Адаптер крепления объектива: Данный адаптер (STM7-MMOBAD) позволяет использовать только один объектив. Это экономичный вариант, если ваша задача не требует использования нескольких объективов. Обратите внимание, что адаптер поставляется только с винтом RMS W26 и не имеет оптического пути для освещения в темном поле.
Адаптер крепления объектива (STM7-MMOBAD) отличается гибкостью и позволяет устанавливать только один объектив в систему, поддерживающую несколько объективов. Слева: один объектив, установленный с помощью адаптера крепления объектива. В центре: перед установкой револьверной головки. Справа: несколько объективов, установленные с использованием револьверной головки.
Чтобы узнать больше о наших OEM-решениях, перейдите в раздел Центр онлайн-ресурсов OEM на нашем на сайте науки о жизни. Здесь вы можете скачать технические описания наших устройств и данные 3D CAD с характеристиками револьверных головок.
См. также
Обнаружение производственных дефектов на полупроводниковых пластинах с помощью цифрового микроскопа
Электронная книга: усовершенствованная оптическая метрология для электроники
Анализ рельефа схемы на образцах полупроводниковых пластин
Связаться с нами
