Evident LogoOlympus Logo
洞见博客

Технологический процесс обеспечения промышленной чистоты – Часть 6: Просмотр результатов и создание отчета

作者  -
Technical cleanliness

Идентификация изображений частиц: удаление, слияние или разделение; создание отчетов

Заключительная (шестая) часть нашей серии блогов посвящена анализу полученных результатов и построению отчетов; также рассматриваются различные типы отчетов данных. Вот где анализ результатов и отчетность вписываются в общий процесс контроля промышленной чистоты:

  • Подготовка
    • Экстракция
    • Фильтрация
    • Сушка и взвешивание
  • Контроль
    • Получение изображения
    • Обнаружение частиц
    • Измерение размеров частиц и классификация
    • Экстраполяция и нормализация подсчета частиц
    • Определение уровня загрязненности
    • Расшифровка кода чистоты
    • Подтверждение максимального значения
    • Разделение отражающих и неотражающих частиц
    • Идентификация волокон
    • Анализ результатов
    • Создание отчета

Просмотр результатов

Перед началом создания отчета, можно проверить обнаруженные и классифицированные частицы. Это дает вам возможность перепроверить и подтвердить результаты контроля чистоты в интерактивном режиме, перед их презентацией. Обычно перепроверяются крупные частицы. На данном этапе возможны следующие операции:

  1. Выявление неправильно идентифицированных частиц

    Ошибки при анализе мембранного фильтра: например, артефакты, вызванные неправильной сушкой, могут быть ошибочно приняты за частицы. Эти неправильно идентифицированные частицы должны быть удалены (убрать выделение на экране дисплея) (Рис. 1).

    Рис. 1Рис. 1Рис. 1

    Рис. 1: Артефакт, ошибочно выделенный как частица (слева). То же изображение: удалено все выделение (в центре). То же изображение: удалено выделение артефакта (справа).

  2. Разделение частиц

    Когда частицы расположены очень близко друг к другу, они не распознаются как отдельные элементы, а ошибочно идентифицируются как одна крупная частица. В этих случаях, они должны быть переклассифицированы как отдельные частицы (Рис. 2).

    Рис. 2Рис. 2Рис. 2

    Рис. 2: Несколько частиц ошибочно выделены как одна крупная частица (слева). То же изображение: выделение удалено (в центре). То же изображение: скопление нескольких частиц теперь правильно идентифицированы как отдельные частицы (справа).

  3. Слияние фрагментов частиц

    В других случаях, одна частица ошибочно идентифицируется как несколько частиц. Если это так, фрагменты частицы должны быть объединены (Рис. 3).

    Рис. 3Рис. 3Рис. 3

    Рис. 3: Два фрагмента частицы ошибочно выделены как две отдельные частицы (слева). То же изображение: выделение удалено (в центре). То же изображение: частица правильно идентифицирована как один элемент (справа).

  4. Изменение семейства частиц

    Если вы обнаружите, что частица ошибочно отнесена к другому семейству (т.е. отражающая частица интерпретирована как неотражающая), необходимо отредактировать классификацию частиц.

Создание отчета

Отчет о контроле промышленной чистоты должен содержать все результаты измерений и данные мембранного фильтра в стандартизированной форме (Рис. 4). В зависимости от используемого стандарта чистоты, должны быть обязательно включены конкретные результаты или параметры измерения (т.е. время экспозиции камеры, отсканированная/проверенная зона образца и т. д.). Некоторые стандарты требуют описания определенных параметров сбора данных, например, название стандарта и зону покрытия загрязняющими частицами.

Форму отчета можно отредактировать с учетом особенностей контроля и требований компании, запрашивающей данные. В отчет можно включить классификационные таблицы и изображения крупных частиц. Эту информацию можно обозначить в шаблонах отчетов, в программах контроля.

Рис. 4

Рис. 4: Примеры отчетов, полученные с помощью системы контроля промышленной чистоты CIX100 OLYMPUS.

Контроль промышленной чистоты включает в себя несколько этапов подготовки и контроля, каждый из которых мы рассмотрели в отдельном блоге. Мы надеемся, что данная серия блогов помогла вам лучше понять процесс контроля промышленной чистоты, позволила вам оптимизировать рабочий процесс и улучшить результаты контроля.

См. также

Технологический процесс обеспечения промышленной чистоты – Часть 1

Технологический процесс обеспечения промышленной чистоты – Часть 2

Технологический процесс обеспечения промышленной чистоты – Часть 3

Технологический процесс обеспечения промышленной чистоты – Часть 4

Технологический процесс обеспечения промышленной чистоты – Часть 5

Product Applications Manager, Olympus Corporation of the Americas, Scientific Solutions Group

A member of the Olympus team since 2016, Hamish provides product and application support for Olympus industrial microscope systems throughout the Americas. He is an expert in inspection applications, image analysis, measurement, and reporting, as well as custom optical solutions, with an emphasis on technical cleanliness and semiconductor equipment.

十一月 13, 2018
Sorry, this page is not available in your country
InSight Blog Sign-up
Sorry, this page is not available in your country
Let us know what you're looking for by filling out the form below.
Sorry, this page is not available in your country