Оборудование серии MX63 разработано для предоставления оператору возможности выбора из широкого диапазона оптических компонентов, которые подойдут для конкретных типов наблюдения и требований применения. Система рассчитана на использования любых методов наблюдения. Пользователи также могут выбрать из множества аналитических пакетов PRECiV, которые будут соответствовать индивидуальным требованиям для визуализации и анализа.
Система MX63 способна обеспечить наблюдение пластин до 200 мм, а система MX63L позволяет исследовать пластины до 300 мм, занимая при этом такую же малую площадь, как и MX63. Модульная конструкция позволяет легко настроить микроскоп под конкретные нужды заказчика
MX63 | MX63L |
Наблюдения в инфракрасном свете проводятся с помощью ИК-объективов, которые позволяют операторам неразрушающим методом исследовать внутреннее пространство ИС, установленных на печатной плате, благодаря свойствам кремния, который пропускает инфракрасный свет. Доступны ИК объективы от 5X до 100X с коррекцией хроматической аберрации от видимого до ближнего инфракрасного диапазона длин волн.В частности, с объективом 20X или более аберрация, вызванная слоем кремния, покрывающим объект наблюдения, может быть отрегулирована с помощью корректирующего кольца для получения четкого изображения.
ИК-объективы | Без коррекции аберраций | С коррекцией аберраций |