背景
立方氮化硼（CBN）是一种常用作磨料的硬质化合物。CBN车削刀片用于制造需要精密加工的关键性部件。CBN刀片耐用，但会随着时间出现磨损。CBN刀片磨损的机加工件可能导致代价高昂的制造缺陷和低劣的质量。因此，必须定期检查CBN刀片。
奥林巴斯的解决方案
奥林巴斯LEXT 3D测量激光显微镜的最小分辨率为5 nm，非常适合于检测CBN刀片。LEXT使用户能够创建受检物体的3D图像，从而提供潜在磨损的高分辨率和详细视觉图像（图1）。
产品的特性
通过LEXT，用户能够获取高像素密度的超高分辨率图像，从而可以进行精确的3D观察。尽管传统激光显微镜很难准确测量具有陡峭角度的样品，但LEXT能够可靠地测量陡峭角度和复杂几何形状。此外，LEXT具有表面粗糙度模式，可测量一条线上的线粗糙度和整个表面上的平面粗糙度。
图像
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| 图1：使用前（左图）和使用后（右图）立方氮化硼（CBN）刀片的3D图像 | |
