高通量计量和检测的污染控制智慧之道

作者 Shunsuke Kurata - 2021年 12月 21日

在半导体、平板显示器 (FPD) 和有机发光二极管 (OLED) 制造业中，设计支持高通量检测（即，每次所需时间可处理的检测数量）的计量仪器是我们面临的一项共同挑战。

作为 OEM 光学器件和组件的领先供应商，奥林巴斯为仪器设计师提供高质量的显微镜装置，而这些仪器设计师会为检测、生产和研究领域开发光学设备。对于制造业中的质量检测，由于这些装置设计合理周到，还有助于提高产量（即所有产品中无缺陷产品的百分比）。

例如，集成到高通量检测设备中的显微镜装置通常需要直观的远程控制，以便所有技能水平的用户都可以轻松准确地执行检测。通过简单的控制，您可以调整焦距、样品观察位置、观察方法和放大倍率，以快速获得用于检测的图像。我们提供各种能够实现电动控制的装置，如电动 Z轴驱动显微镜装置、电动照明器、电动分析仪、控制箱和手动开关。

我们还推出了一款带有真空功能 (U-D5BDREMC-VA) 的电动物镜转盘，其可以改善清洁度，同时提高速度和耐用性。对于并不熟悉该装置的人，物镜转盘（也称作物镜转塔）可以容纳不同放大率的物镜。通过旋转转盘，用户可以根据需要在不同的放大倍数下查看样品。

_{电动物镜转盘}

半导体、FPD 和 OLED 行业的污染控制

清洁度是半导体、FPD 和 OLED 制造行业的检查人员最关心的问题，这一点关系到是否可以生产出功能正常的产品。因此，应将检测设备用于受控环境，如洁净室。不允许灰尘从物镜转盘落到样品上，如半导体晶圆。即使是微小的灰尘也会污染晶圆，破坏其功能，进而影响产品产量。

我们带真空功能的电动物镜转盘 (U-D5BDREMC-VA) 使用低压吸力，可减少物镜转盘旋转时落下的细粒数量，并捕获润滑系统所用润滑脂产生的任何气体或灰尘。这种真空功能使我们的物镜转盘成为受控洁净室环境的理想选择。物镜转盘可用作半导体和 FPD 检测设备的内置显微镜模块。

_{用于污染控制的带真空功能的物镜转盘}

用于半导体晶圆检测及其他用途的各种物镜转盘

我们提供各种物镜转盘，这些物镜转盘可集成到检测、生产和研究领域的系统中。我们的选择包含手动和电动选项。

手动物镜转盘：该产品系列可以支持诸如明场、暗场和微分干涉对比 (DIC) 等观测方法，可以容纳四至七个目标，满足 ESD 规范等。
带编码功能的物镜转盘：这种类型的手动物镜转盘可以检测转盘的物镜安装孔位置。您可以使用软件将物镜的放大倍率信息与其在转盘上的位置相匹配，使您能够更快地将放大倍率信息添加到捕获的图像中，同时降低手动数据输入错误的风险。
电动物镜转盘：这种类型的物镜转盘可以通过电动方式移动五个或六个物镜。带有真空功能的电动物镜转盘同样已经推出。
带对中功能的物镜转盘：这种类型的物镜转盘可让您通过手动或电动方式将物镜的光轴对中。这样可以改变物镜转盘的孔位置，以便针对每个物镜的细微移动进行调整。最终将所有安装的物镜对准。经过调整，您会发现更换物镜前后，中心位置是相同的。
物镜支架转接器：这款转接器 (STM7-MMOBAD) 可让您只使用一个物镜。如果您的应用不需要多个物镜，那这是一种经济实惠的选择。请注意，这款转接器（适配器）仅配备 RMS 螺丝 W26，并且没有用于暗场照明的光路。