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USPM-RU III反射仪可精确测量当前分光仪无法测量的微小、薄样本的光谱反射率,不会与样本背面的反射光产生干涉。是十分适合测量曲面反射率、镀膜评价、微小部品的反射率测定系统。
消除背面反射光
采用特殊光学系统,消除背面反射光。
不必进行背面的防反射处理,可正确测定表面的反射率。
可测定微小区域的反射率
用物镜对焦于样本表面的微小光斑(ø60 μm),可以测定镜片曲面及镀膜层是否均匀。
测定时间短
由于使用了Flat Field Grating(平面光栅)和线传感器的高速分光测光机构,可以进行快速、再现性很高的测定。
支持XY色度图、L*a*b*测定
可以依据分光测色法,通过分光反射率测定物体颜色。
可以测定高强度镀膜的膜厚
采用干涉光分光法,可以在不接触、无损的情况下测定被检物的膜厚(单层膜)。
测定波长 | 380 nm~780 nm |
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测定方法 | 与参照样本的比较测定 |
被检物N.A. |
0.12(使用10×物镜时)
0.24(使用20×物镜时) * 与物镜的N.A.不同。 |
被检物W.D. |
10.1 mm(使用10×物镜时)
3.1 mm(使用20×物镜时) |
被检物的曲率半径 | -1R ~-∞、+1R~∞ |
被检物的测定范围 |
约ø60 μm(使用10×物镜时)
约ø30 μm(使用20×物镜时) |
测定再现性(2σ) |
±0.1%(380 nm~410 nm测定时)
±0.01%(410 nm~700 nm测定时) |
显示分辨率 | 1 nm |
测定时间 | 数秒~十几秒(因取样时间而异) |
光源规格 | 卤素灯 12 V 100 W |
载物台Z方向驱动范围 | 85mm |
PC接口 | USB方式 |
装置重量 |
机身:约20 kg(PC、打印机除外)
光源用电源:约3 kg 控制器盒:约8 kg |
装置尺寸 |
机身:
300(W)×550(D)×570(H) mm 光源用电源: 150(W)×250(D)×140(H) mm 控制器盒: 220(W)×250(D)×140(H) mm |
电源规格 |
光源用电源:
100 V(2.8 A)/220 V AC 控制器盒: 100V(0.2A)/220V AC |
使用环境 |
水平且无振动的地方
温度: 23±5 °C 湿度: 60%以下、无结露 |
* 本装置不保证溯源体系中的绝对精度。
* 可以特别订做测定波长440 nm~840 nm规格。
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