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显微镜解决方案
配置

非常可靠的模块化系统

六种BX53M推荐配置,使您可以灵活选择所需功能。

通用

专用

入门型

使用基本功能轻松设置

标准型

简单易用,
带有全面升级

高级型

支持多种高级功能

荧光

非常适合
荧光观察

红外

旨在采用红外观察技术检测集成电路

偏光

用于观察双折射特性

LCD彩色滤光片

LCD彩色滤光片
(透射/BF)

含铁素体晶粒的微观结构

含铁素体晶粒的
微观结构
(反射光/DF)

铜线圈

铜线圈
(BF + DF/MIX)

IC图案上的光刻胶涂层

IC图案上的涂层
(FL + DF/MIX)

硅层IC图案

硅层IC图案
(IR)

石棉

石棉
(POL)

入门型

标准型

高级型

荧光

红外

偏光

见规格表

入门型 标准型 高级型 荧光 红外 偏光
显微镜机身 反射或反射/透射 反射或反射/透射 反射 透射
标准型 R-BF或T-BF R-BF或T-BF或DF R-BF或T-BF或DF或MIX R-BF或T-BF或DF或FL R-BF或IR T-BF或POL
选配件 DIC DIC/MIX DIC DIC/MIX
简易照明器 ■■
孔径图例 ■■■■
编码硬件 ■■■■
焦点标尺索引 ■■■■■■
光强度管理器 ■■■■
手控开关操作 □□■□
MIX观察 □□■□
物镜 根据应用从3种物镜中进行选择 根据应用从3种物镜中进行选择 用于红外的物镜 用于偏光的物镜
载物台 可根据样品尺寸从5个载物台规格中进行选择 可根据样品尺寸从5个载物台规格中进行选择 用于偏光的载物台

观察方法

R-BF:明场(反射)
T-BF:明场(反射/透射)
DF:暗场
DIC:微分干涉对比/简易偏光
MIX:混合
FL:荧光
IR:红外
POL:偏光

*选择反射/透射显微镜机身时,可以使用T-BF。

■:标准型
□:选配件

材料科学配置示例

模块化设计可以根据用户的不同需求提供多样化的配置方案。
以下是一些用于材料科学的配置示例。

BX53M反射光和反射光/透射光组合

BX3M系列工业显微镜有两种显微镜机身,一种仅用于反射光,另一种用于反射光和透射光组合。两种机架均可配置手动、编码或电动部件。机架具有防静电(ESD)功能,可保护电子样品。

BX53MRF-S配置示例

BX53MRF-S配置示例

BX53MTRF-S配置示例

BX53MTRF-S配置示例

BX53M IR组合

BX53M IR组合

IR物镜可用于透过硅材料成像,进行半导体的检测和测量。5倍到100倍的红外(IR)物镜提供了从可见光波长到近红外波长的像差校正。对于高放大倍率的工作,旋转LCPLNIR系列透镜的校正环可校正样品厚度引起的像差。只需一个物镜即可获取清晰的图像。

单击此处了解IR物镜的详细信息

BX53M偏光组合

BX53M偏光的光学器件为地质学家提供了适合高对比度偏光成像的工具。矿物识别、晶体光学特性研究和固体岩石剖面观察等应用,都可以得益于其系统稳定性和精确的光学对准。

BX53-P正交偏光配置

BX53-P正交偏光配置

BX53-P锥光镜/正交偏光配置

BX53-P锥光镜/正交偏光配置

用于锥光镜和正像镜观察的勃氏镜

有了U-CPA锥光镜观察附件,正像镜和锥光镜观察之间的切换就变得简单而快捷。它可以对焦,以获得清晰的后焦平面干涉图案。勃氏镜的视场光阑可使其获取始终锐利而清晰的锥光图像。

用于锥光镜和正像镜观察的勃氏镜
种类丰富的补色器和波长板

种类丰富的补色器和波长板

六种不同的补色器可用于测量岩石和矿物薄片的双折射。测量延迟水平范围为0至20λ。为了便于测量和获得较高的图像对比度,可以使用Berek和Senarmont补色器来改变整个视场的延迟水平。

补色器测量范围

补色器 测量范围 主要应用
厚Berek(U-CTB) 0至11,000nm
(20λ)
高延迟水平测量(R*>3λ)
(晶体、高分子、纤维等)
Berek(U-CBE) 0至1,640nm
(3λ)
延迟水平测量
(晶体、高分子、生物体等)
Senarmont补色器(U-CSE) 0至546nm
(1λ)
延迟水平测量(晶体、生物体等)
图像对比增强(生物体等)
Brace-Koehler补色器
1/30λ(U-CBE2)
0至20nm
(1/30λ)
图像对比度测量(活体生物等)
石英楔(U-CWE2) 500至2,200nm
(4λ)
延迟水平近似测量
(晶体、高分子等)

*R = 延迟水平
为了使测量更准确,建议将补色器(U-CWE2除外)与干涉滤光片45-IF546一起使用。

无应力光学器件

由于奥林巴斯先进的设计和制造技术,UPLFLN-P无应力物镜可将内部应力降至最低。这意味着EF值会更高,从而获得出色的图像对比度。

单击此处了解UPLFLN-P物镜的详细信息
单击此处了解PLN-P/ACHN-P物镜的详细信息
BXFM系统

BXFM系统

BXFM可以适应特殊应用或集成到其他仪器中。模块化结构,再加上各种特殊的小型照明器和固定装置,可使其直接用于独特的环境和配置。

模块化设计,按自己的方式打造自己的系统

显微镜机身

有两款显微镜机身适用于反射光,其中一款还具有透射光功能。提供用于升高照明器的转接器,以容纳更高的样品。

反射光 透射光 样品高度
1 BX53MRF-S 0至65 mm
2 BX53MTRF-S 0至35 mm
1、3 BX53MRF-S + BX3M-ARMAD 40至105 mm
2、3 BX53MTRF-S + BX3M-ARMAD 40至75 mm

适合显微镜的便捷配件

HP-2 手压装置
COVER-018 防尘罩

显微镜机身

架台

对于样品无法安装在载物台上的显微镜应用,可以将照明器和光学器件安装到更大的架台或其他设备上。

BXFM + BX53M照明器配置

1 BXFM-F 机身接口为墙挂式32 mm支柱
2 BX3M-ILH 照明器托架
3 BXFM-ILHSPU 用于BXFM的减震弹簧
5 SZ-STL 大底座

BXFM + U-KMAS照明器配置

1 BXFM-F 机身接口为墙挂式32 mm支柱
4 BXFM-ILHS U-KMAS托架
5 SZ-STL 大底座

架台

镜筒

使用目镜进行显微镜成像或通过相机观察时,请根据成像类型和操作人员的观察姿势选择镜筒。

FN 类型 角度类型 图像 屈光度调整
机械装置数量
1 U-TR30-2 22 三目镜筒 固定 反向 1
2 U-TR30IR 22 IR用三目镜筒 固定 反向 1
3 U-ETR-4 22 三目镜筒 固定 正像
4 U-TTR-2 22 三目镜筒 倾斜 反向
5 U-SWTR-3 26.5 三目镜筒 固定 反向
6 U-SWETTR-5 26.5 三目镜筒 倾斜 正像
7 U-TLU 22 单口镜筒
8 U-SWATLU 26.5 单口镜筒
镜筒

照明器

照明器会根据所选的观察方法将光线投射到样品上。软件与编码照明器连接,可读取分光镜组件的位置,并自动识别观察方法。

照明器

编码功能 光源 BF DF DIC POL IR FL MIX AS/FS
1 BX3M-RLAS-S 3个固定式分光镜组件位置 LED - 内置
2 BX3M-URAS-S 4个可换装的分光镜组件位置 LED
卤素灯
汞灯/光导装置
3 BX3M-RLA-S

LED
卤素灯
4 BX3M-KMA-S

LED - 内置
5 BX3-ARM 透射光观察专用镜臂
6 U-KMAS

LED
卤素灯

光源

用于样品照明的光源和电源,为观察方法选择合适的光源。

光源

标准LED光源配置

1 BX3M-LEDR 用于反射光的LED灯箱
2 U-RCV 用于BX3M-URAS-S的DF转换器,必要时需要使用DF和BF进行观察
3 BX3M-PSLED LED灯箱的电源,需要BXFM系统
4 BX3M-LEDT 用于透射光的LED灯箱

荧光光源配置

5 U-LLGAD 光导装置转接器
2 U-RCV 使用BX3M-URAS-S,DF观察时所需的DF转换接口
6 U-LLG150 光导,长度:1.5 m
7 U-LGPS 用于荧光的光源
8、9 U-LH100HG(HGAPO) 用于荧光的汞灯箱
2 U-RCV 使用BX3M-URAS-S,DF观察时所需的DF转换接口
10 U-RFL-T 用于100W汞灯的电源

卤素灯和卤素IR光源配置

11 U-LH100IR 用于IR的卤素灯箱
12 U-RMT 卤素灯罩延长电缆,电缆长度1.7 m(必要时需要使用延长电缆)
13, 14 TH4-100(200) 100 V(200 V)规格电源,用于100 W/50 W卤素灯
15 TH4-HS 卤素灯光强度手控开关(调光器TH4-100(200),不带手控开关)

物镜转盘

用于物镜和滑块的附件。按所需物镜的数量和类型进行选择;也可以带/不带滑块附件。

物镜转盘

类型 孔位 BF DF DIC MIX ESD 定心孔
数量
1 U-P4RE 手动 4

4
2 U-5RE-2 手动 5

3 U-5RES-ESD 编码 5

4 U-D6RE 手动 6

5 U-D6RES 编码 6

6 U-D5BDREMC 电动 5

7 U-D6BDRE 手动 6

8 U-D5BDRES-ESD 编码 5

9 U-D6BDRES-S 编码 6

10 U-D6REMC 电动 6

11 U-D6BDREMC 电动 6

12 U-D5BDREMC-VA 电动 5

滑块

选择滑块,对传统的明场观察进行补充。采用DIC滑块后,在获取有关样品的立体形貌信息时,可以选择高对比度型或高分辨率型。MIX滑块可在暗场光路中使用分区LED光源,提供了灵活的照明。

滑块

DIC滑块

类型 棱镜裂距大小 适用的物镜
1 U-DICR 标准型 中型

MPLFLN*1、MPLFLN-BD*2、LMPLFLN、LMPLFLN-BD、MXPLFLN、MXPLFLN-BD、MPLAPON和LCPLFLN-LCD

*1 1.25X和2.5X不支持DIC观察。
*2 2.5X不支持DIC观察。

MIX滑块

适用的物镜
2 U-MIXR-2 MPLFLN-BD、LMPLFLN-BD、MPLN-BD、MXPLFLN-BD

电缆

U-MIXRCBL* U-MIXR电缆,电缆长度:0.5 m

*仅限MIXR

控制箱和手控开关

控制箱用于连接显微镜硬件与PC机,手动控制器用于硬件状态显示和控制。

BX3M-CB(CBFM)配置

1 BX3M-CB 用于BX53M系统的控制箱
2 BX3M-CBFM 用于BXFM系统的控制箱
3 BX3M-HS MIX观察控件、编码硬件指示器、软件(Stream)的可编程功能按钮
4 BX3M-HSRE 电动物镜转盘旋转

电缆

BX3M-RMCBL(ECBL) 电动物镜转盘电缆,电缆长度:0.2 m

控制箱和手控开关

载物台

放置样品的载物台和载物台板。根据样品形状和大小进行选择。

载物台

150 mm × 100 mm载物台配置

1 U-SIC64 150 mm × 100 mm平顶手柄载物台
2 U-SHG(T) 改善操作手感的硅胶手柄套(厚型)
3 U-SP64 用于U-SIC64的载物台板
4 U-WHP64 用于U-SIC64的晶圆板
5 BH2-WHR43 用于4-3英寸的晶圆托架
6 BH2-WHR65 用于6-5英寸的晶圆托架
7 U-SPG64 U-SIC64玻璃板

76 mm × 52 mm载物台配置

12 U-SVR M 76 mm × 52 mm右手柄载物台
2 U-SHG(T) 改善操作手感的硅胶手柄套(厚型)
13 U-MSSP U-SVR(/L)M载物台板
14, 15 U-HR(L)D-4 用于右侧(左侧)开口的薄载玻夹
16, 17 U-HR(L)DT-4 右(左)开口的厚载玻片支架,用于将载玻片压在载物台台面上,标本很难抬起

100 mm × 100 mm载物台配置

8 U-SIC4R 2 105 mm × 100 mm右手柄载物台
9 U-MSSP4 U-SIC4R(L)2载物台板
10 U-WHP2 U-SIC4R(L)2晶圆板
5 BH2-WHR43 用于4-3英寸的晶圆托架
11 U-MSSPG U-SIC4R玻璃板

其他

18 U-SRG2 可旋转载物台
19 U-SRP 用于POL的可旋转载物台,可以从任意位置以45°锁定
20 U-FMP 用于U-SRP/U-SRG2的机械载物台

相机转接器

用于相机观察的转接器。可从要求的视野和放大倍率中选择。可以使用以下公式计算实际观测范围:实际视场(对角线mm)=视场(视场数)÷物镜放大倍率。

相机转接器

放大倍率 定心调整 CCD图像区域(视野数量)mm
2/3 英寸 1/1.8英寸 1/2 英寸
1 U-TV1x-2,带U-CMAD3 1 10.7 8.8 8
2 U-TV1xC 1 ø2 mm 10.7 8.8 8
3 U-TV0.63xC 0.63 17 14 12.7
4 U-TV0.5xC-3 0.5 21.4 17.6 16
5 U-TV0.35xC-2 0.35 22

目镜

用于直接观察显微镜的目镜。根据所需视场进行选择。

FN(mm) 屈光度调节装置 内置十字线
1 WHN10x 22

2 WHN10x-H 22

3 CROSS WHN10x 22
4 SWH10x-H 26.5

5 CROSS SWH10x 26.5
目镜

光学滤光片

光学滤光片可将照射到样品的光线进行各种类型的转换。根据观察需要选择合适的滤光片。

光学滤光片

BF、DF、FL

1、2 U-25ND25,6 中性密度滤光片,透射率25%、6%
3 U-25LBD 日光彩色滤光片
4 U-25LBA 卤素彩色滤光片
5 U-25IF550 绿色滤光片
6 U-25L42 紫外线阻挡滤光片
7 U-25Y48 黄色滤光片
8 U-25FR 透雾滤光片(BX3M-URAS-S需要)

POL、DIC

9 U-AN-2 偏光方向固定
10 U-AN360-3 偏光方向可旋转
11 U-AN360P-2 高品质偏光方向可旋转
12 U-PO3 偏光方向固定
13 45-IF546 用于偏光的绿色Ø45 mm滤光片

IR

14 U-AN360IR 红外偏光方向可旋转(U-AN360IR和U-POIR搭配使用进行红外观察时,可减少光晕)
15 U-POIR 红外偏光方向固定
16 U-BP1100IR 带通滤波器:1100 nm
17 U-BP1200IR 带通滤波器:1200 nm

透射光

18 43IF550-W45 绿色ø45 mm滤光片
19 U-POT 偏光滤光片

其他

20 U-25 空滤光片,与用户的ø25 mm滤光片搭配使用

*使用BX3M-RLAS-S和U-FDICR时,不需要AN和PO

聚光镜

聚光镜可会聚和聚焦透射光线。用于透射光观察。

1 U-AC2 Abbe聚光镜(适用于5倍物镜及以上)
2 U-SC3 摇出式聚光镜(适用于1.25倍物镜及以上)
3 U-LWCD 用于玻璃板的长工作距离聚光镜
(U-MSSPG、U-SPG64)
4 U-POC-2 用于POL的摆动式聚光镜
聚光镜

镜组

用于BX3M-URAS-S的镜组。根据所需的观察进行选择。

1 U-FBF 用于BF,可拆分ND滤光片
2 U-FDF 用于DF
3 U-FDICR 用于POL,正交尼科尔棱镜的位置固定
4 U-FBFL 适用于BF,内置ND滤光片(需要同时使用BF*和FL)
5 U-FWUS 用于紫外光FL:BP330-385 BA420 DM400
6 U-FWBS 用于蓝光FL:BP460-490 BA520IF DM500
7 U-FWGS 用于绿光FL:BP510-550 BA590 DM570
8 U-FF 空镜组

*仅用于同轴反射照明

镜组

中间镜筒

多种用途的各类配件。用于镜筒和照明器之间。

1 U-CA 变倍器(1X、1.25X、1.6X、2X)
2 U-TRU 三目中间镜筒
中间镜筒

UIS2物镜

物镜可以放大样品。选择与应用的工作距离、分辨率和观察方法相匹配的物镜。

单击此处了解UIS2物镜的详细信息