非常可靠的模块化系统
六种BX53M推荐配置,使您可以灵活选择所需功能。
|
通用 | | 专用 |
| | |
入门型
使用基本功能轻松设置
| |
标准型
简单易用,
带有全面升级
| |
高级型
支持多种高级功能
| |
荧光
非常适合
荧光观察
| |
红外
旨在采用红外观察技术检测集成电路
| |
偏光
用于观察双折射特性
|
![LCD彩色滤光片](https://industrial.evidentscientific.com.cn/data/Image/IE/BX53M/product_bx53m_configurations_01_entry-app.jpg?rev=DA3C)
LCD彩色滤光片 (透射/BF) | | ![含铁素体晶粒的微观结构](https://industrial.evidentscientific.com.cn/data/Image/IE/BX53M/product_bx53m_configurations_01_standard-app.jpg?rev=DA3C)
含铁素体晶粒的 微观结构 (反射光/DF) | | ![铜线圈](https://industrial.evidentscientific.com.cn/data/Image/IE/BX53M/product_bx53m_configurations_01_advanced-app.jpg?rev=DA3C)
铜线圈 (BF + DF/MIX) | | ![IC图案上的光刻胶涂层](https://industrial.evidentscientific.com.cn/data/Image/IE/BX53M/product_bx53m_configurations_01_fluorescence-app.jpg?rev=DA3C)
IC图案上的涂层 (FL + DF/MIX) | | ![硅层IC图案](https://industrial.evidentscientific.com.cn/data/Image/IE/BX53M/product_bx53m_configurations_01_infrared-app.jpg?rev=DA3C)
硅层IC图案 (IR) | | ![石棉](https://industrial.evidentscientific.com.cn/data/Image/IE/BX53M/product_bx53m_configurations_01_polarization-app.jpg?rev=DA3C)
石棉 (POL) |
![入门型](https://industrial.evidentscientific.com.cn/data/Image/IE/BX53M/product_bx53m_configurations_01_entry-product.jpg?rev=DA3C)
| | ![标准型](https://industrial.evidentscientific.com.cn/data/Image/IE/BX53M/product_bx53m_configurations_01_standard-product.jpg?rev=DA3C)
| | ![高级型](https://industrial.evidentscientific.com.cn/data/Image/IE/BX53M/product_bx53m_configurations_01_advanced-product.jpg?rev=DA3C)
| | ![荧光](https://industrial.evidentscientific.com.cn/data/Image/IE/BX53M/product_bx53m_configurations_01_fluorescence-product.jpg?rev=DA3C)
| | ![红外](https://industrial.evidentscientific.com.cn/data/Image/IE/BX53M/product_bx53m_configurations_01_infrared-product.jpg?rev=DA3C)
| | ![偏光](https://industrial.evidentscientific.com.cn/data/Image/IE/BX53M/product_bx53m_configurations_01_polarization-product.jpg?rev=DA3C)
|
观察方法
R-BF:明场(反射)
T-BF:明场(反射/透射)
DF:暗场
DIC:微分干涉对比/简易偏光
MIX:混合
FL:荧光
IR:红外
POL:偏光
*选择反射/透射显微镜机身时,可以使用T-BF。 :标准型
:选配件
|
材料科学配置示例
模块化设计可以根据用户的不同需求提供多样化的配置方案。
以下是一些用于材料科学的配置示例。
|
BX53M反射光和反射光/透射光组合
BX3M系列工业显微镜有两种显微镜机身,一种仅用于反射光,另一种用于反射光和透射光组合。两种机架均可配置手动、编码或电动部件。机架具有防静电(ESD)功能,可保护电子样品。
| BX53MRF-S配置示例 | BX53MTRF-S配置示例 |
---|
|
BX53M IR组合
IR物镜可用于透过硅材料成像,进行半导体的检测和测量。5倍到100倍的红外(IR)物镜提供了从可见光波长到近红外波长的像差校正。对于高放大倍率的工作,旋转LCPLNIR系列透镜的校正环可校正样品厚度引起的像差。只需一个物镜即可获取清晰的图像。
|
---|
BX53M偏光组合
BX53M偏光的光学器件为地质学家提供了适合高对比度偏光成像的工具。矿物识别、晶体光学特性研究和固体岩石剖面观察等应用,都可以得益于其系统稳定性和精确的光学对准。
| BX53-P正交偏光配置 | BX53-P锥光镜/正交偏光配置 |
---|
用于锥光镜和正像镜观察的勃氏镜
有了U-CPA锥光镜观察附件,正像镜和锥光镜观察之间的切换就变得简单而快捷。它可以对焦,以获得清晰的后焦平面干涉图案。勃氏镜的视场光阑可使其获取始终锐利而清晰的锥光图像。
| |
---|
|
种类丰富的补色器和波长板
六种不同的补色器可用于测量岩石和矿物薄片的双折射。测量延迟水平范围为0至20λ。为了便于测量和获得较高的图像对比度,可以使用Berek和Senarmont补色器来改变整个视场的延迟水平。
|
---|
补色器测量范围
补色器
|
测量范围
|
主要应用
|
厚Berek(U-CTB)
|
0至11,000nm
(20λ)
|
高延迟水平测量(R*>3λ)
(晶体、高分子、纤维等)
|
Berek(U-CBE)
|
0至1,640nm
(3λ)
|
延迟水平测量
(晶体、高分子、生物体等)
|
Senarmont补色器(U-CSE)
|
0至546nm
(1λ)
|
延迟水平测量(晶体、生物体等)
图像对比增强(生物体等)
|
Brace-Koehler补色器
1/30λ(U-CBE2)
|
0至20nm
(1/30λ)
|
图像对比度测量(活体生物等)
|
石英楔(U-CWE2)
|
500至2,200nm
(4λ)
|
延迟水平近似测量
(晶体、高分子等)
|
|
*R = 延迟水平
为了使测量更准确,建议将补色器(U-CWE2除外)与干涉滤光片45-IF546一起使用。 |
无应力光学器件
由于奥林巴斯先进的设计和制造技术,UPLFLN-P无应力物镜可将内部应力降至最低。这意味着EF值会更高,从而获得出色的图像对比度。
| |
|
BXFM系统
BXFM可以适应特殊应用或集成到其他仪器中。模块化结构,再加上各种特殊的小型照明器和固定装置,可使其直接用于独特的环境和配置。
|
---|
显微镜机身
有两款显微镜机身适用于反射光,其中一款还具有透射光功能。提供用于升高照明器的转接器,以容纳更高的样品。
| |
反射光
|
透射光
|
样品高度
|
1
|
BX53MRF-S
|
■
|
-
|
0至65 mm
|
2
|
BX53MTRF-S
|
■
|
■
|
0至35 mm
|
1、3
|
BX53MRF-S + BX3M-ARMAD
|
■
|
-
|
40至105 mm
|
2、3
|
BX53MTRF-S + BX3M-ARMAD
|
■
|
■
|
40至75 mm
|
适合显微镜的便捷配件
-
|
HP-2
|
手压装置
|
-
|
COVER-018
|
防尘罩
|
| |
架台
对于样品无法安装在载物台上的显微镜应用,可以将照明器和光学器件安装到更大的架台或其他设备上。
BXFM + BX53M照明器配置
1
|
BXFM-F
|
机身接口为墙挂式32 mm支柱
|
2
|
BX3M-ILH
|
照明器托架
|
3
|
BXFM-ILHSPU
|
用于BXFM的减震弹簧
|
5
|
SZ-STL
|
大底座
|
BXFM + U-KMAS照明器配置
1
|
BXFM-F
|
机身接口为墙挂式32 mm支柱
|
4
|
BXFM-ILHS
|
U-KMAS托架
|
5
|
SZ-STL
|
大底座
|
| |
镜筒
使用目镜进行显微镜成像或通过相机观察时,请根据成像类型和操作人员的观察姿势选择镜筒。
| |
FN
|
类型
|
角度类型
|
图像
|
屈光度调整
机械装置数量
|
1
|
U-TR30-2
|
22
|
三目镜筒
|
固定
|
反向
|
1
|
2
|
U-TR30IR
|
22
|
IR用三目镜筒
|
固定
|
反向
|
1
|
3
|
U-ETR-4
|
22
|
三目镜筒
|
固定
|
正像
|
-
|
4
|
U-TTR-2
|
22
|
三目镜筒
|
倾斜
|
反向
|
-
|
5
|
U-SWTR-3
|
26.5
|
三目镜筒
|
固定
|
反向
|
-
|
6
|
U-SWETTR-5
|
26.5
|
三目镜筒
|
倾斜
|
正像
|
-
|
7
|
U-TLU
|
22
|
单口镜筒
|
-
|
-
|
-
|
8
|
U-SWATLU
|
26.5
|
单口镜筒
|
-
|
-
|
-
|
| |
照明器
照明器会根据所选的观察方法将光线投射到样品上。软件与编码照明器连接,可读取分光镜组件的位置,并自动识别观察方法。
| |
| |
编码功能
|
光源
|
BF
|
DF
|
DIC
|
POL
|
IR
|
FL
|
MIX
|
AS/FS
|
1
|
BX3M-RLAS-S
|
3个固定式分光镜组件位置
|
LED - 内置
|
■
|
■
|
■
|
■
|
-
|
-
|
■
|
■
|
2
|
BX3M-URAS-S
|
4个可换装的分光镜组件位置
|
LED
|
■
|
■
|
■
|
■
|
-
|
-
|
■
|
■
|
卤素灯
|
■
|
■
|
■
|
■
|
■
|
-
|
■
|
■
|
汞灯/光导装置
|
■
|
■
|
■
|
■
|
-
|
■
|
■
|
■
|
3
|
BX3M-RLA-S
| |
LED
|
■
|
■
|
■
|
■
|
-
|
-
|
■
|
■
|
卤素灯
|
■
|
■
|
■
|
■
|
■
|
-
|
■
|
■
|
4
|
BX3M-KMA-S
| |
LED - 内置
|
■
|
-
|
■
|
■
|
-
|
-
|
■
|
-
|
5
|
BX3-ARM
|
透射光观察专用镜臂
|
6
|
U-KMAS
| |
LED
|
■
|
-
|
■
|
■
|
-
|
-
|
■
|
-
|
卤素灯
|
■
|
-
|
■
|
■
|
■
|
-
|
■
|
-
|
光源
用于样品照明的光源和电源,为观察方法选择合适的光源。
| |
标准LED光源配置
1
|
BX3M-LEDR
|
用于反射光的LED灯箱
|
2
|
U-RCV
|
用于BX3M-URAS-S的DF转换器,必要时需要使用DF和BF进行观察
|
3
|
BX3M-PSLED
|
LED灯箱的电源,需要BXFM系统
|
4
|
BX3M-LEDT
|
用于透射光的LED灯箱
|
荧光光源配置
5
|
U-LLGAD
|
光导装置转接器
|
2
|
U-RCV
|
使用BX3M-URAS-S,DF观察时所需的DF转换接口
|
6
|
U-LLG150
|
光导,长度:1.5 m
|
7
|
U-LGPS
|
用于荧光的光源
|
8、9
|
U-LH100HG(HGAPO)
|
用于荧光的汞灯箱
|
2
|
U-RCV
|
使用BX3M-URAS-S,DF观察时所需的DF转换接口
|
10
|
U-RFL-T
|
用于100W汞灯的电源
|
|
卤素灯和卤素IR光源配置
11
|
U-LH100IR
|
用于IR的卤素灯箱
|
12
|
U-RMT
|
卤素灯罩延长电缆,电缆长度1.7 m(必要时需要使用延长电缆)
|
13, 14
|
TH4-100(200)
|
100 V(200 V)规格电源,用于100 W/50 W卤素灯
|
15
|
TH4-HS
|
卤素灯光强度手控开关(调光器TH4-100(200),不带手控开关)
|
|
物镜转盘
用于物镜和滑块的附件。按所需物镜的数量和类型进行选择;也可以带/不带滑块附件。
| |
| |
类型
|
孔位
|
BF
|
DF
|
DIC
|
MIX
|
ESD
|
定心孔
数量
|
1
|
U-P4RE
|
手动
|
4
|
■
| |
■
| | |
4
|
2
|
U-5RE-2
|
手动
|
5
|
■
| | | | | |
3
|
U-5RES-ESD
|
编码
|
5
|
■
| | | |
■
| |
4
|
U-D6RE
|
手动
|
6
|
■
| |
■
| | | |
5
|
U-D6RES
|
编码
|
6
|
■
| |
■
| | | |
6
|
U-D5BDREMC
|
电动
|
5
|
■
|
■
|
■
|
■
| | |
7
|
U-D6BDRE
|
手动
|
6
|
■
|
■
|
■
|
■
| | |
8
|
U-D5BDRES-ESD
|
编码
|
5
|
■
|
■
|
■
|
■
|
■
| |
9
|
U-D6BDRES-S
|
编码
|
6
|
■
|
■
|
■
|
■
|
■
| |
10
|
U-D6REMC
|
电动
|
6
|
■
| |
■
| | | |
11
|
U-D6BDREMC
|
电动
|
6
|
■
|
■
|
■
|
■
|
■
| |
12
|
U-D5BDREMC-VA
|
电动
|
5
|
■
|
■
| | | | |
滑块
选择滑块,对传统的明场观察进行补充。采用DIC滑块后,在获取有关样品的立体形貌信息时,可以选择高对比度型或高分辨率型。MIX滑块可在暗场光路中使用分区LED光源,提供了灵活的照明。
| |
DIC滑块
| |
类型
|
棱镜裂距大小
|
适用的物镜
|
1
|
U-DICR
|
标准型
|
中型
|
MPLFLN*1、MPLFLN-BD*2、LMPLFLN、LMPLFLN-BD、MXPLFLN、MXPLFLN-BD、MPLAPON和LCPLFLN-LCD
|
*1 1.25X和2.5X不支持DIC观察。
*2 2.5X不支持DIC观察。
MIX滑块
| |
适用的物镜
|
2
|
U-MIXR-2
|
MPLFLN-BD、LMPLFLN-BD、MPLN-BD、MXPLFLN-BD
|
|
电缆
|
U-MIXRCBL*
|
U-MIXR电缆,电缆长度:0.5 m
|
*仅限MIXR |
控制箱和手控开关
控制箱用于连接显微镜硬件与PC机,手动控制器用于硬件状态显示和控制。
BX3M-CB(CBFM)配置
1
|
BX3M-CB
|
用于BX53M系统的控制箱
|
2
|
BX3M-CBFM
|
用于BXFM系统的控制箱
|
3
|
BX3M-HS
|
MIX观察控件、编码硬件指示器、软件(Stream)的可编程功能按钮
|
4
|
BX3M-HSRE
|
电动物镜转盘旋转
|
电缆
-
|
BX3M-RMCBL(ECBL)
|
电动物镜转盘电缆,电缆长度:0.2 m
|
| |
载物台
放置样品的载物台和载物台板。根据样品形状和大小进行选择。
| |
150 mm × 100 mm载物台配置
1
|
U-SIC64
|
150 mm × 100 mm平顶手柄载物台
|
2
|
U-SHG(T)
|
改善操作手感的硅胶手柄套(厚型)
|
3
|
U-SP64
|
用于U-SIC64的载物台板
|
4
|
U-WHP64
|
用于U-SIC64的晶圆板
|
5
|
BH2-WHR43
|
用于4-3英寸的晶圆托架
|
6
|
BH2-WHR65
|
用于6-5英寸的晶圆托架
|
7
|
U-SPG64
|
U-SIC64玻璃板
|
76 mm × 52 mm载物台配置
12
|
U-SVR M
|
76 mm × 52 mm右手柄载物台
|
2
|
U-SHG(T)
|
改善操作手感的硅胶手柄套(厚型)
|
13
|
U-MSSP
|
U-SVR(/L)M载物台板
|
14, 15
|
U-HR(L)D-4
|
用于右侧(左侧)开口的薄载玻夹
|
16, 17
|
U-HR(L)DT-4
|
右(左)开口的厚载玻片支架,用于将载玻片压在载物台台面上,标本很难抬起
|
|
100 mm × 100 mm载物台配置
8
|
U-SIC4R 2
|
105 mm × 100 mm右手柄载物台
|
9
|
U-MSSP4
|
U-SIC4R(L)2载物台板
|
10
|
U-WHP2
|
U-SIC4R(L)2晶圆板
|
5
|
BH2-WHR43
|
用于4-3英寸的晶圆托架
|
11
|
U-MSSPG
|
U-SIC4R玻璃板
|
其他
18
|
U-SRG2
|
可旋转载物台
|
19
|
U-SRP
|
用于POL的可旋转载物台,可以从任意位置以45°锁定
|
20
|
U-FMP
|
用于U-SRP/U-SRG2的机械载物台
|
|
相机转接器
用于相机观察的转接器。可从要求的视野和放大倍率中选择。可以使用以下公式计算实际观测范围:实际视场(对角线mm)=视场(视场数)÷物镜放大倍率。
| |
| |
放大倍率
|
定心调整
|
CCD图像区域(视野数量)mm
|
2/3 英寸
|
1/1.8英寸
|
1/2 英寸
|
1
|
U-TV1x-2,带U-CMAD3
|
1
|
-
|
10.7
|
8.8
|
8
|
2
|
U-TV1xC
|
1
|
ø2 mm
|
10.7
|
8.8
|
8
|
3
|
U-TV0.63xC
|
0.63
|
-
|
17
|
14
|
12.7
|
4
|
U-TV0.5xC-3
|
0.5
|
-
|
21.4
|
17.6
|
16
|
5
|
U-TV0.35xC-2
|
0.35
|
-
|
-
|
-
|
22
|
目镜
用于直接观察显微镜的目镜。根据所需视场进行选择。
| |
FN(mm)
|
屈光度调节装置
|
内置十字线
|
1
|
WHN10x
|
22
| | |
2
|
WHN10x-H
|
22
|
■
| |
3
|
CROSS WHN10x
|
22
|
■
|
■
|
4
|
SWH10x-H
|
26.5
|
■
| |
5
|
CROSS SWH10x
|
26.5
|
■
|
■
|
| |
光学滤光片
光学滤光片可将照射到样品的光线进行各种类型的转换。根据观察需要选择合适的滤光片。
| |
BF、DF、FL
1、2
|
U-25ND25,6
|
中性密度滤光片,透射率25%、6%
|
3
|
U-25LBD
|
日光彩色滤光片
|
4
|
U-25LBA
|
卤素彩色滤光片
|
5
|
U-25IF550
|
绿色滤光片
|
6
|
U-25L42
|
紫外线阻挡滤光片
|
7
|
U-25Y48
|
黄色滤光片
|
8
|
U-25FR
|
透雾滤光片(BX3M-URAS-S需要)
|
POL、DIC
9
|
U-AN-2
|
偏光方向固定
|
10
|
U-AN360-3
|
偏光方向可旋转
|
11
|
U-AN360P-2
|
高品质偏光方向可旋转
|
12
|
U-PO3
|
偏光方向固定
|
13
|
45-IF546
|
用于偏光的绿色Ø45 mm滤光片
|
|
IR
14
|
U-AN360IR
|
红外偏光方向可旋转(U-AN360IR和U-POIR搭配使用进行红外观察时,可减少光晕)
|
15
|
U-POIR
|
红外偏光方向固定
|
16
|
U-BP1100IR
|
带通滤波器:1100 nm
|
17
|
U-BP1200IR
|
带通滤波器:1200 nm
|
透射光
18
|
43IF550-W45
|
绿色ø45 mm滤光片
|
19
|
U-POT
|
偏光滤光片
|
其他
20
|
U-25
|
空滤光片,与用户的ø25 mm滤光片搭配使用
|
*使用BX3M-RLAS-S和U-FDICR时,不需要AN和PO |
聚光镜
聚光镜可会聚和聚焦透射光线。用于透射光观察。
1
|
U-AC2
|
Abbe聚光镜(适用于5倍物镜及以上)
|
2
|
U-SC3
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摇出式聚光镜(适用于1.25倍物镜及以上)
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3
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U-LWCD
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用于玻璃板的长工作距离聚光镜
(U-MSSPG、U-SPG64)
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4
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U-POC-2
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用于POL的摆动式聚光镜
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镜组
用于BX3M-URAS-S的镜组。根据所需的观察进行选择。
1
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U-FBF
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用于BF,可拆分ND滤光片
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2
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U-FDF
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用于DF
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3
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U-FDICR
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用于POL,正交尼科尔棱镜的位置固定
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4
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U-FBFL
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适用于BF,内置ND滤光片(需要同时使用BF*和FL)
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5
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U-FWUS
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用于紫外光FL:BP330-385 BA420 DM400
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6
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U-FWBS
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用于蓝光FL:BP460-490 BA520IF DM500
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7
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U-FWGS
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用于绿光FL:BP510-550 BA590 DM570
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8
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U-FF
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空镜组
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*仅用于同轴反射照明 | |
中间镜筒
多种用途的各类配件。用于镜筒和照明器之间。
1
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U-CA
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变倍器(1X、1.25X、1.6X、2X)
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2
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U-TRU
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三目中间镜筒
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