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显微镜解决方案
概述

高质量紧凑型显微镜装配件

BXC系列提供高质量的显微镜组件,可抑制变化并提供稳定的成像质量。这些结构紧凑的显微镜组件可通过各种选配件快速、轻松地集成到您的系统中。请从我们的BXC系列资源中心下载设备集成所需的信息。

高性能物镜

高数值孔径和长工作距离相结合

物镜对显微镜的性能至关重要。MXPLFLN物镜通过同时实现数值孔径和工作距离最大化,为MPLFLN系列落射式照明成像增加了深度。在20倍和50倍放大倍率下,更高的分辨率通常意味着较短的工作距离,这就迫使样品或物镜在更换样品时回缩,并且需要在观察过程中放慢样品处理的速度。在许多情况下,MXPLFLN系列的3 mm工作距离解决了这一问题,可以避免物镜碰到样品,从而实现了更快的检查。

体验MXPLFLN系列
了解有关MXPLFLN物镜的更多信息
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高数值孔径和长工作距离相结合

改进的图像平场性

MPLFLN 2.5倍、5倍和5倍明场/暗场物镜的图像平场性得到了改善,使其能够更快地在低放大倍率下获得拼接图像。为了提高暗场观测的通量,我们推出了明场/暗场2.5倍物镜:MPLFLN2.5XBD。

宽光谱范围

从可见光到近红外(NIR),我们先进的光学制造和镀膜技术为用户和制造商提供了各种物镜和镜筒透镜组合,用标准产品简化了他们对系统的要求。

三种可用物镜的透过率曲线

三种可用物镜的透过率曲线

波前像差控制

MXPLFLN系列物镜采用了高端制造工艺,如可选择波前像差得到了控制的透镜装配件。这种工艺可使设备性能的变化保持在很低水平。

镜筒透镜

生成优质图像

五种镜筒透镜供您选择,以满足各种应用的需求。

了解有关镜筒透镜的更多信息

您将构建什么配置?

作为BX显微镜系列的一部分,BXC系列的每个部件都有多种选择,包括物镜、物镜转换器和照明器。该系列旨在让您根据使用情况随意选择。这些组件采用模块化设计,用途广泛,是检测或成像应用的优选装置,如可集成到用于晶圆对准、凸点测量和图像拼接的设备仪器中。

BXC系列配置示例

BX53M

BXC-CBRML系统

BXC-CBB系统


传统显微镜
 

BX53M

入门型
只使用一个BF物镜,可节省空间

入门型

多功能型
基本紧凑型装配件

多功能型

高级型
用于无尘室的全电动装配件

BXC-CBB系统

了解更多

系统设计和自动化的高级选项

多功能定向暗场

暗场用于观察来自样品的散射或衍射光——例如镜面或半导体晶圆上的划痕或缺陷。MIX滑块无需大型专用光学器件即可实现暗场,并通过16个可单独控制的LED光源增强了传统暗场,可使您控制照射在样品上的光的方向。此外,这种通过使用MIX滑块实现的定向暗场技术还可与明场、简易偏光或荧光观测相结合。

MIX滑块(顶部)U-MIXR-2

MIX滑块(顶部)
U-MIXR-2

MIX滑块(底部)U-MIXR-2

MIX滑块(底部)
U-MIXR-2

暗场

暗场

带明场的MIX

带明场的MIX

多种多样的物镜转换器

随着自动化需求的增加,对电动物镜转换器的需求也随之增加。Evident公司的U-D5BDREMC和U-D6BDREMC五孔和六孔电动物镜转换器的性能已经得到证实。现在,U-D5BDREMC-VA 1级无尘室兼容电动物镜转换器,使用抽真空方式清除灰尘和其他颗粒。手动、编码和可对中物镜转换器以及用于单个物镜的转换器可配置到BXC组件中。

带真空功能的电动BD物镜转换器U-D5BDREMC-VA

带真空功能的电动BD物镜转换器U-D5BDREMC-VA

测量物镜转接器STM7-MMOBAD

测量物镜转换器STM7-MMOBAD

自动对焦传感器装置

BXC-FSU是1级激光产品1,可实现有源多点传感,以监控聚焦位置方向和聚焦状态。这种传感器针对低对比度的样品(如裸晶圆)效果很好。使用独特的算法可输出稳定的对焦信号,而不受物镜放大倍率和周边光线所造成噪音的影响。命令参考手册、指导手册和示例软件可在我们的网站上找到。2

1 1级激光器为封闭式,因此不需要额外的安全措施。
2 应用手册可应要求提供。

1类激光产品

 

自动对焦传感装置BXC-FSU

自动对焦传感装置BXC-FSU

紧凑型控制盒

BXC-CBRML和BXC-CBB控制箱占地面积小,无风扇,并且可选择不同的安装方式(如壁挂式或吸顶式)。根据控制盒的不同,可将MIX滑块、照明器、电动物镜转换器和LED光源等功能集成在一起,并使用您的软件进行控制。

 

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我们提供各种资料以支持我们的OEM客户。点击此处,访问我们的OEM资源库页面,您可以找到产品信息说明、手册、软件下载,以及其他有用的内容。

控制箱BXC-CBRML

控制箱BXC-CBRML

墙壁控制盒

挂壁式控制盒

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