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MX61A是一款专门设计的半导体显微镜,可使操作人员以正确的人体工程学姿势进行操作,有利于操作人员在长时间的工作中顺利进行检测,保证了工作的效率和产品一体化。
始终提供最佳观察影像的光学系统
强大的缺陷检查能力
采用了新颖的光学系统(UIS2),特别增强了明视场、暗视场的性能,从而提高了辨别和确认缺陷的能力。明视场图像的色温最佳化,实现了容易误检的中性颜色的再现,暗视场图像的亮度约提高了四倍(与本公司原有产品比较)。
观察影像实例 |
明视场观察 | 新暗视场观察 | 传统的暗视场观察 |
> 点击这里查阅UIS2物镜的详细内容
自动调节最佳亮度
亮度光圈调节示意图 | 物镜选择和观察方法切换连动,自动地调节亮度光圈。提高了观察速度并减轻疲劳。 |
对应各种设备的实时AF
深紫外线观察用物镜 | MX61A装载了在对焦精度、对焦速度上性能优越的动态AF。新开发的多点方式的传感器的采用,大幅度的提高了对焦时的稳定性。在可视、深紫外线的反射光观察中,实现了追踪观察位置的实时对焦。 |
对应多种观察方法
物镜UIS2系列产品 | 在深紫外线到可视、近红外线观察中发挥高性能的UIS2物镜系列产品,与各种观察单元组合,可以在一台显微镜上进行明视场、暗视场、微分干涉、荧光、近红外线、深紫外线等观察。 观察方法的切换非常简单,只要从明视场、暗视场、选件镜子单元三个位置选择就可以。 > 点击这里查阅UIS2物镜的详细内容 |
提供扩展性的解决方案
提供扩展性的解决方案
适应分析需求的Analysis-Engine(分析引擎)模块 | "显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜,还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。软件进一步拓展了MX61A的扩张性,满足了不断变化的分析需求。 > 点击这里查阅数码照相机产品 > 点击这里查阅图像分析软件产品 |
实现对人和环境都没有危害的自动化
符合SEMI S2/S8标准
符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials
International)S2-0706(有关安全的基准),S8-0705(有关人体工程学的基准)和CE标识(欧洲强制性认证)等的国际标准。符合人体工程学和安全对策等,高水准的确保了可靠性。
可选的倾斜观察筒
倾斜观察筒示意图 | 备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号,或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。 |
洁净对应的电动物镜转换器
洁净对应的电动物镜转换器 | 备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。 6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器,采用了新型马达,实现了高速安静的倍率转换。 |
高抗振本体
高倍率观察图像示意图 | 采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架。即便是高倍率观察,也不会出现影像模糊的情况。 |
可以触摸屏操作的手控开关
手控开关操作部 | 配备了触摸屏操作的手控开关,可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法,就能得到基于登录条件的最合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。 |
帮助实现多种观察的附件
自动载物台组合
自动载物台 | 备有对应300mm/200mm晶圆的高精度电动载物台。通过PC控制,可以实现高级检查、不良分析功能。 |
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