应用

Série MX63 se používá v řadě aplikací mikroskopie pracující s odraženým světlem. Tyto aplikace jsou příkladem některých způsobů používání systému za účelem průmyslových inspekcí.

IČ obraz elektrodové části

IR (infračervený obraz) se používá k hledání vad uvnitř IC čipů a dalších zařízení vyrobených metodou silikonu na skle.

Film
(vlevo: světlé pole / vpravo: polarizované světlo)

Polarizované světlo se používá k odhalení struktury materiálu a stavu krystalů. Jedná se o vhodnou techniku pro pozorování wafrů a struktur LCD.

Pevný disk
(vlevo: světlé pole / vpravo: DIC)

Diferenciální interferenční kontrast (DIC) se používá k zobrazení vzorků s nepatrnými výškovými rozdíly. Jedná se o ideální řešení pro vzorky s drobnými rozdíly ve výšce, jako jsou magnetické hlavy, média pevných disků a leštěné wafry.

Vzor integrovaného obvodu na polovodičovém wafru
(vlevo: tmavé pole / vpravo: MIX (světlé pole + tmavé pole))

Tmavé pole se používá pro detekci drobných škrábanců nebo nedostatků ve vzorku nebo pro kontrolu vzorků se zrcadlenými povrchy, jako jsou wafry. Osvětlení MIX umožňuje uživatelům prohlížet vzory i barvy.

Usazenina fotorezistu na polovodičovém wafru
(vlevo: fluorescence / vpravo: MIX (fluorescence + tmavé pole))

Fluorescence se používá pro vzorky, které emitují světlo po osvětlení speciálně navrženou filtrační kostkou. Tato vlastnost se používá ke zjišťování kontaminace a usazenin fotorezistu. Osvětlení MIX umožňuje pozorovat jak usazeniny fotorezistu, tak i IC obrazce.

Barevný filtr LCD
(vlevo: procházející světlo / vpravo: MIX (procházející světlo + světlé pole))

Tato technika pozorování je vhodná pro průhledné vzorky, jako jsou LCD, plasty a skleněný materiál.Osvětlení MIX umožňuje sledovat jak barvu filtru, tak i vzorec obvodů.