概述
3D laserový skenovací mikroskop LEXT™ OLS5100Laserový mikroskop pro materiálovou analýzuInteligentní pracovní postupy, rychlejší experimentyLaserový mikroskop OLS5100, navržený pro analýzu poruch a výzkum v oblasti materiálového inženýrství, spojuje výjimečnou přesnost měření a optický výkon s inteligentními nástroji usnadňujícími jeho obsluhu. Provádějte přesná měření tvaru a drsnosti povrchu na submikronové úrovni s rychlostí a efektivitou, která Vám usnadní pracovní postupy a poskytne výsledky, kterým můžete důvěřovat. Podívejte se na video |
Snadná laserová skenovací mikroskopieDíky promyšlenému softwaru je obsluha tohoto mikroskopu snadná, a to jak pro zkušené uživatele, tak i pro nováčky.
Veškeré informace na této stránce, včetně těch o garanci přesnosti, jsou založeny na podmínkách stanovených společností Evident |
Usnadnění experimentů v rámci materiálového inženýrství a analýzy poruchChytrý správce experimentů (Smart Experiment Manager) zjednoduší Vaše pracovní postupy 3D pozorování na submikronové úrovni a experimentů v rámci analýzy poruch automatizováním tradičně časově náročných úkolů.
|
Plně přizpůsobitelný vašim požadavkůmImplementujte všechny pokročilé funkce laserového skenovacího mikroskopu OLS5100 pro materiálovou analýzu velkých a těžkých vzorků. |
Služby a podpora, kterým můžete důvěřovatNabízíme široké portfolio služeb od kalibrace až po školení, která Vám pomohou plně využít potenciál Vašeho zařízení. Servisní smlouvy společnosti Evident jsou:
|
优势特性
Výhody laserových mikroskopů | ||
1. 3D pozorování/měření na submikronové úrovni Můžete pozorovat jednotlivé schody v řádu nanometrů a měřit rozdíly výšky na submikronové úrovni. | ||
2. Měření drsnosti povrchu v souladu s normou ISO25178 Provádějte měření drsnosti povrchu lineární i plošnou metodou | ||
3. Bezkontaktní, nedestruktivní a rychlé Není třeba příprava vzorku – stačí vzorek umístit na stolek mikroskopu a můžete měřit. |
Spolehlivá data jediným stisknutím tlačítkaSmart Scan II Díky funkci Smart Scan II dokáží rychlý a snadný sběr dat provádět jak zkušení, tak i začínající uživatelé. Umístěte vzorek na stolek mikroskopu, stiskněte tlačítko Start a o vše ostatní se postará samotný mikroskop.
|
Záruka měřicího výkonu přizpůsobená Vašemu provoznímu prostředí | |
Přesnost a opakovatelnost jsou zaručeny | |
Povrchová metrologie za hranicí zorného pole *Pouze model OLS5100-SAF/EAF |
Uživatelsky přívětivé pozorování ve vysokém rozlišení/zvětšení | ||
Kontinuální automatické ostření Funkce kontinuálního automatického ostření tohoto mikroskopu udržuje obraz ostrý během pohybu stolkem nebo při výměně objektivů a minimalizuje tak potřebu ručního seřizování. Trvalé sledování ostrosti Vám umožňuje provádět pozorování rychle a snadno. | ||
Funkce Dual DIC pro živé pozorování v měřítku nanometrů Odhalte drobná poškození vzorku pomocí živého pozorování v měřítku nanometrů. Pozorování DIC (Differential Interference Contrast) Vám umožňuje vizualizovat obrysy povrchů v měřítku nanometrů, které obvykle přesahují rozlišovací schopnost laserových mikroskopů. Mikroskop OLS5100 dokáže díky režimu DIC pořizovat živé snímky srovnatelné s výstupem elektronového mikroskopu, a to i při použití 5x nebo 10x objektivu s nízkým výkonem. | Zadní povrch waferu | Parkovací zóna pevného disku |
Obsáhlá analýzaK dispozici je Vám široká řada analytických funkcí. Níže uvádíme pouze několik vybraných příkladů, chcete-li se dozvědět více informací, stáhněte si prosím naši brožuru nebo kontaktujte svého zástupce společnosti Evident. | |
Plošné měření drsnosti v souladu s normou ISO25178 Mikroskop OLS5100 skenuje povrch vzorku laserovým paprskem o průměru 0,4 μm, což umožňuje snadné měření drsnosti povrchu vzorků, které nelze změřit dotykovými měřidly drsnosti. Schopnost současného pořízení barevného i laserového snímku a 3D údajů o tvaru povrchu, které dotyková měřidla drsnosti povrchu nedokáží změřit, rozšiřuje možnosti analýzy. | |
Měření schodů mezi nejvyššími a nejnižšími body profilu povrchu | Měření profilu / pomocný měřicí nástroj Funkce měření profilu zobrazuje profil povrchu pomocí volného vykreslování měřicí linie na měřené pozici snímku. Měří také výškový rozdíl mezi dvěma libovolnými body, šířku, plochu průřezu a poloměr. Na rozdíl od dotykových měřicích nástrojů je nastavení měřených pozic snadné. Linie a body měření lze ověřovat přímo na snímku, i velmi malá místa tak mohou být měřena s vysokou přesností. Pomocný měřicí nástroj umožňuje správné stanovení měřeného bodu na základě nejvyšších, nejnižších, prostředních a/nebo průměrných bodů. Jakmile je v rámci pořízených dat určena oblast, dochází k automatické extrakci bodů prvku podle stanovených podmínek. |
软件
Snadná správa experimentů v oblasti materiálového inženýrství a analýzy poruch | |
Správa podmínek experimentu při testování nových materiálů je značně komplikovaná, inteligentní správce experimentů laserového mikroskopu OLS5100 tento proces zjednodušuje pomocí automatizace klíčových kroků, jako je tvorba plánu experimentu. |
Automatizujte rutinní postupy | |
Makro funkce Můžete automatizovat celý pracovní postup kontroly pomocí nástroje pro tvorbu makro funkcí. Bez námahy vytvářejte a upravujte procedury a poté získávejte spolehlivé výsledky spuštěním registrovaného makro souboru. Ve spojení s inteligentním správcem experimentů můžete provádět rozhodnutí o přijetí či nepřijetí jediným kliknutím. |
Zpřehledněte organizaci dat | |
Rychlé třídění dat | |
Automatické zadávání dat |
Snadná organizace dat o podmínkách experimentu | |
Automatické pojmenování souborů Pro snadné vedení záznamů můžete v plánu experimentu kliknout na kteroukoli buňku a software automaticky vygeneruje název souboru uvádějící podmínky vyhodnocení. Každý soubor obsahuje přidružené obrázky a data. |
Rychlé výsledky měření | |
Posouzení tolerance | |
Tepelná mapa |
Víceúdajová analýza | |
Komparativní analýza dat |
规格
Hlavní jednotka
Model | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
---|---|---|---|---|---|---|
Celkové zvětšení | 54x – 17 280x | |||||
Zorné pole | 16 µm – 5 120 µm | |||||
Princip měření | Optický systém |
Reflexní konfokální laserový skenovací laserový mikroskop
Reflexní konfokální laserový skenovací DIC mikroskop Barevný Barevný DIC | ||||
Princip měření | Světlo přijímající prvek |
Laser: Fotonásobič (2kanálový)
Barva: Barevná CMOS kamera | ||||
Měření výšky | Rozlišení displeje | 0,5 nm | ||||
Měření výšky | Dynamický rozsah | 16 bitů | ||||
Měření výšky | Opakovatelnost σn – 1*1 *2 *5 | 5X: 0,45 μm, 10X: 0,1 μm, 20X: 0,03 μm, 50X : 0,012 μm, 100X : 0,012 μm | ||||
Měření výšky | Přesnost *1 *3 *5 | 0,15 + L/100 μm (L: délka měření [μm]) | ||||
Měření výšky | Přesnost sešívaného snímku *1 *3 *5 | 10X: 5,0 + L/100 μm, 20x nebo vyšší: 1,0 + L/100 μm (L: délka sešívání [μm]) | ||||
Měření výšky | Šum měření (šum Sq) *1 *4 *5 | 1 nm (typ) | ||||
Měření šířky | Rozlišení displeje | 1 nm | ||||
Měření šířky | Opakovatelnost 3σn – 1 *1 *2 *5 | 5X: 0,4 μm, 10X: 0,2 μm, 20X: 0,05 μm, 50X: 0,04 μm, 100X: 0,02 μm | ||||
Měření šířky | Přesnost *1 *3 *5 | Hodnota měření ± 1,5 % | ||||
Měření šířky | Přesnost sešívaného snímku *1 *3 *5 | 10X: 24+0,5L μm, 20X: 15+0,5L μm, 50X: 9+0,5L μm, 100X: 7+0,5L μm (L: délka sešívání [mm]) | ||||
Maximální počet měřicích bodů v jednom měření | 4 096 × 4 096 pixelů | |||||
Maximální počet měřicích bodů | 36 megapixelů | |||||
Konfigurace stolku XY | Modul měření délky | • | Není k dispozici | Není k dispozici | • | |
Konfigurace stolku XY | Pracovní rozsah | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 palce) Motorizovaný | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 palce) Ruční | 300 × 300 mm (11,8 × 11,8 palce) Motorizovaný | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 palce) Motorizovaný | |
Maximální výška vzorku | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 palce) | 30 mm (1,2 palce) | 30 mm (1,2 palce) | 210 mm (8,3 palce) | ||
Laserový světelný zdroj | Vlnová délka | 405 nm | ||||
Laserový světelný zdroj | Maximální výkon | 0,95 mW | ||||
Laserový světelný zdroj | Třída laseru | Třída 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)*6 | ||||
Barevný světelný zdroj | Bílé LED světlo | |||||
Elektrické napájení | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | ||
Hmotnost | Tělo mikroskopu | cca 31 kg (68,3 libry) | cca 32 kg (70,5 libry) | cca 50 kg (110,2 libry) | cca 43 kg (94,8 libry) | |
Hmotnost | Řídicí jednotka | cca 12 kg (26,5 libry) |
*1 Garantováno při použití v prostředí s konstantní teplotou a vlhkostí (teplota: 20 ˚C ±1 ˚C, vlhkost: 50 % ±10 %) dle specifikace normy ISO554(1976), JIS Z-8703(1983).
*2 Pro zvětšení 20x nebo vyšší při měření objektivem z řady MPLAPON LEXT.
*3 Při měření specializovaným objektivem LEXT.
*4 Typická hodnota při měření objektivy MPLAPON100XLEXT, nemusí se shodovat s garantovanou hodnotou.
*5 Garantováno v rámci certifikačního systému Evident.
*6 Mikroskop OLS5100 se řadí mezi laserové produkty třídy 2. Vyvarujte se přímému pohledu do světelného paprsku.
** Řídicí jednotka mikroskopu poskytovaná společností Evident je vybavena certifikovanou licencí pro operační systém Windows 10. Na produkt se proto vztahují licenční podmínky společnosti Microsoft, se kterými vyjadřujete Váš souhlas. Více informací viz patřičné licenční ujednání společnosti Microsoft.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
Objektivy
Řada | Model | Numerická apertura (NA) | Pracovní vzdálenost (WD) (mm) |
---|---|---|---|
Objektiv UIS2 | MPLFLN2.5X | 0,08 | 10,7 |
MPLFLN5X | 0,15 | 20 | |
Specializovaný objektiv LEXT (10X) | MPLFLN10XLEXT | 0,3 | 10,4 |
Specializovaný objektiv LEXT (typ se zvýšeným výkonem) | MPLAPON20XLEXT | 0,6 | 1 |
MPLAPON50XLEXT | 0,95 | 0,35 | |
MPLAPON100XLEXT | 0,95 | 0,35 | |
Specializovaný objektiv LEXT (typ s dlouhou pracovní vzdáleností) | LMPLFLN20XLEXT | 0,45 | 6,5 |
LMPLFLN50XLEXT | 0,6 | 5,2 | |
LMPLFLN100XLEXT | 0,8 | 3,4 | |
Objektiv s extra dlouhou pracovní vzdáleností | SLMPLN20X | 0,25 | 25 |
SLMPLN50X | 0,35 | 18 | |
SLMPLN100X | 0,6 | 7,6 | |
Objektiv s dlouhou pracovní vzdáleností pro LCD | LCPLFLN20XLCD | 0,45 | 8.3-7.4 |
LCPLFLN50XLCD | 0,7 | 3.0-2.2 | |
LCPLFLN100XLCD | 0,85 | 1.2-0.9 |
Počítačová aplikace
Standardní software | OLS51-BSW | |||
---|---|---|---|---|
Standardní software | Aplikace pro sběr dat | Aplikace pro analýzu dat (základní analýza) | ||
Aplikační balíček motorizovaného stolku*1 | OLS50-S-MSP | |||
Aplikace pro pokročilou analýzu dat*2 | OLS50-S-AA | |||
Aplikace pro měření tloušťky povlaku | OLS50-S-FT | |||
Aplikace pro automatické měření hran | OLS50-S-ED | |||
Aplikace pro částicovou analýzu | OLS50-S-PA | |||
Aplikace pro kompletní asistenci s experimenty | OLS51-S-ETA | |||
Aplikace pro analýzu zakřivení povrchu koule/válce | OLS50-S-SA |
*1 Včetně funkcí pro pořizování dat s automatickým sešíváním a sběr dat z více oblastí.
*2 Včetně analýzy profilů, diferenční analýzy, analýzy výškových rozdílů, analýzy povrchů, analýzy ploch/objemů, analýzy lineární drsnosti, analýzy plošné drsnosti a histogramové analýzy.
Laserové mikroskopy Evident
Příklad konfigurace mikroskopu OLS5100-SAF
OLS5100-SAF
| ||
OLS5100-EAF
| ||
OLS5100-SMF
| ||
OLS5100-LAF
|