应用

Die Serie MX63 wird für verschiedene Anwendungen der Auflichtmikroskopie eingesetzt. Diese Anwendungen sind Beispiele dafür, wie das System bei industriellen Prüfungen genutzt wird.

IR-Bild eines Elektrodenabschnitts

Die Infrarot(IR)-Mikroskopie wird verwendet, um nach Defekten im Innern von integrierten Schaltungen und anderen aus Silizium auf Glas hergestellten Elementen zu suchen.

Folie
Folie (links: Hellfeld/rechts: polarisiertes Licht)

Zur Darstellung der Textur eines Materials oder der Beschaffenheit von Kristallen wird die Polarisationsmikroskopie verwendet. Sie eignet sich zur Prüfung von Wafer- und LCD-Strukturen.

Festplatte
(links: Hellfeld/rechts: DIC)

Das Differentialinterferenzkontrast (DIC)-Verfahren wird verwendet, um Objekte mit kleinsten Höhenunterschieden darzustellen. Es ist ideal zur Prüfung von Objekten mit äußerst geringen Höhenunterschieden geeignet, beispielsweise von Magnetköpfen, Festplatten und polierten Wafern.

Integrierter Schaltkreis auf einem Halbleiter-Wafer
(links: Dunkelfeld/rechts: MIX (Hellfeld + Dunkelfeld))

Die Dunkelfeldbeleuchtung wird verwendet, um kleinste Kratzer oder Fehler an einem Objekt zu erkennen oder Objekte mit spiegelnden Oberflächen, beispielsweise Wafer, zu prüfen. MIX-Beleuchtung macht es möglich, sowohl Muster als auch Farben darzustellen.

Fotolackrückstände auf einem Halbleiter-Wafer
(links: Fluoreszenz/rechts: MIX (Fluoreszenz + Dunkelfeld))

Die Fluoreszenzmikroskopie wird für Objekte verwendet, die Licht emittieren, wenn sie mit Licht einer bestimmten Wellenlänge (erzeugt mit einem speziellen Filterwürfel) beleuchtet werden. Auf diese Weise lassen sich Verunreinigungen und Fotolackrückstände erkennen. Die MIX-Beleuchtung ermöglicht die Darstellung sowohl von Fotolackrückständen als auch der integrierten Schaltung.

LCD-Farbfilter
(links: Durchlicht/rechts: MIX (Durchlicht + Hellfeld))

Dieses Mikroskopieverfahren ist für transparente Objekte wie LCDs, Kunststoffe und Glasmaterialien geeignet.Die MIX-Beleuchtung ermöglicht die Darstellung sowohl des Farbfilters als auch der integrierten Schaltung.