Los microscopios de inspección de Evident proporcionan flexibilidad al habilitar la visualización de muestras a través de métodos de observación combinados. Y, a esto se le denomina observación MIX: un método de iluminación que puede combinar el método de observación de campo oscuro con otro método, como el campo claro, la polarización simple, o la fluorescencia, a fin de mostrar más detalles en sus muestras al mismo tiempo. La observación MIX (combinada) también es conocida como iluminación MIX o tecnología MIX.
Figura 1. Diagrama esquemático de la observación MIX
Nuestro control (de combinación) MIX deslizante, que se halla instalado en el portaobjetivos giratorio de un microscopio de inspección, viabiliza la aplicación de este método. Consulte más sobre la observación MIX y cómo ésta puede favorecer la inspección de obleas/plaquetas electrónicas.
Figura 2. Control MIX deslizante U-MIXR-2 desde la parte delantera y posterior.
Figura 3. Microscopio compacto montado en un dispositivo, que lleva el iluminador U-KMAS con el control MIX deslizante instalado.
Inspección de defectos en placas semiconductoras con campo claro y campo oscuro
La combinación del campo claro con el campo oscuro, a través de la observación MIX, es particularmente útil en la inspección de defectos de obleas/plaquetas electrónicas. El campo claro optimiza la visualización de los detalles superficiales como el color, mientras que el campo oscuro acentúa los detalles de flancos, como los rasguños y defectos. Al combinar ambos métodos en uno solo, los usuarios pueden visualizar los patrones y colores de una oblea/plaqueta electrónica al mismo tiempo.
Figura 4. La combinación de los métodos de observación de campo claro y campo oscuro muestran los colores y el patrón de circuito integrado (CI, o IC en inglés) de una oblea/plaqueta electrónica al mismo tiempo. Esto permite detectar daños potenciales de forma más rápida, lo cual ahorra tiempo durante la inspección.
Identificar la posición en la oblea/plaqueta mediante la fluorescencia y el campo oscuro
Otra forma útil de usar la observación MIX es con los métodos de fluorescencia y campo oscuro. En las inspecciones de semiconductores, la iluminación de fluorescencia es usada por lo general para inspeccionar partículas sobrantes de resina fotosensible. Sin embargo, a menudo es difícil determinar la posición del objeto cuando se aplica el método de iluminación. Lo bueno es que la posición del objeto puede ser encontrada usando el método de campo oscuro. En la inspección de obleas/plaquetas electrónicas, la combinación de fluorescencia y campo oscuro a través de la observación MIX posibilita la determinación de posición en una oblea/plaqueta electrónica, la observación del patrón de forma y la identificación de resina indeseada.
Figura 5. Combinación de los métodos de fluorescencia y campo oscuro para mejorar la inspección de los patrones de circuitos integrados y residuos
Iluminación flexible usando el campo oscuro en modo direccional
La función de campo oscuro en modo direccional (Directional Darkfield) es una importante ventaja a nivel de la observación MIX. Ésta permite controlar la cantidad y la dirección de la luz aplicada a la muestra. Es posible controlar dieciséis LED de forma separada para poder iluminar un objeto en ángulo oblicuo a partir de cualquier dirección. Esta capacidad le permite distinguir superficies elevadas a partir de depresiones, como también resaltar nuevas particularidades y defectos. Asimismo, es posible combinar el campo oscuro direccional con el campo claro, la polarización, la luz transmitida, o la fluorescencia para realzar más detalles.
Las imágenes a continuación son ejemplos de la función de campo oscuro en modo direccional. Écheles un vistazo.
Figura 6. Detalles superficiales realzados en un cable de cinta/faja mediante la combinación del método de observación de campo oscuro con otro usando la observación MIX. El color azul en la rueda de mando muestra la dirección de luz a partir del campo oscuro en modo direccional, mientras que el círculo rojo indica el área bajo observación.
Descripción de imágenes de la Figura 6 de izquierda a derecha:
- La observación MIX con el campo claro y el campo oscuro permite visualizar la superficie del revestimiento de poliamida y la lámina de cobre al mismo tiempo.
- La observación MIX con el campo claro y el campo oscuro en ángulo hacia arriba permite visualizar la parte plana y la forma inclinada hacia abajo al mismo tiempo.
- La observación MIX con el campo claro y el campo oscuro en ángulo hacia abajo permite observar la parte plana y la forma inclinada hacia arriba.
- La observación MIX con la polarización y el campo oscuro permite observar la contaminación y la forma cóncava al mismo tiempo.
La observación MIX en el diseño del instrumento
La observación MIX permite ahorrar tiempo durante las inspecciones al mostrar más detalles al mismo tiempo a partir de su muestra. Esto la convierte en una herramienta útil para aplicaciones que usan una combinación del método de observación de campo oscuro con otro.
- Microscopio vertical metalúrgico BX53M
- Microscopio invertido metalúrgico BX53M
- Microscopio de inspección para obleas/plaquetas electrónicas MX63/MX63L
- Microscopio de medición STM7
- Microscopio modular BXFM
Por otra parte, existen versiones precedentes de las series de microscopios BX™ y MX™ que pueden ser actualizadas con la observación MIX por medio de componentes adicionales.
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