应用

La serie de microscopios MX63 está destinada a una variedad de aplicaciones de microscopía de luz reflejada. Las siguientes aplicaciones son un ejemplo de las formas de uso que puede llevar el sistema en las inspecciones industriales.

Imagen de luz infrarroja en una sección de electrodo

La luz infrarroja se usa para observar defectos internos en los chips de circuitos integrados y otros dispositivos fabricados con silicio sobre vidrio.

Película
Izquierda: campo claro. Derecha: luz polarizada.

La luz polarizada se usa para desvelar la textura de un material y el estado de los cristales. Es adecuada en la inspección de estructuras de obleas y paneles LCD.

Disco duro
Izquierda: campo claro. Derecha: DIC

El contraste de interferencia diferencial (DIC) se usa para ver muestras con diferencias sutiles de altura. El método es idóneo para inspeccionar muestras con diferencias minúsculas de altura, como cabezales magnéticos, discos duros, obleas pulidas.

Patrón de circuito integrado en una oblea de semiconductor
Izquierda: campo oscuro. Derecha: MIX (campo oscuro + campo claro)

El campo oscuro se usa para detectar rasguños o defectos minúsculos en una muestra o para inspeccionar muestras dotadas de superficies con efecto espejo, como las obleas. La iluminación MIX permite a los usuarios visualizar tanto los patrones como los colores.

Residuo fotorresistente en una oblea semiconductora
Residuo fotorresistente en una oblea semiconductora

La fluorescencia se usa en el caso de muestras que emiten luz cuando son iluminadas con un cubo de filtros especialmente desarrollado. Esta técnica permite detectar la contaminación y los residuos fotorresistentes. La iluminación combinada (MIX) permite la observación tanto de residuos fotorresistentes como de patrones de circuito integrado. 

Filtro de color LCD
Izquierda: luz transmitida. Derecha: MIX (luz transmitida + campo claro)

Esta técnica de observación es apropiada para muestras transparentes, tales como los LCD o materiales de plástico y vidrio.  La iluminación combinada (MIX) permite la observación tanto del color de filtro como el patrón de circuito.