概述
Microscope à balayage laser 3D LEXT™ OLS5100Microscope à balayage laser pour l’analyse des matériauxProcédures optimisées, expériences accéléréesConçu pour l’analyse des défaillances et la recherche en ingénierie des matériaux, le microscope à balayage laser OLS5100 combine des mesures d’une très grande exactitude, des performances optiques exceptionnelles et des outils intuitifs qui le rendent facile à utiliser. La possibilité de mesurer précisément, rapidement et efficacement la forme et la rugosité des surfaces à l’échelle submicronique simplifie votre processus de travail et vous permet d’obtenir des données d’une grande fiabilité. Regarder la vidéo |
La microscopie à balayage laser en toute facilitéGrâce au logiciel intégré intuitif, le microscope est facile à utiliser par les utilisateurs de tout niveau.
Les renseignements fournis sur cette page Web, y compris ceux concernant la précision garantie, sont fondés sur les conditions définies par Evident. |
Des expériences d’ingénierie des matériaux et d’analyse des défaillances plus facilesL’outil « Smart Experiment Manager » simplifie vos processus d’observation 3D à l’échelle submicronique et d’analyse des défaillances en automatisant des tâches auparavant chronophages.
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Personnalisation complète en fonction de vos spécificationsBénéficiez de toutes les fonctionnalités avancées du microscope à balayage laser OLS5100 pour l’analyse des matériaux dans le cas d’échantillons volumineux et lourds. |
Des services de maintenance et une assistance fiablesDe l’étalonnage à la formation, nous proposons une vaste gamme de services pour vous aider à toujours obtenir des performances optimales de vos appareils. Les contrats de maintenance d’Evident sont :
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优势特性
Avantages des microscopes à balayage laser | ||
1. Observation/mesure en 3D à l’échelle submicronique Observation de pas à l’échelle nanométrique et mesure de différences de hauteur à l’échelle submicronique | ||
2. Mesure de rugosité de surface conforme à la norme ISO 25178 Mesure de rugosité de surface, de linéaire à planaire | ||
3. Sans contact, non destructif et rapide Aucune préparation d’échantillon requise : il suffit de placer l’échantillon sur la platine pour commencer les mesures |
Des données fiables sur simple pression d’un boutonFonction « Smart Scan II » Les utilisateurs de tout niveau, même débutants, peuvent acquérir des données rapidement et facilement grâce à la fonction « Smart Scan II ». Placez l’échantillon sur la platine, appuyez sur le bouton de démarrage et le microscope fait tout le travail.
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Garantie de performance de mesure adaptée à votre environnement opérationnel | |
Précision et répétabilité garanties | |
Une métrologie de surface qui dépasse le champ d’observation * Uniquement pour OLS5100-SAF/EAF |
Mode d’observation à haute résolution et à fort grossissement facile à utiliser | ||
Mise au point automatique en continu La mise au point automatique continue du microscope maintient la mise au point de vos images lors du déplacement de la platine ou du changement d’objectif, réduisant ainsi au minimum le besoin de réglages manuels. Le suivi permanent de la mise au point vous permet d’effectuer des observations rapidement et facilement. | ||
Double fonction CID pour effectuer une observation en temps réel à l’échelle nanométrique Détectez les dommages infimes de votre échantillon grâce à une observation en temps réel à l’échelle nanométrique. L’observation par contraste interférentiel différentiel (CID) vous permet de visualiser des contours de surfaces à l’échelle nanométrique généralement difficiles à observer avec le pouvoir de résolution d’un microscope laser. Grâce au mode d’observation CID avec faisceau laser, le microscope OLS5100 peut afficher des images en cours d’acquisition comparables à celles d’un microscope électronique, même en utilisant un objectif de faible grossissement 5x ou 10x. | Surface arrière d’un wafer | Zone d’atterrissage du disque dur |
Analyse complètePlusieurs fonctions d’analyse sont disponibles. Ce qui suit n’est qu’un exemple ; veuillez télécharger la brochure ou contacter votre représentant Evident pour obtenir plus de détails. | |
Mesure de rugosité de surface conforme à la norme ISO25178 Le microscope OLS5100 balaye la surface de l’échantillon avec un faisceau laser de 0,4 μm de diamètre et mesure la rugosité de surface d’échantillons qui ne peut pas être mesurée avec des rugosimètres par contact. La capacité d’acquérir simultanément une image en couleur, une image laser et des données de forme en 3D d’une surface non mesurable avec un rugosimètre par contact étend la portée de l’analyse. | |
Mesure du pas entre les points les plus hauts et les points les plus bas sur un profil de surface | Mesure de profil/outil d’aide à la mesure La fonction « Profile measurement » (mesure du profil) affiche le profil de la surface en traçant arbitrairement une ligne de mesures sur la zone à mesurer sur une image. Elle mesure également le pas entre deux points choisis arbitrairement, ainsi que la largeur, la section transversale et le rayon. Contrairement aux outils de mesure par contact, le réglage des positions de mesure est facile à exécuter. Les lignes et les points de mesures peuvent être vérifiés sur l’image. Il est donc possible de mesurer une très petite surface avec précision. Grâce à l’outil « Measurement assist tool » (aide à la mesure), le point à mesurer peut être défini à l’aide des points supérieurs, inférieurs, du milieu et/ou moyens. Lorsqu’une zone est définie dans les données acquises, les points caractéristiques sont automatiquement extraits selon les conditions indiquées. |
Brochure du microscope Téléchargez la brochure dès maintenant pour en savoir plus sur le microscope à balayage laser OLS5100 Télécharger |
软件
Une gestion simplifiée des expériences en ingénierie des matériaux et en analyse des défaillances | |
La gestion des conditions d’expérimentation lors de l’analyse de nouveaux matériaux pouvant être très complexe, nous avons équipé le microscope à balayage laser OLS5100 de l’outil « Smart Experiment Manager » pour simplifier ce processus en automatisant les étapes principales, notamment la création du plan d’expérimentation. |
Automatisez les procédures de routine | |
Fonction macro Vous pouvez automatiser l’ensemble de la procédure d’inspection à l’aide de l’outil de production de macros. Créez et modifiez facilement des procédures, puis exécutez le fichier macro enregistré pour obtenir des résultats fiables. En association avec l’outil « Smart Experiment Manager », vous pouvez déterminer en un coup d’œil la réussite ou l’échec des mesures. |
Simplification de l’organisation des données | |
Tri rapide des données | |
Saisie automatique des données |
Une organisation facile des données de conditions d’expérimentation | |
Génération automatique de noms de fichiers Cliquez simplement sur chaque cellule du plan d’expérimentation pour que le logiciel génère automatiquement un nom de fichier contenant les conditions d’évaluation, ce qui facilite l’archivage. Chaque fichier contient les images et les données connexes. |
Résultats de mesure rapides | |
Jugement de tolérance | |
Carte de densité |
Analyse multidonnées | |
Analyse comparative des données |
Brochure sur le microscope Téléchargez la brochure dès maintenant pour en savoir plus sur le microscope à balayage laser OLS5100 Télécharger |
规格
Unité principale
Modèle | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
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Grossissement total | De 54x à 17 280x | |||||
Champ d’observation | De 16 à 5120 µm | |||||
Principe de mesure | Système optique |
Microscope confocal à balayage laser de type réflexion
Microscope confocal CID à balayage laser de type réflexion Couleur Couleur-CID | ||||
Principe de mesure | Élément de réception de la lumière |
Laser : photomultiplicateur (2 canaux)
Couleurs : caméra couleur CMOS | ||||
Mesure de hauteur | Résolution de l’écran | 0,5 nm | ||||
Mesure de la hauteur | Étendue dynamique | 16 bits | ||||
Mesure de la hauteur | Répétabilité σn-1*1 *2 *5 |
5X : 0,45 μm ; 10X : 0,1 μm ; 20X : 0,03 μm ;
50X : 0,012 μm ; 100X : 0,012 μm | ||||
Mesure de la hauteur | Précision *1 *3 *5 | 0,15+L/100 μm (L : longueur mesurée [μm]) | ||||
Mesure de la hauteur | Précision d’une image assemblée *1 *3 *5 | 10X : 5,0 + L/100 μm, 20X ou supérieur : 1,0 + L/100 μm (L : longueur d’assemblage [μm]) | ||||
Mesure de hauteur | Bruit de mesure (quadr.) *1 *4 *5 | 1 nm (type) | ||||
Mesure de largeur | Résolution de l’écran | 1 nm | ||||
Mesure de largeur | Répétabil. 3σn-1*1 *2 *5 | 5X : 0,4 μm, 10X : 0,2 μm, 20X : 0,05 μm, 50X : 0,04 μm, 100X : 0,02 μm | ||||
Mesure de largeur | Précision *1 *3 *5 | Valeur de la mesure +/–1,5 % | ||||
Mesure de largeur | Précision d’une image assemblée *1 *3 *5 |
10X : 24+0,5 L μm ; 20X : 15+0,5 L μm ;
50X : 9+0,5 L μm ; 100X : 7+0,5 L μm (L : longueur d’assemblage [mm]) | ||||
Nombre maximal de points de mesure dans une seule mesure | 4096 × 4096 pixels | |||||
Nombre maximal de points de mesure | 36 mégapixels | |||||
Configuration de la platine XY | Module de mesure de longueur | • | S.O. | S.O. | • | |
Configuration de la platine XY | Plage de fonctionnement | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 po) – motorisée | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 po) – manuelle | 300 × 300 mm (11,8 × 11,8 po) – motorisée | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 po) – motorisée | |
Épaisseur maximale des échantillons |
100 × 100 mm
| 30 mm (1,2 po) | 30 mm (1,2 po) | 210 mm (8,3 po) | ||
Source de lumière laser | Longueur d’onde | 405 nm | ||||
Source de lumière laser | Puissance maximale | 0,95 mW | ||||
Source de lumière laser | Classe laser | Classe 2 (CEI 60825-1:2007, CEI 60825-1:2014)*6 | ||||
Source de lumière en couleurs | LED blanche | |||||
Puissance électrique | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | ||
Poids | Corps du microscope | Env. 31 kg (68,3 lb) | Env. 32 kg (70,5 lb) | Env. 50 kg (110,2 lb) | Env. 43 kg (94,8 lb) | |
Poids | Console de commande | Env. 12 kg (26,5 lb) |
*1 Garantie applicable lorsque l’appareil est utilisé dans un environnement où la température et le niveau d’humidité sont constants (température : 20 °C ±1 °C, humidité : 50 % ±10 %), tel que précisé dans les normes ISO 554(1976) et JIS Z-8703(1983).
*2 Pour 20x ou plus, si la mesure est prise avec des objectifs de la série MPLAPON LEXT.
*3 Lorsque mesuré avec un objectif spécialement conçu pour le LEXT.
*4 Valeur habituelle lorsque mesurée avec l’objectif MPLAPON100XLEXT. Peut différer de la valeur garantie.
*5 Garantie par le système de certificat Evident.
*6 Le microscope OLS5100 est un produit laser de classe 2. Ne pas fixer le faisceau.
** La licence SE de Windows 10 a été certifiée pour le contrôleur de microscope fourni par Evident. Par conséquent, les conditions de licence de Microsoft s’appliquent et vous les acceptez. Veuillez consulter la page Web suivante pour voir les conditions de licence de Microsoft.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
Objectifs
Série | Modèle | Ouverture numérique (ON) | Distance frontale (DF) [mm] |
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Objectif UIS2 | MPLFLN2.5X | 0,08 | 10,7 |
MPLFLN5X | 0,15 | 20 | |
Objectif dédié LEXT (10X) | MPLFLN10XLEXT | 0,3 | 10,4 |
Objectif dédié LEXT
| MPLAPON20XLEXT | 0,6 | 1 |
MPLAPON50XLEXT | 0,95 | 0,35 | |
MPLAPON100XLEXT | 0,95 | 0,35 | |
Objectif dédié LEXT
| LMPLFLN20XLEXT | 0,45 | 6,5 |
LMPLFLN50XLEXT | 0,6 | 5,2 | |
LMPLFLN100XLEXT | 0,8 | 3,4 | |
Objectif à très grande distance frontale | SLMPLN20X | 0,25 | 25 |
SLMPLN50X | 0,35 | 18 | |
SLMPLN100X | 0,6 | 7,6 | |
Objectif à très distance frontale pour lentille LCD | LCPLFLN20XLCD | 0,45 | 8,3-7,4 |
LCPLFLN50XLCD | 0,7 | 3,0-2,2 | |
LCPLFLN100XLCD | 0,85 | 1,2-0,9 |
Logiciels d’application
Logiciels de base | OLS51-BSW | |||
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Logiciels de base | Application d’acquisition des données |
Application d’analyse
(analyse simple) | ||
Progiciel pour platine motorisée*1 | OLS50-S-MSP | |||
Application d’analyse avancée*2 | OLS50-S-AA | |||
Application de mesure d’épaisseur de film | OLS50-S-FT | |||
Application de mesure de bords automatique | OLS50-S-ED | |||
Application d’analyse de particules | OLS50-S-PA | |||
Application d’assistance totale expérimentale | OLS51-S-ETA | |||
Application d’analyse d’angles de surface de sphère/cylindre | OLS50-S-SA |
*1 Inclut les fonctions d’acquisition de données par assemblage automatique et d’acquisition de données sur plusieurs zones.
*2 Inclut l’analyse de profil, l’analyse de différence, l’analyse de la hauteur des pas, l’analyse de surface, l’analyse de surface/volume, l’analyse de rugosité linéaire, l’analyse de rugosité de surface et l’analyse d’histogramme.
Microscopes à balayage laser Evident
Exemple de configuration – OLS5100-SAF
OLS5100-SAF
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OLS5100-EAF
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OLS5100-SMF
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OLS5100-LAF
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