应用

La série MX63 est utilisée dans tout un éventail d’applications de microscopie en réfléchi. Ces applications sont des exemples d’utilisation du système pour des inspections industrielles.

Image IR d’une section d’électrode

La lumière infrarouge (IR) est utilisée pour inspecter les défauts présents à l’intérieur des microcircuits intégrés (puces) ou d’autres dispositifs fabriqués avec du silicium sur du verre.

Film
(à gauche : fond clair / à droite : lumière polarisée)

La lumière polarisée est utilisée pour révéler la texture du matériau et l’état des cristaux. Elle convient pour inspecter des structures de wafers et de LCD.

Disque dur
(à gauche : fond clair / à droite : CID)

Le contraste interférentiel différentiel (CID) aide à observer des échantillons dont les différences de hauteur sont infimes. Il est idéal pour inspecter des échantillons présentant des différences de hauteur minuscules, comme des têtes magnétiques, des disques durs et des wafers polis.

Motif de CI sur un wafer semi-conducteur
(à gauche : fond noir / à droite : MIX [fond clair + fond noir])

Le fond noir est utilisé pour détecter de petites rayures ou des défauts de petite taille sur un échantillon et pour inspecter des échantillons dont les surfaces sont des miroirs, comme les wafers. L’éclairage MIX permet aux utilisateurs de voir à la fois les couleurs et les motifs.

Résidu de résine photosensible sur un wafer semi-conducteur
(à gauche : fluorescence/à droite : MIX [fluorescence + fond noir])

La fluorescence est utilisée pour des échantillons qui émettent de la lumière lorsqu’ils sont éclairés avec un cube filtre spécialement conçu à cet effet. Cette méthode permet de détecter une contamination et des résidus de photorésine. L’éclairage MIX permet d’observer des résidus de photorésine et des motifs de puces.

Filtre de couleurs LCD
(à gauche : lumière transmise / à droite : MIX [lumière transmise + fond clair])

Cette technique d’observation est adaptée à des échantillons transparents tels que les LCD, les plastiques et le verre. L’éclairage MIX permet d’observer la couleur du filtre et les motifs du circuit.