概述
Microscopio a scansione laser 3D LEXT™ OLS5100Microscopio laser per l'analisi di materialiFlusso di lavoro efficiente, esperimenti più velociProgettato per l'analisi dei guasti e la ricerca industriale dei materiali, il microscopio laser OLS5100 combina una precisione di misura e delle prestazioni ottiche eccezionali con delle funzionalità efficienti che rendono il microscopio facile da utilizzare. Misura con precisione la forma e le irregolarità superficiali a un livello submicrometrico in modo veloce e efficiente per semplificare il flusso di lavoro mediante dati affidabili. Guarda il video |
Microscopia a scansione laser di facile usoL'uso del microscopio è semplice sia per operatori inesperti che esperti grazie al software progettato con attenzione.
Le informazioni (inclusa la precisione garantita) riportate in questa pagina web sono basate sulle condizioni definite da Evident |
Semplificazione degli esperimenti relativi alla scienza dei materiali e all'analisi dei guastiLa funzionalità Smart Experiment Manager semplifica i flussi di lavoro delle osservazioni 3D submicrometriche e degli esperimenti di analisi dei guasti automatizzando le operazioni che risultavano precedentemente dispendiose in termini di tempo.
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Completamente personalizzabile in base alle proprie esigenzeIntegrazione di tutte le funzionalità avanzate del microscopio a scansione laser OLS5100 per l'analisi di materiali e di campioni pesanti e di grandi dimensioni. |
Assistenza affidabileDalla taratura alla formazione offriamo un'ampia gamma di servizi per mantenere le prestazioni ottimali del dispositivo. I contratti di assistenza Evident sono:
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优势特性
Vantaggi del microscopio laser | ||
1. Osservazione e misura 3D al di sotto del micron Osservazione di rilevi nell'intervallo nanometrico e misurazione delle differenze di altezza a un livello al di sotto del micron. | ||
2. Misura delle irregolarità della superficie in conformità alla norma ISO25178 Misura delle irregolarità della superficie da un sistema lineare a uno planare | ||
3. Senza contatto, non distruttivo e veloce Preparazione dei campioni non richiesta: posizionare semplicemente il campione sul tavolino e si è pronti a effettuare la misura. |
Dati affidabili con la pressione di un pulsanteSmart Scan II Sia nel caso di utenti inesperti che esperti, i dati possono essere acquisiti in modo veloce e facile con la funzionalità Smart Scan II. Posizionare il campione sul tavolino, premere il pulsante di avvio e il microscopio si occupa del resto.
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Prestazioni di misura che garantiscono l'adattabilità all'ambiente operativo dell'utente | |
Precisione e ripetibilità garantite | |
Metrologia superficiale oltre il campo visivo *Solo per OLS5100-SAF/EAF |
Osservazione a alta risoluzione e alto ingrandimento di facile applicazione | ||
Messa a fuoco automatica continua L'autofocus continuo del microscopio mantiene le immagini a fuoco quando si sposta il tavolino o si cambiano gli obiettivi, minimizzando la necessità di regolazioni manuali. La costante tracciatura della messa a fuoco permette di eseguire delle osservazioni in modo facile e veloce. | ||
DIC doppia per osservazione in tempo reale con scala nanometrica Permette di rilevare piccole alterazioni nel proprio campione mediante un'osservazione in tempo reale a una scala nanometrica. L'osservazione a contrasto interferenziale (DIC) permette di visualizzare i contorni superficiali a una scala nanometrica che in genere non sono rilevabili da un microscopio laser. Con la modalità laser DIC, il microscopio OLS5100 può ottenere delle immagini live paragonabili a quelle di un microscopio elettronico, anche quando si utilizza un obiettivo 5X o 10X. | Superficie posteriore di un wafer | Zona di posizionamento di un disco rigido |
Analisi completaSono disponibili numerose funzioni di analisi Di seguito viene riportato solo un esempio perciò per maggior informazioni scaricare la brochure o contattare il proprio rappresentante Evident. | |
Misura delle rugosità della superficie in conformità alla norma ISO25178 Il microscopio OLS5100 scansiona la superficie del campione con un fascio laser di 0,4 μm, permettendo di misurare facilmente la rugosità superficiale dei campioni che non possono essere misurati con misuratori di rugosità superficiali a contatto. La capacità di acquisire contemporaneamente l'immagine a colori, l'immagine laser e i dati della forma 3D di una superficie, non misurabili con un misuratore di rugosità superficiali a contatto, ottimizza l'analisi. | |
Misura di un rilievo tra il punto più alto e più basso in un profilo superficiale | Funzione di misura del profilo e strumento di assistenza alla misura La funzione di misura del profilo visualizza il profilo della superficie tracciando in modo discrezionale una linea di misura sulla posizione che deve essere misurata su un'immagine. Inoltre misura il rilievo tra due punti, larghezze, aree a sezione trasversale e raggi discrezionali. Diversamente dagli strumenti di misura a contatto, la definizione delle posizioni di misura risulta semplice. Le linee e i punti di misura possono essere verificati sull'immagine, pertanto può essere misurata con precisione anche un'area molto piccola. Con lo strumento di assistenza alla misura, il punto da misurare può essere specificato correttamente mediante il punto più alto, più basso, mediano e/o medio. Quando viene specificata un'area nei dati acquisiti, i punti inclusi sono automaticamente estratti in base a condizioni specificate. |
软件
Semplificazione della gestione degli esperimenti relativi alla scienza dei materiali e all'analisi dei guasti | |
Durante i test sui nuovi materiali la gestione delle condizioni degli esperimenti risulta complessa. Grazie alla funzionalità Smart Experiment Manager del microscopio laser OLS5100 è possibile semplificare il processo automatizzando le operazioni principali come il piano degli esperimenti. |
Flussi di lavoro di routine automatizzati | |
Funzione macro È possibile automatizzare l'intero flusso di lavoro di ispezione mediante lo strumento di produzione macro. Permette di creare e modificare facilmente le procedure, e successivamente esegue il file macro registrato per ottenere dei risultati affidabili. Combinato con il Smart Experiment Manager è possibile effettuare delle valutazioni di tipo pass/fail (idoneo/non idoneo) con un solo clic. |
Semplice organizzazione dei dati | |
Veloce classificazione dei dati | |
Automatico inserimento dei dati |
Facile organizzazione dei dati delle condizioni degli esperimenti | |
Automatica generazione del nome dei file È possibile cliccare su ogni cella del piano degli esperimenti e il software genererà automaticamente un nome del file contenente le condizioni di valutazione per un'archiviazione dei dati semplificata. Ogni file contiene i dati e le immagini associate. |
Veloce ottenimento dei risultati di misura | |
Valutazione della tolleranza | |
Mappa di calore |
Analisi multidati | |
Analisi comparativa dei dati |
规格
Unità principale
Modello | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
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Ingrandimento totale | 54x–17 280x | |||||
Campo visivo | 16 µm–5,120 µm | |||||
Principio di misura | Sistema ottico |
Microscopio confocale a scansione laser a riflessione
Microscopio confocale a scansione laser-DIC a riflessione Colore Colore-DIC | ||||
Principio di misura | Elemento di acquisizione della luce |
Laser: Fotomoltiplicatore (2 canali)
Colore: Fotocamera CMOS a colori | ||||
Misura dell'altezza | Risoluzione del display | 0,5 nm | ||||
Misura dell'altezza | Campo dinamico | 16 bit | ||||
Misura dell'altezza | Ripetibilità σn-1*1 *2 *5 | 5X: 0,45 μm; 10X: 0,1 μm; 20X: 0,03 μm; 50X : 0,012 μm; 100X : 0,012 μm | ||||
Misura dell'altezza | Precisione *1 *3 *5 | 0,15+L/100 μm (L: lunghezza di misurazione [μm]) | ||||
Misura dell'altezza | Precisione per immagini combinate *1 *3 *5 | 10X:5,0+L/100 μm; 20X o superiore: 1,0+L/100 μm (L: Lunghezza stitching [μm]) | ||||
Misura dell'altezza | Rumore di misura (valore efficace del rumore) *1 *4 *5 | 1 nm (Tipo) | ||||
Misura dell'ampiezza | Risoluzione del display | 1 nm | ||||
Misura dell'ampiezza | Ripetibilità 3σn-1 *1 *2 *5 | 5X: 0,4 μm; 10X: 0,2 μm; 20X: 0,05 μm; 50X: 0,04 μm; 100X: 0,02 μm | ||||
Misura dell'ampiezza | Precisione *1 *3 *5 | Valore di misura di +/- 1.5% | ||||
Misura dell'ampiezza | Precisione per immagini combinate *1 *3 *5 | 10X : 24+0,5L μm; 20X : 15+0,5L μm; 50X : 9+0,5L μm; 100X : 7+0,5L μm (L: Lunghezza stitching [mm]) | ||||
Numero massimo di punti di misurazione in una singola misura | 4096 × 4096 pixel | |||||
Numero massimo di punti di misurazione | 36 megapixel | |||||
Configurazione tavolino XY | Modulo di misura della lunghezza | • | NA | NA | • | |
Configurazione tavolino XY | Intervallo operativo | 100 × 100 mm Motorizzato | 100 × 100 mm Manuale | 300 × 300 mm Motorizzato | 100 × 100 mm Motorizzato | |
Altezza campione massima | 100 mm | 40 mm | 37 mm | 210 mm | ||
Generatore di luce laser | Lunghezza d’onda | 405 nm | ||||
Generatore di luce laser | Uscita massima | 0,95 mW | ||||
Generatore di luce laser | Classe laser | Classe 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)*6 | ||||
Fonte di luce a colori | LED bianco | |||||
Alimentazione elettrica | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | ||
Massa | Corpo microscopio | Circa 31 kg | Circa 32 kg | Circa 50 kg | Circa 43 kg | |
Massa | Unità di controllo | Circa 12 kg |
*1 Garantito quando usato a temperatura costante e in ambiente a temperatura costante (temperatura: 20˚C±1˚C, umidità: 50%±10%) come specificato nelle norme ISO554(1976) e JIS Z-8703 (1983).
*2 Per 20x o superiore, se la misurazione avviene con obiettivi della serie MPLAPON LEXT.
*3 Quando misurato con l'obiettivo dedicato LEXT.
*4 Valore tipico se la misurazione avviene con l'obiettivo MPLAPON100XLEXT, può differire dal valore garantito.
*5 Garantito dal sistema di certificazione Evident.
*6 OLS5100 è un prodotto laser di Classe 2. Non guardare il raggio laser.
** La licenza del sistema operativo Windows 10 è stata certificata per il controller del microscopio fornito da Evident. Pertanto, si applicano e si accettano le condizioni di licenza di Microsoft. Per le condizioni di licenza di Microsoft, fare riferimento a quanto segue.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
Obiettivi
Serie | Modello | Apertura numerica (NA) | Distanza di lavoro (WD) [mm] |
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Obiettivi UIS2 | MPLFLN2.5X | 0,08 | 10,7 |
MPLFLN5X | 0,15 | 20 | |
Obiettivi LEXT dedicati (10X) | MPLFLN10XLEXT | 0,3 | 10,4 |
Obiettivi LEXT dedicati (tipo a alte prestazioni) | MPLAPON20XLEXT | 0,6 | 1 |
MPLAPON50XLEXT | 0,95 | 0,35 | |
MPLAPON100XLEXT | 0,95 | 0,35 | |
Obiettivi dedicati LEXT (tipo a distanza di lavoro lunga) | LMPLFLN20XLEXT | 0,45 | 6,5 |
LMPLFLN50XLEXT | 0,6 | 5,2 | |
LMPLFLN100XLEXT | 0,8 | 3,4 | |
Obiettivi con distanza di lavoro ultra lunga | SLMPLN20X | 0,25 | 25 |
SLMPLN50X | 0,35 | 18 | |
SLMPLN100X | 0,6 | 7,6 | |
Distanza di lavoro lunga per gli obiettivi LCD | LCPLFLN20XLCD | 0,45 | 8.3-7.4 |
LCPLFLN50XLCD | 0,7 | 3.0-2.2 | |
LCPLFLN100XLCD | 0,85 | 1.2-0.9 |
Software applicativo
Software standard | OLS51-BSW | |||
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Software standard | Applicazione per l'acquisizione dei dati | Applicazione per l’analisi (analisi semplice) | ||
Applicazione del pacchetto del tavolino motorizzato*1 | OLS50-S-MSP | |||
Applicazione per l’analisi avanzata*2 | OLS50-S-AA | |||
Applicazione per la misurazione dello spessore della pellicola | OLS50-S-FT | |||
Applicazione per la misurazione automatica del bordo | OLS50-S-ED | |||
Applicazione per l’analisi delle particelle | OLS50-S-PA | |||
Applicazione d'assistenza totale sperimentale | OLS51-S-ETA | |||
Applicazione per l’analisi dell'angolo di superficie della sfera/ del cilindro | OLS50-S-SA |
*1 Comprende le funzioni di acquisizione dati auto-stitching e dati multi-area.
*2 Comprende analisi del profilo, analisi della differenza, analisi dell’altezza di passo, analisi della superficie, analisi di volume/area, analisi della rugosità lineare, analisi della rugosità dell’area e analisi dell’istogramma.
Microscopi laser Evident
Esempio di configurazione di OLS5100-SAF
OLS5100-SAF
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OLS5100-EAF
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OLS5100-SMF
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OLS5100-LAF
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