概述
LEXT™OLS5100 3D測定レーザー顕微鏡洗練されたツールで、測定・解析を迅速にレーザー顕微鏡の新時代。実験準備からレポート作成まで、トータルでサポートするツールへ進化
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LEXT専用対物レンズ
| 誰でも業界最高レベルの測定性能を※1LEXT専用レンズにより信頼性の高い測定結果を得られます。スマートレンズアドバイザーが、サンプルに適したレンズ選定をアシストします。
※1 精度保証値は、当社指定の条件での特性および値です。 |
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設定不要で高精度な測定を測りたいサンプルをステージにおいて、スタートボタンを押すだけ。誰でも高精度な測定結果が得られます。
※2 精度保証値は、当社指定の条件での特性および値です。
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実験準備から分析・レポート作成までをこの1台で実験検証のワークフローを革新。実験準備からレポート作成にかかる時間を30%削減※します。
※弊社従来機（OLS5000）比 |
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仕様に合わせて完全たカスタマイズ可能をサポート大型サンプルや重いサンプルの材料解析用向けに、OLS5100 3D測定レーザー走査型顕微鏡のあらゆる多彩な先進機能を導入でき活用いただけます。 |  |
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优势特性
レーザー顕微鏡の3つの特長1. サブミクロンオーダーの3D観察・測定  わずか数nmの段差を捉え、サブミクロンレベルの凹凸を正確に測定 |
2. JIS B0681 (ISO25178) に準拠した表面粗さ測定  線から面へ、粗さ測定の新たなスタンダード |
3. 非接触、非破壊、スピーディー  前準備不要、ステージに置くだけで測定可能 |
スタートボタンを押すだけで、誰でも同じアウトプットスマートスキャンII 測りたいサンプルをステージにおいて、スタートボタンを押すだけ。光検出感度やデータ取得範囲設定などの手動操作を不要としたスマートスキャンⅡで、誰でも高精度な測定結果が得られます。 スマートスキャンIIがスマートな理由
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使用環境下で精度保証 | |
 | 正確さと繰り返し性をダブル保証 測定機器としての性能は「正確性」と「繰り返し性」で表されます。「正確性」は真の値にどれだけ近いかを意味し、「繰り返し性」は複数回の測定でいかに変動が少ないかを表すものです。OLS5100は全LEXT専用レンズの全ズーム倍率で、お客様の環境下で「正確性」と「繰り返し性」を保証します。 |
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 | 貼り合わせデータの正確さを保証 OLS5100は、電動ステージに測長モジュールを搭載し、レーザー顕微鏡として業界で初めて貼り合わせデータの正確さを保証しています。従来のレーザー顕微鏡は、取得データのパターンマッチング処理でデータを繋ぎ合せていました。OLS5100は、パターンマッチング処理に加え、測長モジュールの位置情報も使うことで、正確さが保証された信頼性のある貼り合わせデータを提供します。 貼り合わせ測定のISO/IEC 17025認定校正も可能です。 ※OLS5100-SAT／EATのみです。 |
シンプル操作の高解像・高倍率観察 | ||
コンティニュアスAF OLS5100は、レーザー顕微鏡で初めてコンティニュアスAFを搭載しました。場所探し、レンズの切り替え等でも自動追従しますのでピント合わせの作業はもう不要です。スピーディーで確実な観察が可能です。 |  |  |
二つの微分干渉によるナノレベルのリアルタイム観察 微分干渉（DIC）観察は、5xや10xの低倍率のレンズでもレーザー顕微鏡の分解能を超えたナノレベルの微小凹凸を可視化する観察方法です。これにより、低倍率のライブ観察でも電子顕微鏡の分解能に迫る画像が得られます。OLS5100は、ナノレベルのパターン、欠陥がリアルタイムで観察できるので微細な傷も特定可能です。 |
ウエハー裏面 |
ハードディスクランディングゾーン |
豊富な解析機能OLS5100は多くの解析機能を提供しています。詳細はカタログをダウンロードもしくはお近くのエビデント販売店にお問い合わせください。 | |
 | JIS B0681（ISO25178）に準拠した面粗さ測定 OLS5100は、直径0.4μmのレーザー光でサンプル表面をスキャンします。触針式表面粗さ測定機では不可能な柔軟性や粘着性のあるサンプルの表面粗さを簡単に測定できます。また、触針式粗さ測定機では測れない面のカラー画像、レーザー画像、3D形状データが一度に得られるため、解析の幅が格段に広がります。 |
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断面プロファイルの最高点と最低点間の段差測定 | プロファイル測定、測定アシストツール 画像の中から測りたい場所に自由に測定線を引くことで断面プロファイルを表示し、任意の2点間の段差、幅、断面積、Rなどを測定できます。従来の接触式測定機と異なり、測定場所の位置決めも簡単。測定アシストツールにより測りたいポイントを確実に指定できるので、微細な領域でも正確に測定できます。 |
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软件
実験トータルアシスト測定準備からレポート作成まで、一連の作業を効率化。実験計画に沿った画像取得や解析をサポート、かつ測定結果を一括管理
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| 解析フローを全自動化マクロ機能 データ取得から測定、レポート作成までの一連の検査フローを自動化できます。あらかじめ作成したマクロファイルを読み出し実行するだけで、誰でも安定した測定結果を得ることができ、さらにワンクリックで合否判定を行うことも可能です。 |
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データ整理を効率化 | |
かんたんデータ整理 あらかじめ実験条件が決まっていなくてもデータの取得を始めることができ、検証をしながらデータの整理ができます。実験途中での条件の変更やドラッグ＆ドロップで簡単に画像や解析データの追加も可能です。ユーザーのワークフローに合わせた柔軟な実験をサポートします。 |  |
取得データ一覧表示 作成した実験計画に沿ってデータ取得、結果の確認ができるので、データ取得のミスを低減します。また、測定データはExcel形式やCSV形式の出力にも対応し、柔軟なデータ活用が可能です。 |
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 | ファイル名の入力不要ファイル名自動生成 画像ファイル名は、実験計画作成時に入力した測定条件に基づき自動生成されます。そのため、画像取得後にファイル名を入力する必要がありません。 |
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測定結果が一目でわかる | |
公差判定 設定した公差に応じて、合否が一目で確認可能です。サンプルの歩留まりをみて、しきい値を変えながら公差の検証ができます。 |  |
ヒートマップ表示 測定値を色で表現することにより、取得したデータの傾向が一目で分かります。また、ヒートマップの色や割合は変更可能なため、取得したデータに合わせて見やすく表示ができます。 |  |
 | 複数の取得データを比較解析まとめて解析 複数の取得データを並べて表示して、表示スケール、3D表示の角度設定の統一、画像補正や解析をまとめて行うことが可能です。加工条件の異なる複数のサンプル形状解析、不良品の原因解析等に有効です。各種画像、プロファイルや数値結果は、エクセル形式にもエクスポートできるため、解析したい項目を素早く並べて評価できます。 |
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规格
製品仕様
| OLS5100-SAT | OLS5100-SMT | OLS5100-LAT | OLS5100-EAT | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 総合倍率 | 54× - 17,280× | |||||
| 視野サイズ | 16um - 5,120um | |||||
| 測定原理 | 検鏡方式 |
反射型共焦点レーザー顕微鏡画像
反射型共焦点レーザー微分干渉顕微鏡画像 カラー画像 カラー微分干渉画像 （ポラライザ、アナライザユニットは本体に内蔵） | ||||
| 測定原理 | 光検出器 |
レーザー：光電子増倍管 （2系統）
カラー：CMOSカメラ | ||||
| 高さ測定 | 表示分解能 | 0.5nm | ||||
| 高さ測定 | ダイナミックレンジ | 16 bit | ||||
| 高さ測定 | 繰り返し性σn-1※1 ※2 ※5 | 5×：0.45μm, 10×：0.1μm, 20× : 0.03μm, 50× : 0.012μm, 100× : 0.012μm | ||||
| 高さ測定 | 正確さ ※1 ※3 ※5 | 0.15 + L/100μm （L: 測定長 [μm]） | ||||
| 高さ測定 | 正確さ（貼り合わせデータ）※1 ※3 ※5 | 10×：5.0 + L/100μm, 20×以上 : 1.0 + L/100μm （L: 貼り合わせ高さ [μm]） | ||||
| 高さ測定 | 測定ノイズ （Sqノイズ）※1 ※4 ※5 | 1nm [Typ] | ||||
| 幅測定 | 表示分解能 | 1nm | ||||
| 幅測定 | 繰り返し性3σn-1 ※1 ※2 ※5 | 5× : 0.4μm, 10× : 0.2μm, 20× : 0.05μm, 50× : 0.04μm, 100× : 0.02μm | ||||
| 幅測定 | 正確さ※1 ※3 ※5 | 測定値の±1.5%以内 | ||||
| 幅測定 | 正確さ（貼り合わせデータ） ※1 ※3 ※5 | 10× : 24+0.5Lμm, 20× : 15+0.5Lμm, 50× : 9+0.5Lμm, 100× : 7+0.5Lμm （L: 貼り合わせ長さ [mm]） | ||||
| 最大取得データ解像度 | 4096 × 4096 ピクセル | |||||
| 最大貼り合わせデータ画素数 | 36百万ピクセル | |||||
| XYステージ | 測長モジュール | 〇 | - | - | 〇 | |
| XYステージ | 駆動範囲 |
100×100mm
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100×100mm
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300×300 mm
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100×100mm
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| サンプル最大高さ | 100mm | 40mm | 37mm | 210mm | ||
| レーザー光源 | 波長 | 405 nm | ||||
| レーザー光源 | 最大出力 | 0.95 mW | ||||
| レーザー光源 | クラス | Class 2 （JIS C6802:2014）※6 | ||||
| カラー光源 | 白色LED | |||||
| 消費電力 | 240W | 240W | 278W | 240W | ||
| 質量 | 顕微鏡本体 | 約 31 kg | 約 32 kg | 約 50 kg | 約 43 kg | |
| 質量 | コントロールボックス | 約 12 kg | ||||
※1 ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)に規定されている恒温、恒湿環境(温度:20℃±1℃、湿度:50%±10%）における保証値です。
※2 20×以上は、MPLAPON LEXTシリーズレンズで測定した場合。
※3 LEXT専用レンズで測定した場合。
※4 MPLAPON100XLEXTレンズで測定した場合の代表値であり、保証値とは異なります。
※5 弊社の保証方法による。
※6 この製品はクラス2のレーザー製品です。レーザービームをのぞき込まないでください。
対応レンズ仕様
| 型式 | NA | 作動距離 （mm） | |
|---|---|---|---|
| 観察用レンズ | MPLFLN2.5X | 0.08 | 10.7 |
| MPLFLN5X | 0.15 | 20 | |
LEXT専用レンズ（10×） | MPLFLN10XLEXT | 0.3 | 10.4 |
LEXT専用レンズ（高性能タイプ） | MPLAPON20XLEXT | 0.6 | 1 |
| MPLAPON50XLEXT | 0.95 | 0.35 | |
| MPLAPON100XLEXT | 0.95 | 0.35 | |
LEXT専用レンズ（長作動距離タイプ） | LMPLFLN20XLEXT | 0.45 | 6.5 |
| LMPLFLN50XLEXT | 0.6 | 5.2 | |
| LMPLFLN100XLEXT | 0.8 | 3.4 | |
| 超長作動距離レンズ | SLMPLN20X | 0.25 | 25 |
| SLMPLN50X | 0.35 | 18 | |
| SLMPLN100X | 0.6 | 7.6 | |
| 液晶用長作動距離レンズ | LCPLFLN20XLCD | 0.45 | 8.3-7.4 |
| LCPLFLN50XLCD | 0.7 | 3.0-2.2 | |
| LCPLFLN100XLCD | 0.85 | 1.2-0.9 |
アプリケーションソフトウェア構成
| 基本ソフトウェア | OLS51-BSW | |||
|---|---|---|---|---|
| 基本ソフトウェア | データ取得アプリ | 解析アプリ（かんたん解析） | ||
| 電動ステージパッケージアプリケーション※1 | OLS50-S-MSP | |||
| 拡張解析アプリケーション※2 | OLS50-S-AA | |||
| 実験トータルアシストアプリケーション | OLS51-S-ETA | |||
| 膜厚測定アプリケーション | OLS50-S-FT | |||
| 自動エッジ測定アプリケーション | OLS50-S-ED | |||
| 粒子解析アプリケーション | OLS50-S-PA | |||
| 自動球・面角度測定アプリケーション | OLS50-S-SA | |||
※1 自動貼り合わせデータ取得機能、複数エリアデータ取得機能が含まれます。
※2
プロファイル解析、差分解析、面間段差解析、平面解析、面積・体積解析、線粗さ解析、面粗さ解析、ヒストグラム解析が含まれます。
製品ラインアップ
OLS5100-SATセットアップ例
OLS5100-SAT
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OLS5100-EAT
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OLS5100-SMT
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OLS5100-LAT
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コントロールユニット
