A Evident oferece uma ampla gama de componentes ópticos que podem ser combinados com vários dispositivos de formação de imagem baseados em microscópio para áreas como a pesquisa de ciências da vida, assistência médica e fabricação.
Para ajudar os projetistas de equipamentos a otimizarem seus dispositivos, estamos sempre trabalhando para desenvolver lentes objetivas com os avanços tecnológicos mais modernos. Como parte dessa iniciativa, recentemente analisamos como a tecnologia de lentes objetivas pode melhorar o rendimento em inspeções industriais.
O rendimento (o número de inspeções que podem ser processadas em uma determinada quantidade de tempo) é um desafio comum para projetistas que desenvolvem dispositivos para inspeções de semicondutores, painéis de display planos (FPD) e diodos emissores de luz orgânicos (OLED). Este post trata de uma série de objetivas recém-projetada que pode melhorar o rendimento das inspeções.
Superando limitações no rendimento das inspeções de wafers semicondutores
Normalmente, uma objetiva com uma distância de trabalho (DT) mais curta deve ser usada para alcançar a resolução desejada para a inspeção de um wafer. Ao usar uma objetiva com uma distância de trabalho curta, é necessário retrair o porta-objetivas durante a troca de wafers, pois a distância mais curta entre a objetiva e o wafer pode levar a uma colisão. No entanto, o tempo necessário para mover o porta-objetivas do microscópio para cima e para baixo para realizar a troca de wafers aumenta o tempo geral da inspeção e limita o rendimento.
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Comparação de objetivas com distâncias de trabalho mais curtas e mais longas (à esquerda: DT de 1 mm, à direita: DT de 3 mm) mas com a mesma ampliação e abertura numérica. A objetiva com distância de trabalho mais longa (à direita) fornece mais espaço entre a objetiva e a amostra, minimizando o risco de uma colisão. 4
Nossos clientes queriam que seus dispositivos adquirissem imagens de alta resolução e permitissem o transporte rápido de wafers semicondutores, placas de FPD e outras amostras, tudo isso sem retrair ou trocar a lente objetiva.
Para atender a essas demandas, é necessário ter uma objetiva com uma longa distância de trabalho e alta resolução, o que nos apresentou um desafio. Em geral, a distância de trabalho de uma objetiva diminui conforme sua ampliação e abertura numérica (resolução) aumentam, por isso, nossa linha de objetivas existente estava dividida em lentes de alta resolução e lentes de longa distância de trabalho.
Decidimos criar uma nova série de objetivas para fornecer aos clientes o que eles queriam: alta resolução e uma longa distância de trabalho simultaneamente. Esta inovação resultou em nossa nova série de objetivas MXPLFLN.
Apresentando a série de objetivas MXPLFLN para inspeções de alto rendimento
Nossa nova série MXPLFLN adquire imagens de alta resolução com um campo de visão maior e alto nivelamento (uniformidade da imagem do centro até a borda). Essas características são ideais para a união de imagens. Um campo de visão mais amplo significa que você precisa unir menos imagens para cobrir a área de inspeção inteira, enquanto imagens planas e de alta resolução são unidas facilmente. Em termos de nivelamento, esta série de objetivas foi projetada para alcançar o desempenho máximo em combinação com a nossa recém-projetada lente de tubo U-SWATLU. Recomendamos combiná-las para obter uma melhoria ainda maior no rendimento.
Lente de tubo U-SWATLU
Nossa série MXPLFLN inclui objetivas com ampliações de 20X e 50X. Ambas as ampliações estão disponíveis em opções de campo claro somente e de campo claro/campo escuro. Vamos dar uma olhada em suas características.
Lentes objetivas de 20X MXPLFLN20X e MXPLFLN20XBD
Com a nossa nova tecnologia de fabricação, a versão de campo claro da objetiva de 20X (MXFPLFLN20X) oferece uma maior AN de 0,45 a 0,6 com uma distância de trabalho mais longa de 3 mm. Essa é a nossa primeira lente objetiva de 20X que alcançou uma abertura numérica de 0,6 e uma distância de trabalho de 3 mm simultaneamente. Nossa versão de campo claro/campo escuro da objetiva de 20X (MXPLFLN20XBD) também apresenta uma distância de trabalho de 3 mm e oferece uma abertura numérica melhorada de 0,55.
As objetivas de 20X MXPLFLN apresentam uma abertura numérica melhorada ao mesmo tempo que mantêm uma longa distância de trabalho
Objetivas de 50X MXPLFLN50X e MXPLFLN50XBD
A objetiva MXPLFLN50X é a nossa primeira lente objetiva de 50X que alcançou uma abertura numérica de 0,8 e uma distância de trabalho de 3 mm simultaneamente. Até agora, a objetiva LMPLFLN100X era a única opção para ter uma alta resolução e longa distância de trabalho em uma única objetiva. Agora, a recém-projetada objetiva MXPLFLN50X combina alta resolução com uma grande distância de trabalho. Ela também fornece 4x o campo de visão da objetiva LMPLFLN100X. Este campo de visão mais amplo ajuda a diminuir os tempos de inspeção para melhorar o rendimento. Um tipo de objetiva de baixa iluminação também foi adicionado à série.
 LMPLFLN100X (NA de 0,8, DT de 3,4 mm) |  MXPLFLN50X (NA de 0,8, DT de 3 mm) |
Comparação do campo de visão. A objetiva MXPLFLN50X (à direita, ampliação de 50X) tem um campo de visão mais amplo que o da objetiva LMPLFLN100X (à esquerda, ampliação de 100X), permitindo uma união de imagens mais rápida. 16
A tecnologia de fabricação avançada por trás da série de objetivas MXPLFLN
Com uma rica história no design óptico, a Evident é conhecida por produzir lentes objetivas de alta qualidade. Depois de estabelecer uma distância de trabalho de 3 mm como nosso objetivo, usamos nossa experiência em design para obter uma formação de imagem de alta resolução para essa distância de trabalho.
Para obter uma alta resolução e uma longa distância de trabalho em uma objetiva, normalmente seria necessário ter um diâmetro de lente grande e uma altura de raios maior. Para solucionar isso, desenvolvemos a nossa nova série de objetivas MXPLFLN com um novo material de vidro, que incorpora vários tipos de vidro de baixa dispersão que agora são o padrão em nossas lentes objetivas premium de alta resolução. As objetivas também incluem um vidro de dispersão especial, que raramente é usado em lentes objetivas de luz refletida ou metalúrgicas. Este vidro corrige de forma eficaz as aberrações cromáticas longitudinais e laterais.
Além disso, ao usar a tecnologia de lente ultrafina desenvolvida para a nossa série de objetivas X Line™ de alto desempenho, obtivemos tanto uma alta resolução como um alto nivelamento para garantir uma qualidade de imagem aprimorada. Nosso processo de fabricação de lentes também cumpre normas rigorosas para alcançar uma qualidade de produto estável. Isso inclui o uso da tecnologia de controle de aberração de ondas para limitar as variações no desempenho óptico das lentes objetivas.
Saiba mais sobre as objetivas MXPLFLN e outros componentes ópticos de alta qualidade
Para saber mais sobre os benefícios de usar as objetivas MXPLFLN para inspeções de semicondutores e outras aplicações, assista ao vídeo abaixo:
Também fornecemos uma variedade de outros componentes ópticos de alta qualidade que podem ser combinados com seus designs de dispositivo. Acesse o nosso Centro de recursos do OEM para encontrar recursos, ferramentas e as perguntas frequentes para o desenvolvimento de instrumentos ópticos avançados.
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