Soluções de microscópio para
fabricação de semicondutores
Corte
Uma lâmina rotativa de alta velocidade corta o wafer em chips individuais.
Verificação do tamanho da lasca após o corte em cubos
Depois de cortar o wafer com uma lâmina de corte, os operadores inspecionam os canais cortados para verificar se há lascas excessivas e outros danos. No entanto, as inspeções visuais com o olho humano são difíceis e o método de microscopia eletrônica de varredura (SEM) é demorado.
Nossa solução
Nosso microscópio digital série DSX e microscópio confocal a laser série OLS pode medir o tamanho da lasca. A série OLS é recomendada para inspetores que requerem medições detalhadas e precisas de áreas lascadas, tamanhos de lascas e as condições do corte do cubo.
Microscópio digital série DSX | Microscópio de varredura a laser série OLS | Imagem de microscópio digital |
Notas da aplicação
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