应用

A série MX63 é usada em uma variedade de aplicações de microscopia de luz refletida. Essas aplicações são um exemplo de algumas das formas que o sistema é usado para inspeções industriais.

Imagem de infravermelho de uma seção de eletrodo

O infravermelho (IV) é usado para procurar defeitos no interior de chips de circuitos integrados e de outros dispositivos fabricados com silício sobre vidro.

Película
(esquerda: campo claro/direita: luz polarizada)

A luz polarizada é usada para revelar a textura de um material e o estado dos cristais. Ela é adequada para inspeções de estruturas de wafer e de LCD.

Um disco rígido
(esquerda: campo claro/direita: DIC)

O contraste de interferência diferencial (DIC) é usado para ajudar a visualizar amostras com diferenças mínimas de altura. Ele é ideal para inspeções de amostras com diferenças de altura muito pequenas, como cabeçotes magnéticos, mídias de disco rígido e wafers polidos.

Padrão do circuito integrado em um wafer semicondutor
(esquerda: campo escuro/direita: MIX [campo claro + campo escuro])

O campo escuro é usado para detectar arranhões ou defeitos ínfimos em uma amostra ou inspecionar amostras com superfícies espelhadas, tal como wafers. A iluminação MIX permite ao usuário visualizar padrões e cores.

Resíduo fotorresistente em um wafer semicondutor
(esquerda: fluorescência/direita: MIX [fluorescência + campo escuro])

A fluorescência é usada para amostras que emitem luz quando iluminadas por um cubo de filtro especialmente projetado. Ela é usada para detectar contaminação e resíduos fotossensíveis. A iluminação MIX permite a observação dos resíduos fotossensíveis e do padrão do CI.

Um filtro de cores LCD
(esquerda: luz transmitida/direita: MIX [luz transmitida + campo claro])

Esta técnica de observação é adequada para amostras transparentes, tal como LCDs, plásticos e materiais de vidro.A iluminação MIX permite a observação do filtro de cor e do padrão do circuito.