应用
Микроскопы серии MX63 используются для микроскопического исследования самых разных образцов методом отраженного света. Далее приведено несколько примеров использования прибора для выполнения промышленного контроля.
ИК-изображение отсека электрода
Инфракрасный режим (ИК) используется для выявления дефектов внутри кристаллов ИС и других устройств, выполненных из кремния, нанесенного на стекло.
Пленка
(слева: светлое поле; справа: пляризованный свет)
Поляризованный свет используется для исследования структуры материала и состояния кристаллов. Этот метод подходит для контроля полупроводниковых пластин и светодиодных структур.
Жесткий диск
(слева: светлое поле; справа: ДИК)
Дифференциально-интерференционный контраст (ДИК) используется для анализа образцов, имеющих мельчайшие перепады высот. Такая технология идеально подходит для контроля образцов с очень незначительными различиями по высоте, например, магнитных головок, жестких дисков и отполированных полупроводниковых пластин.
Структура ИС на полупроводниковой пластине
(слева: темное поле; справа: режим MIX (светлое поле + темное поле))
Режим темного поля используется для выявления мельчайших царапин или дефектов на образце или для исследования образцов, имеющих зеркальные поверхности, например, полупроводниковых пластин. В режиме смешанного освещения (MIX) пользователь может исследовать фактуры и цвета образцов.
Остаточный фоторезист на полупроводниковой пластине
(слева: флуоресценция; справа: режим MIX (флуоресценция + темное поле))
Режим флуоресценции используется для образцов, которые излучают свет при их освещении с помощью специализированного фильтровального куба. Используется для обнаружения загрязнений и остаточного фоторезиста. Смешанный режим (MIX) позволяет проводить исследование остаточного фоторезиста и структуры ИС.
Цветной ЖК-фильтр
(слева: проходящий свет; справа: режим MIX (проходящий свет + темное поле))
Такой метод наблюдения подходит для прозрачных образцов, таких как ЖК-дисплеи, пластиковые и стеклянные материалы. Смешанный режим позволяет проводить исследование цвета фильтра и рельефа съем.