Evident LogoOlympus Logo
显微镜解决方案

应用

Микроскопы серии MX63 используются для микроскопического исследования самых разных образцов методом отраженного света. Далее приведено несколько примеров использования прибора для выполнения промышленного контроля.


ИК-изображение отсека электрода

ИК-изображение отсека электрода

Инфракрасный режим (ИК) используется для выявления дефектов внутри кристаллов ИС и других устройств, выполненных из кремния, нанесенного на стекло.


Пленка (слева: светлое поле; справа: пляризованный свет)

Пленка
(слева: светлое поле; справа: пляризованный свет)

Поляризованный свет используется для исследования структуры материала и состояния кристаллов. Этот метод подходит для контроля полупроводниковых пластин и светодиодных структур.


Жесткий диск (слева: светлое поле; справа: ДИК)

Жесткий диск
(слева: светлое поле; справа: ДИК)

Дифференциально-интерференционный контраст (ДИК) используется для анализа образцов, имеющих мельчайшие перепады высот. Такая технология идеально подходит для контроля образцов с очень незначительными различиями по высоте, например, магнитных головок, жестких дисков и отполированных полупроводниковых пластин.


Структура ИС на полупроводниковой пластине (слева: темное поле; справа: режим MIX (светлое поле + темное поле))

Структура ИС на полупроводниковой пластине
(слева: темное поле; справа: режим MIX (светлое поле + темное поле))

Режим темного поля используется для выявления мельчайших царапин или дефектов на образце или для исследования образцов, имеющих зеркальные поверхности, например, полупроводниковых пластин. В режиме смешанного освещения (MIX) пользователь может исследовать фактуры и цвета образцов.


Остаточный фоторезист на полупроводниковой пластине (слева: флуоресценция; справа: режим MIX (флуоресценция + темное поле))

Остаточный фоторезист на полупроводниковой пластине
(слева: флуоресценция; справа: режим MIX (флуоресценция + темное поле))

Режим флуоресценции используется для образцов, которые излучают свет при их освещении с помощью специализированного фильтровального куба. Используется для обнаружения загрязнений и остаточного фоторезиста. Смешанный режим (MIX) позволяет проводить исследование остаточного фоторезиста и структуры ИС. 


Цветной ЖК-фильтр (слева: проходящий свет; справа: режим MIX (проходящий свет + темное поле))

Цветной ЖК-фильтр
(слева: проходящий свет; справа: режим MIX (проходящий свет + темное поле))

Такой метод наблюдения подходит для прозрачных образцов, таких как ЖК-дисплеи, пластиковые и стеклянные материалы.  Смешанный режим позволяет проводить исследование цвета фильтра и рельефа съем.

Sorry, this page is not available in your country
Let us know what you're looking for by filling out the form below.
Sorry, this page is not available in your country